Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film
Nickel oxide thin films were prepared by direct-current magnetron sputtering method at different deposition rates on unheated and heated substrates. It was shown that the deposited films are the dense arrays of nanowhiskers with the rhombohedral crystalline structure for the unheated substrate and w...
Saved in:
| Published in: | Functional Materials |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120639 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film / O.S. Oberemok, T.M. Sabov, I.P. Lisovskyy, I.M. Khacevych, O.Yo. Gudymenko, V.A. Nikirin, M.V. Voitovych // Functional Materials. — 2016. — Т. 23, № 2. — С. 313-317. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860264179857883136 |
|---|---|
| author | Oberemok, O.S. Sabov, T.M. Lisovskyy, I.P. Khacevych, I.M. Gudymenko, O.Yo. Nikirin, V.A. Voitovych, M.V. |
| author_facet | Oberemok, O.S. Sabov, T.M. Lisovskyy, I.P. Khacevych, I.M. Gudymenko, O.Yo. Nikirin, V.A. Voitovych, M.V. |
| citation_txt | Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film / O.S. Oberemok, T.M. Sabov, I.P. Lisovskyy, I.M. Khacevych, O.Yo. Gudymenko, V.A. Nikirin, M.V. Voitovych // Functional Materials. — 2016. — Т. 23, № 2. — С. 313-317. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Functional Materials |
| description | Nickel oxide thin films were prepared by direct-current magnetron sputtering method at different deposition rates on unheated and heated substrates. It was shown that the deposited films are the dense arrays of nanowhiskers with the rhombohedral crystalline structure for the unheated substrate and with the face centered cubic structure for the heated substrate. Surface morphology of films consists of nanocrystalline randomly oriented grains. Increasing of the deposition rate and/or the substrate temperature lead to decrease of the film porosity and enlarge of nanocrystals. The maximum oxidation state of the deposited films is observed near the surface.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:58:37Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������� ��
�� �
�
���������
����������
������������ ��������������
� ��
������������
��������
���
��
�����������
���
������
����������� ��
���
����������
������������ �
����� � ����
�
������!�����
���������
�
������ �� � ����
������ �������� �����
�� ���� �� ��
���
� � �� �����
� �� ����� �
�� ! "# $��
� �����
�������� ����
�� �
� ���
������ � �
� ���
����� ���� �������
��
�����������
� ���
����
��������
� �����
��
������
�
��������
����� �
�
�����
�
�����
����������� �� ��� ����
���� ���
�������
����� ��� ���
�
�� ������ ��
�
��������� ���� ��� ��������
��� ���������
�
��������� ��� ��� �
�����
��������� �
���� ��� ���� ��
����
����� ��������� ��� ���
�����
���������� ������� ���������� �� ����� ��
����� ��
�
����������
� ��
���� ����
�
��
����
�� �
������
� �� ���
��������
���� �
��� ��� ��������� ����������� ���
��
������� �� ��� ���� �������� �
�
����� ��
�
���������� ��� �� ���� � �
����
����� ��
���
�������
����� �� �������
��� ��� ��������
��������
����� � �
� �����! ���
����
��������
�! "#$! ��%�! &���#�
'()*+, -.,)*+ (*/+�0 )+*,.1 23.+ -(.4�,)3 5,6(�(5 50�),67())(�( 70/-3.,)+1
-7+ -(/6(1))(5 6(*, 8$9: / 70;.+�)35+ /*(7(/615+ (/0<�,)+1 )0 ), )0�7,63, +
)0�7,63, -(�.(<*+� =/0<�,))3, -.,)*+ 1>.1�6/1 -.(6)35+ 50//+>05+ )0)(>+/*,7(>
/ 7(52(?�7+�,/*(@ + �70),�,)67+7(>0))(@ *42+�,/*(@ *7+/60..+�,/*+5+ /674*64705+
�.1 ), )0�7,6(@ + )0�7,6(@ -(�.(<,*! /((6>,6/6>,))(� A(7B(.(�+1 -(>,7C)(/6+ -.,)(*
/(/6(+6 +; )0)(*7+/60..+�,/*+C ;,7,)! (7+,)6+7(>0))3C /.4�0@)35 (270;(5� D>,.+�
�,)+, /*(7(/6+ (/0<�,)+1 +�+.+ 6,5-,706473 -(�.(<*+ -7+>(�16 * 45,)��,)+� -(�
7+/6(/6+ -.,)*+ + 4>,.+�,)+� 70;5,7(> )0)(*7+/60..(>� A0*/+50.�)01 /6,-,)� (*+/�
.,)+1 (/0<�,))3C -.,)(* )02.��0,6/1 >2.+;+ -(>,7C)(/6+�
��
� ��
������ ��������� �� ����������
��������
�� ���������� �� ���
���
�����
����� ����
� ������ ���� ���� ������
� ��
� ��� �� ���� ��� ���
��� ��
� �����
���� ���� �������
� ���� ��
�����
��� � � ����
'()*� -.�>*+ (*/+�4 )�*,.� (67+50)( 5,6(�(5 50�),67())(�( 7(;-+.,))1 -7+ -(�
/6�@)(54 /6745� ; 7�;)+5+ �>+�*(/615+ (/0�<,))1 )0 ),)0�7�6� 60 )0�7�6� -��*.0�*+�
=/0�<,)� -.�>*+ E F�.�)+5+ 50/+>05+ )0)(>�/*,7�> ; 7(52(,�7+�)(� 60 �70),�,)67(�
>0)(� *42��)(� *7+/60.��)+5+ /674*64705+ �.1 ),)0�7�6(G 60 )0�7�6(G -��*.0�(*!
>��-(>��)(� A(7B(.(��1 -(>,7C)� -.�>(* /*.0�0E6�/1 ; >+-0�*(>(�(7�E)6(>0)+C )0)(�
*7+/60.��)+C ;,7,)� H2�.��,))1 �>+�*(/6� (/0�<,))1 60�02( 6,5-,70647+ -��*.0�*+
-7+;>(�16� �( ;5,)�,))1 -(7+/6(/6� -.�>*+ � ;2�.��,))1 7(;5�7�> )0)(*7+/60.�>� A0*�
/+50.�)+@ /64-�)� (*+/.�>0))1 (/0�<,)+C -.�>(* /-(/6,7��0E6�/1 -(2.+;4 -(>,7C)��
�� �����
�����
���� ��� ����
�� �
���� ������������ ��
���� ���� ���� �
���
� ������ �� ��� �
��� ��
������� �� ��
� �
���� �� �
��
���� �� ����
!����� !� ����
�� ��
�
����
��� ������ "#$�
����� � � ������� ��� ���
���� ��
�!
����
��!��� ���
�
���� ��
� �
���� �������
��� ��������� �������������� �� ��
� ��
!��� %� �������� ������
� �
�� ���
���� IJKL�MNOM� &�
����
�� %��������! KP! ���K 8KJIQ:! �� PIP�PIL�
�� ���� ��
�
�������IJ�IMNJL���KP�JK�PIP R KJIQ S ��9 T�
������� ��� ��
��� 9�������T
!"#$%&'#() *(%+,&()-� ��� .� ./01 202
!
�!� ��
�� �
������� � �
��� �� �� ����
���������� ��!���
�
�� "&��$� '� �� �
�
� ��� ���� �
!� ������� �
����� ����
���� ���� ��� ���(
�� �
������ )�*� �� ���
��� �
����� +��
�� , � ����
��� ������ ��
�
�
����� �� ��� ���� ����� � � '� �
���� ��
� ��� ��� �
����� �*�
�� ��
���
�� ���� �����
��� �� ���
�
���� ����(
��
�� �� ��
�� ������
���� ��� ���� �
���� �� �
������� ����������
�����
�� �
�� ��������� ������ ��
������ ��� ��� ����� � �� ��� ���� ����
���
��� �� �
�� ���� ����� �����
� ��
��������
��
� �!
���
���� �������������
�
���� ����� ��
� ������ � ���� "-$� .��
�!�� ��� �
������� ��������� ������ �
� �� �� � ����� ���
� � ��� ���� ����� �
����� �
�� ��� �� �
�� ����� ����
�����
���� ��� �����������
� ����� � ��
�
������������ �
/��(�� �0��� ���� ���
���� �� ��� ���
������ ���� ������
�� 1�
��* �� ��
��
�
��������� ���� ����� �
��
�� ������
����
�� ��
���� ����
�
��*�� �� ����� �
�� ��
������� �� ���� ����� ��������� �� ���
�������
�
�� �����
� ��������� �� ���
���(�� �0��� ���� �
� ������������
/��(�� �0��� ���� ���� ���� ���� �� ���
������
�� 1�
��* �� ��
�� �� 23 �
���
���� ��������� � ��� ����
�� �
���� ��
44�4� 5 ������ �� �0����
���� ��0���
�
�� ������ 2� �
��� ������� ��� �
����
��
��� �� ��
�� �
����0��
���� 6� ���
7����� ���� ����� ��� ��
���� ��
���� �
������ ��� �� ��� ��� �� ��&⋅#��� 8
� ���
���� ���� ����� ���� �
����� ��� ��� � ��
���� 9 3: ; ���� �� ��
��
�� ��� ���� �
���� �
��< 3. ; ���� �� ��
��
�� ����
���� ����� �
�� .: ; ��
��� �� ��
��
��
��� ���� ����� �
��< .. ; ��
��� �� ��
��
�� ���� ���� ����� �
��� ��� �
�� �
�
��
��� �� ��� ���� ����� ����� ��� �
�� ��
���
����
�� ��� ����� �� �
��� #� =
>
�
�����
�����
�
�� � ���� ���!���� ����
������ )��������� ?>: =@�>? 8����� 2��
��
�������� ��� ��� �
��� �� ��� �� A�� &θ
���� � ��� ��
�� �*�
�� ���
�� ���
������� �� ��� ���� ���� ���� ���� ������
�� �)3?/ B'>? � �����
�� �������� ��
��� ����� 2��
�� �� ��������� �� ���
�
��� ����� ���� ������ ���� )�����
�� /��
��
� B
)����������� +)/B), �������
��� ��
������� ���� ��������� �� ����
���1����� ���� �� ���
���� ��������� ��
��� ��� ���� ������ �� ��� �� �� '/?
�
&��� I� "#$ �� ��� �����
�������
�
U����V ��������� �� ��� ���� ����������� 8�: �
�� PJJ�9 8�:�
����� I� W��������� �� ��� ����
��������
�
���� ���������
�����������!X9
Y�� ��������
8��Z�
�
:! W�
[ ���
�������
��������! W�
$������� �����!
\
$��������
#���!
����
9] 9��
8KJ → MJ: K�L⋅IJ�� I�J⋅IJ�� KJ K�^O
9_ 9��
8KJ → ^J: M�L⋅IJ�� K�I⋅IJ�� IKJ KM
_] _�� 8KPJ → K^J: K�L⋅IJ�� I�J⋅IJ�� KJ P�P
__ _�� 8KPJ → PIJ: M�L⋅IJ�� K�I⋅IJ�� IKJ IM
+% ()� 3 ���
204 !"#$%&'#() *(%+,&()-� ��� .� ./01
+:
�����
.��
�� , �� �������� '���
���
�����
���� ��
���� �� ��� �����
� �
���
�� ����6A�� ���� ���� �� ������� �� � ����
� ��� C�'> 8��(��
D���� )������� 7=''
����������� ���(��� �� ��� ��
� �� ���
����
� ��� ����
� ���������� ��
!��� ��
������� �� ��� ������ �� ��
��
�� ��� �
��!�
�0��� �
��� ��� �
�� �� �� ��
�� �
� ��
���������
���� ���� ���
� ���
��� �����
�� ��� ���
�
���� ����� ��!� ���
���� ����
���
���� �� ����
����� ���
� ���
��� ���
���� �� ��� ���������
���� ���� ��� ���
�
���
�� ��� ��
������� ����� ��� �� ��� '>
��
� �� ��� �����
�
±��� 5�
�� ���
��� �� ���
�����
��� =>2 �
����� �� ��� ���� ������
���� ���� ���� ���
�
����
�� ��� ����� ��
C��� #
� ��� ���� ���� ��� �� �� �������
�
�����
�� �0����� ����������
� ���������
��� �
����� �
�
����� �� ��� ���� ����
���� ����
��� �
�� +
���� 3:,
��9 � E
&�4A4� � � E 6��&# �� '����
� �� ���
���� ����� �
�� �� ��� �� ��������� �� ���
!�����
� �
����� �
�
����� +� E 6�&A� �, �����
��� �
�
����� � � ��� ��
���� +
���� 3.,�
��� ��� �
����� �*� +���
��
���� �������
��������, ���� ���������� ���� =>2 ���
��
�� ��� )������� ������
+�
��� &,� ���
�
�
��� ��
� �����������
� ��������� �� ���
���(�� �0��� ���� ���� ����� ��������� �� ���
��� �
����� �*� � ��� ���� �� 3.
���� �
��� ����������
� �
������
2����
����� �
����� �� ��� ���� ����
����
� �� ��
�� ������
���� �� ����3 ���
����� �������� �� ���
���� .:
�� ..
+C��� #�,� '����
� �� ��� ���� ���� �����
�
�� ��
� �� �����
� �� ��� �
����� �
�
��
��� ���� � E ��#4�� � +��� .:
����, ��
E ��#A � +��� ..
����,�
'����
��� �� ��� �� ��
�� ������
����
������ ��� ���(�� �0��� ���� ���� �����
��
� ��
��
��� �� ��� ��� �
� ��������
���� ����������
� �� ������ '����
��� ��
��� ���� ����� �
�� ��
� ��
�����
� ��
��� ���� ���� �*��
'�
�� ����
��� �����
�� ���
����
���� ���� + �� C��� &,
�
���� �����
�
������� �
�� ��
� ��� ���� � ��� �����
����� �
0���� �� ����� +ν
�
,
�� �����
����� ��������� �� ��� ��������� �� ���
�
���� ���� ����� ; ���� ����� �
��
�� ���
���
���� �� ��� �� ��
��� '� �
������
� ���
��� ���� ���� ����
� ��� �
�� +F&�4 ��⋅����
�,
��
� ��� ������
���� +A��3, ���
� ���
���� �
�� �
�
���� ���
� ���� ��� ������
������ ���� ��� !
��� �� ν
�
F �#A ����
+ �����,
�� F�A� ���� +��
(, ����� ����
������ '����
��� �� ��� ���� ����� �
�� +�� ��
#��&� ��⋅�����,
�� ��� ���� ����� ������
���� +�� ����3, ��
� �� ���
� �� ���
� ��
�
��
�
��� �� ��� ���� ���1����� �������������
��� �
�� �� ��!�� � � �
���
���������
�� ���� ��������� !���
���� ���� ��� ���
�
���
������ ���� ��� �*� �� �� F�� ���
�
(��� ����
������ ��
� �����
� �� ���
�
����� �
� �*� ����� �� ��� �� G����G
���� �� �����
� ������� ���� +
� �������
�
�� ������ ���
�� �
���� �
!������� ,
"6 A$ ��� '> �
�
�
� �� �0��
���� �� ���
��������� �
�� 2��� ����� �� ���
�
�� ���
��� ��
��� �� ��
��
��H�� ���� �
��
�
�� ��
� �� ����
���� �� ��� �
����� �
�
���� �*� �� �������� ������ ��� ���� �
���
����!�� ��� �
�� �
����� �
�
�� �����
���
'����
� �� ��� ���� ����� �
��
�� ��� ��
��
�� ������
���� ��
� �� ����
���� �� ���
�
����� �
� ���� �
���� �*� �� ��������
&��� K� �# ���
�������
������� �� ��� ������
����� K� 9���������� ��V�� �
�# ���������
�� ������
������ 9] 9_ _] __
�����������
��V��!
�
��������
��� �������! `JIKa N�P IK�QN b b
����� �������! `IIIa b b ^�NI L�OK
����� �������! `KJJa b b L�MI IJ�OK
��� �������
�� ��� �� ���� �� ��� �
�����
���������
��
! ����
NI^ PLQ P^J POJ
+% ()� 3 ���
!"#$%&'#() *(%+,&()-� ��� .� ./01 205
������ ��� �
������ �
��� ���� �� ���������
���� �������
����� �� ��� �
��� ���
�
����� �
� � ��� ������ ���
���� �
����
���� ���� ��� �
�
�� ��� =>2 ��
������� �
'� ��� �
� �� ��� ���� ����� +3: .:
���� , �� ���
� ������� �
�� � ���
���
!� ���� �������� ���� ��� ��������� � '� ��
���
�� ����
���� �� ���
��
� �� ��� �
�
���� ���� ���������
!��
�� �*� � )���
�
������� �
�� �������� � ��� �� ��!�� ���
��� ��� ���� ���� ����� �
��� 8���
��� ���
���� �������
��
� �� ��� ��� �
����� �
������� ��� ������� ��
� ������� �
��
�
��� ���� � �����
�� ��� ��� ���� ����
���� �� ��� ��
��� �� ��
�� +.: ..
�
��� , �������
����� '� �
� �� �������
��� ���
��� ���(�� �0��� ���� ���� ��� ����������
�
��� �
����� �������� +3: 3.
���� ,�
'� C��� �
� ��� ��� 3
���� I0����
)������
�� /��(�� )/B) ����� ������� ��
��� ���
�
��� �������� ��� 3.
�� ..
�
��� �� �����!���� '� � ��� ��
� ���(�� ���
�����
���� � �����
�� ���� ��� ���� ��
�
�� �� ��� ������
�� ���� ������ �� ��� ����
�
� � B����!�� ��� �����
� �
� ������
�
� ��
�
����� ��� ���� �� ���
�� ������
�� ��
�
�����*�� �� �����
��� �� �0����
��!��
�� �����
��� �� �
����
�� ������
��!�� � ��� ����� �� ��������� �� ��� � ���
����
�� �� ������ ��� �� ���
���� � ��
�� � ����� ������� �
�� �����
�� ��� ��
���
� �� ��� ���(�� �0��
���� ������ ����
��� ���
�
��� ������
�� �� ��� ���� ���
���
��� �
� �� ��� �� ����� �������� �� ���
���� ���� ����
�� �����
�������
� �0��
����
�
��
��� ����� ���
���
��� ������ �� ��������� �����
�� ��
�
��� ���(�� �0��� ���� ���� ���� �� ��� ����
�� ��
�� +3., � ���� ����� ��
� ��� ����
���� ���� �� ��� ��
��� �� ��
�� +.., ����
�����
��� �� ��� �� ��
�� ������
����
������ ���� ����� ��� ���
�
���� ��
� �� ���
�
���� �� ���� ��� � ��������� ?� ���
�� ���� �����
� �� ��� �� ��
�� ���
���
���� �� ��� �� �����
� �� ��� �
����
��������
���� �� ��� �����
)DB ��
�� �� ��� ��� ���
!
�� ��
���(�� �0��� ���� ���� ���� �� ��� ��
���
�� ��
��
� ��� ���� ���� ����� �
�� +
�
��� .., � ���� �� C��� �� ��� ���� �
��� (���� �������� ����
!��
�� ��
�����
�� ��� (�� F �� ��� ��� ��� (�� �
!�
������
��� � ��� ������ ����(�� �� ���
���� +&�� ��,� ��� ���
�� ������
��� ��
��� ���� � ������� �
����� ����
!��
��
��� ��� �*� �� F �� ��� ��� �*� �� ����
���
��� �������
��
+#&�#� ��, ���� ���
=>2
�����
�� ��� ��� ��� �*� ���
����
���� ��� )DB ��
�� +�� ��,
�� �� ������ ����
��� �
� �� ���
� � ��� ������
����
� ��� ���
��� � � �� �!��
� ��� �
����� ���� ��� ���������
������
���� �� ��� �
�����
���� ��
�� �
&��� N� �c% ����� �� ��� ����� �������� ��
����� � �
� ���� 8__ ������:�
&��� P� ��%�
���� �������� �� ��� �����
�� �
����� � �
� ����� ���
��������
� �
���
8�: �
�����
8�: ������
���������� 89_ �
__ �������! ������������:�
+% ()� 3 ���
201 !"#$%&'#() *(%+,&()-� ��� .� ./01
�� �����
�����
2��� ���� ���(�� �0��� ����
�� ����
��� �
����� �������� ���� ���
��
� ��
��� (�� � ��� ��� (�� �
!�
!��
�� ��
��
���
�� ������ �� ��
�� &�� �� �� ���
��!���� ��� ����������
� ��� �
� �
����� �
������ �� ��� ���� ���� ���� �� ��� ��
��
��
� ��� ���� ������
����� 2��� �����
�� ��� ��
��� �� &�������3 �� ��
�� ��
�
�� ����
���� �� ��� ���� ���� ��� �����
��� �
� �
������ '����
� �� ��� ���� �����
�
�� ��
� �� ���
��
� ����
���� �� ���
�
��� �
����� ���� ��� ���� ���� ���������� ��
�*�
�� �����
� �� ���
!��
�� ��� �
�����
�*�� '����
� �� ��� �� ��
�� ������
����
������ ���� ����� ��
� �� ����
���� �� ���
���
�
���� ���� ��� ���� ��� � ���������
����������
I� $���$������! %�d��������
���! $���W���� ��
���! 677)� 8",9� 8$&! �� ! KQNL 8KJII:�
K� e�
� %��! $�
���
� d��! e���
_�� �� ���!
:&'-+#-� (#; :&'+)+$%,'#�! �!! KON^ 8KJII:�
P� ���\�W����! d��
��%�9����! c���
� f���!
���
��� ���! 677)� 8",9� 8$&+�! �""! NPO
8KJJM:�
N� ]��� \�
�! g��
� ]��! #�� \�
� �� ���! <�
=(%+,� >?+*�! ��! IKNMP 8KJIK:�
M� [���[�������! h�W�%��
��! h�i�������
�� ���!
�
W���� �� "h �
���
����
�� 9�
����
��
TW������ �
����
����� �� ���
&���� �
��
��������T! %�� II�IQ 8KJIM:! ��^I�
Q� Y�Y��
U���� 9����! @?&# 8')&; !&)*-! �!"! I
8KJIN:�
L� f�i
�
�
! h�#�j�
��
! 8%,"$%�� A(#'-$&+��
�A(#'%+$?#�B 6# C#%+,#� <�! �! KN 8KJIK:�
^� h�k�j�! %�i�
�� f��
��! 87+$%,'$?&*� 6$%(�
D(,% 6! �#! IKI 8KJJP:�
+% ()� 3 ���
!"#$%&'#() *(%+,&()-� ��� .� ./01 20E
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-120639 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1027-5495 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T18:58:37Z |
| publishDate | 2016 |
| publisher | НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Oberemok, O.S. Sabov, T.M. Lisovskyy, I.P. Khacevych, I.M. Gudymenko, O.Yo. Nikirin, V.A. Voitovych, M.V. 2017-06-12T14:33:23Z 2017-06-12T14:33:23Z 2016 Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film / O.S. Oberemok, T.M. Sabov, I.P. Lisovskyy, I.M. Khacevych, O.Yo. Gudymenko, V.A. Nikirin, M.V. Voitovych // Functional Materials. — 2016. — Т. 23, № 2. — С. 313-317. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1027-5495 DOI: dx.doi.org/10.15407/fm23.02.313 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120639 Nickel oxide thin films were prepared by direct-current magnetron sputtering method at different deposition rates on unheated and heated substrates. It was shown that the deposited films are the dense arrays of nanowhiskers with the rhombohedral crystalline structure for the unheated substrate and with the face centered cubic structure for the heated substrate. Surface morphology of films consists of nanocrystalline randomly oriented grains. Increasing of the deposition rate and/or the substrate temperature lead to decrease of the film porosity and enlarge of nanocrystals. The maximum oxidation state of the deposited films is observed near the surface. en НТК «Інститут монокристалів» НАН України Functional Materials Technology Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film Article published earlier |
| spellingShingle | Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film Oberemok, O.S. Sabov, T.M. Lisovskyy, I.P. Khacevych, I.M. Gudymenko, O.Yo. Nikirin, V.A. Voitovych, M.V. Technology |
| title | Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film |
| title_full | Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film |
| title_fullStr | Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film |
| title_full_unstemmed | Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film |
| title_short | Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film |
| title_sort | influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of nio thin film |
| topic | Technology |
| topic_facet | Technology |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120639 |
| work_keys_str_mv | AT oberemokos influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm AT sabovtm influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm AT lisovskyyip influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm AT khacevychim influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm AT gudymenkooyo influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm AT nikirinva influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm AT voitovychmv influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm |