Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film

Nickel oxide thin films were prepared by direct-current magnetron sputtering method at different deposition rates on unheated and heated substrates. It was shown that the deposited films are the dense arrays of nanowhiskers with the rhombohedral crystalline structure for the unheated substrate and w...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Functional Materials
Date:2016
Main Authors: Oberemok, O.S., Sabov, T.M., Lisovskyy, I.P., Khacevych, I.M., Gudymenko, O.Yo., Nikirin, V.A., Voitovych, M.V.
Format: Article
Language:English
Published: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2016
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120639
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film / O.S. Oberemok, T.M. Sabov, I.P. Lisovskyy, I.M. Khacevych, O.Yo. Gudymenko, V.A. Nikirin, M.V. Voitovych // Functional Materials. — 2016. — Т. 23, № 2. — С. 313-317. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860264179857883136
author Oberemok, O.S.
Sabov, T.M.
Lisovskyy, I.P.
Khacevych, I.M.
Gudymenko, O.Yo.
Nikirin, V.A.
Voitovych, M.V.
author_facet Oberemok, O.S.
Sabov, T.M.
Lisovskyy, I.P.
Khacevych, I.M.
Gudymenko, O.Yo.
Nikirin, V.A.
Voitovych, M.V.
citation_txt Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film / O.S. Oberemok, T.M. Sabov, I.P. Lisovskyy, I.M. Khacevych, O.Yo. Gudymenko, V.A. Nikirin, M.V. Voitovych // Functional Materials. — 2016. — Т. 23, № 2. — С. 313-317. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Functional Materials
description Nickel oxide thin films were prepared by direct-current magnetron sputtering method at different deposition rates on unheated and heated substrates. It was shown that the deposited films are the dense arrays of nanowhiskers with the rhombohedral crystalline structure for the unheated substrate and with the face centered cubic structure for the heated substrate. Surface morphology of films consists of nanocrystalline randomly oriented grains. Increasing of the deposition rate and/or the substrate temperature lead to decrease of the film porosity and enlarge of nanocrystals. The maximum oxidation state of the deposited films is observed near the surface.
first_indexed 2025-12-07T18:58:37Z
format Article
fulltext ���������� �� �� � � ��������� ���������� ������������ �������������� � �� ������������ �������� ��� �� ����������� ��� ������ ����������� �� ��� ���������� ������������ � ����� � ���� � ������!����� ��������� � ������ �� � ���� ������ �������� ����� �� ���� �� �� ��� � � �� ����� � �� ����� � �� ! "# $�� � ����� �������� ���� �� � � ��� ������ � � � ��� ����� ���� ������� �� ����������� � ��� ���� �������� � ����� �� ������ � �������� ����� � � ����� � ����� ����������� �� ��� ���� ���� ��� ������� ����� ��� ��� � �� ������ �� � ��������� ���� ��� �������� ��� ��������� � ��������� ��� ��� � ����� ��������� � ���� ��� ���� �� ���� ����� ��������� ��� ��� ����� ���������� ������� ���������� �� ����� �� ����� �� � ���������� � �� ���� ���� � �� ���� �� � ������ � �� ��� �������� ���� � ��� ��� ��������� ����������� ��� �� ������� �� ��� ���� �������� � � ����� �� � ���������� ��� �� ���� � � ���� ����� �� ��� ������� ����� �� ������� ��� ��� �������� �������� ����� � � � �����! ��� ���� �������� �! "#$! ��%�! &���#� '()*+, -.,)*+ (*/+�0 )+*,.1 23.+ -(.4�,)3 5,6(�(5 50�),67())(�( 70/-3.,)+1 -7+ -(/6(1))(5 6(*, 8$9: / 70;.+�)35+ /*(7(/615+ (/0<�,)+1 )0 ), )0�7,63, + )0�7,63, -(�.(<*+� =/0<�,))3, -.,)*+ 1>.1�6/1 -.(6)35+ 50//+>05+ )0)(>+/*,7(> / 7(52(?�7+�,/*(@ + �70),�,)67+7(>0))(@ *42+�,/*(@ *7+/60..+�,/*+5+ /674*64705+ �.1 ), )0�7,6(@ + )0�7,6(@ -(�.(<,*! /((6>,6/6>,))(� A(7B(.(�+1 -(>,7C)(/6+ -.,)(* /(/6(+6 +; )0)(*7+/60..+�,/*+C ;,7,)! (7+,)6+7(>0))3C /.4�0@)35 (270;(5� D>,.+� �,)+, /*(7(/6+ (/0<�,)+1 +�+.+ 6,5-,706473 -(�.(<*+ -7+>(�16 * 45,)��,)+� -(� 7+/6(/6+ -.,)*+ + 4>,.+�,)+� 70;5,7(> )0)(*7+/60..(>� A0*/+50.�)01 /6,-,)� (*+/� .,)+1 (/0<�,))3C -.,)(* )02.��0,6/1 >2.+;+ -(>,7C)(/6+� �� � �� ������ ��������� �� ���������� �������� �� ���������� �� ��� ��� ����� ����� ���� � ������ ���� ���� ������ � �� � ��� �� ���� ��� ��� ��� �� � ����� ���� ���� ������� � ���� �� ����� ��� � � ���� '()*� -.�>*+ (*/+�4 )�*,.� (67+50)( 5,6(�(5 50�),67())(�( 7(;-+.,))1 -7+ -(� /6�@)(54 /6745� ; 7�;)+5+ �>+�*(/615+ (/0�<,))1 )0 ),)0�7�6� 60 )0�7�6� -��*.0�*+� =/0�<,)� -.�>*+ E F�.�)+5+ 50/+>05+ )0)(>�/*,7�> ; 7(52(,�7+�)(� 60 �70),�,)67(� >0)(� *42��)(� *7+/60.��)+5+ /674*64705+ �.1 ),)0�7�6(G 60 )0�7�6(G -��*.0�(*! >��-(>��)(� A(7B(.(��1 -(>,7C)� -.�>(* /*.0�0E6�/1 ; >+-0�*(>(�(7�E)6(>0)+C )0)(� *7+/60.��)+C ;,7,)� H2�.��,))1 �>+�*(/6� (/0�<,))1 60�02( 6,5-,70647+ -��*.0�*+ -7+;>(�16� �( ;5,)�,))1 -(7+/6(/6� -.�>*+ � ;2�.��,))1 7(;5�7�> )0)(*7+/60.�>� A0*� /+50.�)+@ /64-�)� (*+/.�>0))1 (/0�<,)+C -.�>(* /-(/6,7��0E6�/1 -(2.+;4 -(>,7C)�� �� ����� ����� ���� ��� ���� �� � ���� ������������ �� ���� ���� ���� � ��� � ������ �� ��� � ��� �� ������� �� �� � � ���� �� � �� ���� �� ���� !����� !� ���� �� �� � ���� ��� ������ "#$� ����� � � ������� ��� ��� ���� �� �! ���� ��!��� ��� � ���� �� � � ���� ������� ��� ��������� �������������� �� �� � �� !��� %� �������� ������ � � �� ��� ���� IJKL�MNOM� &� ���� �� %��������! KP! ���K 8KJIQ:! �� PIP�PIL� �� ���� �� � �������IJ�IMNJL���KP�JK�PIP R KJIQ S ��9 T� ������� ��� �� ��� 9�������T !"#$%&'#() *(%+,&()-� ��� .� ./01 202 ! �!� �� �� � ������� � � ��� �� �� ���� ���������� ��!��� � �� "&��$� '� �� � � � ��� ���� � !� ������� � ����� ���� ���� ���� ��� ���( �� � ������ )�*� �� ��� ��� � ����� +�� �� , � ���� ��� ������ �� � � ����� �� ��� ���� ����� � � '� � ���� �� � ��� ��� � ����� �*� �� �� ��� �� ���� ����� ��� �� ��� � ���� ����( �� �� �� �� �� ������ ���� ��� ���� � ���� �� � ������� ���������� ����� �� � �� ��������� ������ �� ������ ��� ��� ����� � �� ��� ���� ���� ��� ��� �� � �� ���� ����� ����� � �� �������� �� � �! ��� ���� ������������� � ���� ����� �� � ������ � ���� "-$� .�� �!�� ��� � ������� ��������� ������ � � �� �� � ����� ��� � � ��� ���� ����� � ����� � �� ��� �� � �� ����� ���� ����� ���� ��� ����������� � ����� � �� � ������������ � /��(�� �0��� ���� ��� ���� �� ��� ��� ������ ���� ������ �� 1� ��* �� �� �� � ��������� ���� ����� � �� �� ������ ���� �� �� ���� ���� � ��*�� �� ����� � �� �� ������� �� ���� ����� ��������� �� ��� ������� � �� ����� � ��������� �� ��� ���(�� �0��� ���� � � ������������ /��(�� �0��� ���� ���� ���� ���� �� ��� ������ �� 1� ��* �� �� �� �� 23 � ��� ���� ��������� � ��� ���� �� � ���� �� 44�4� 5 ������ �� �0���� ���� ��0��� � �� ������ 2� � ��� ������� ��� � ���� �� ��� �� �� �� � ����0�� ���� 6� ��� 7����� ���� ����� ��� �� ���� �� ���� � ������ ��� �� ��� ��� �� ��&⋅#��� 8 � ��� ���� ���� ����� ���� � ����� ��� ��� � �� ���� 9 3: ; ���� �� �� �� �� ��� ���� � ���� � ��< 3. ; ���� �� �� �� �� ���� ���� ����� � �� .: ; �� ��� �� �� �� �� ��� ���� ����� � ��< .. ; �� ��� �� �� �� �� ���� ���� ����� � ��� ��� � �� � � �� ��� �� ��� ���� ����� ����� ��� � �� �� ��� ���� �� ��� ����� �� � ��� #� = > � ����� ����� � �� � ���� ���!���� ���� ������ )��������� ?>: =@�>? 8����� 2�� �� �������� ��� ��� � ��� �� ��� �� A�� &θ ���� � ��� �� �� �*� �� ��� �� ��� ������� �� ��� ���� ���� ���� ���� ������ �� �)3?/ B'>? � ����� �� �������� �� ��� ����� 2�� �� �� ��������� �� ��� � ��� ����� ���� ������ ���� )����� �� /�� �� � B )����������� +)/B), ������� ��� �� ������� ���� ��������� �� ���� ���1����� ���� �� ��� ���� ��������� �� ��� ��� ���� ������ �� ��� �� �� '/? � &��� I� "#$ �� ��� ����� ������� � U����V ��������� �� ��� ���� ����������� 8�: � �� PJJ�9 8�:� ����� I� W��������� �� ��� ���� �������� � ���� ��������� �����������!X9 Y�� �������� 8��Z� � :! W� [ ��� ������� ��������! W� $������� �����! \ $�������� #���! ���� 9] 9�� 8KJ → MJ: K�L⋅IJ�� I�J⋅IJ�� KJ K�^O 9_ 9�� 8KJ → ^J: M�L⋅IJ�� K�I⋅IJ�� IKJ KM _] _�� 8KPJ → K^J: K�L⋅IJ�� I�J⋅IJ�� KJ P�P __ _�� 8KPJ → PIJ: M�L⋅IJ�� K�I⋅IJ�� IKJ IM +% ()� 3 ��� 204 !"#$%&'#() *(%+,&()-� ��� .� ./01 +: ����� .�� �� , �� �������� '��� ��� ����� ���� �� ���� �� ��� ����� � � ��� �� ����6A�� ���� ���� �� ������� �� � ���� � ��� C�'> 8��(�� D���� )������� 7='' ����������� ���(��� �� ��� �� � �� ��� ���� � ��� ���� � ���������� �� !��� �� ������� �� ��� ������ �� �� �� �� ��� � ��!� �0��� � ��� ��� � �� �� �� �� �� � � �� ��������� ���� ���� ��� � ��� ��� ����� �� ��� ��� � ���� ����� ��!� ��� ���� ���� ��� ���� �� ���� ����� ��� � ��� ��� ��� ���� �� ��� ��������� ���� ���� ��� ��� � ��� �� ��� �� ������� ����� ��� �� ��� '> �� � �� ��� ����� � ±��� 5� �� ��� ��� �� ��� ����� ��� =>2 � ����� �� ��� ���� ������ ���� ���� ���� ��� � ���� �� ��� ����� �� C��� # � ��� ���� ���� ��� �� �� ������� � ����� �� �0����� ���������� � ��������� ��� � ����� � � ����� �� ��� ���� ���� ���� ���� ��� � �� + ���� 3:, ��9 � E &�4A4� � � E 6��&# �� '���� � �� ��� ���� ����� � �� �� ��� �� ��������� �� ��� !����� � � ����� � � ����� +� E 6�&A� �, ����� ��� � � ����� � � ��� �� ���� + ���� 3.,� ��� ��� � ����� �*� +��� �� ���� ������� ��������, ���� ���������� ���� =>2 ��� �� �� ��� )������� ������ +� ��� &,� ��� � � ��� �� � ����������� � ��������� �� ��� ���(�� �0��� ���� ���� ����� ��������� �� ��� ��� � ����� �*� � ��� ���� �� 3. ���� � ��� ���������� � � ������ 2���� ����� � ����� �� ��� ���� ���� ���� � �� �� �� ������ ���� �� ����3 ��� ����� �������� �� ��� ���� .: �� .. +C��� #�,� '���� � �� ��� ���� ���� ����� � �� �� � �� ����� � �� ��� � ����� � � �� ��� ���� � E ��#4�� � +��� .: ����, �� E ��#A � +��� .. ����,� '���� ��� �� ��� �� �� �� ������ ���� ������ ��� ���(�� �0��� ���� ���� ����� �� � �� �� ��� �� ��� ��� � � �������� ���� ���������� � �� ������ '���� ��� �� ��� ���� ����� � �� �� � �� ����� � �� ��� ���� ���� �*�� '� �� ���� ��� ����� �� ��� ���� ���� ���� + �� C��� &, � ���� ����� � ������� � �� �� � ��� ���� � ��� ����� ����� � 0���� �� ����� +ν � , �� ����� ����� ��������� �� ��� ��������� �� ��� � ���� ���� ����� ; ���� ����� � �� �� ��� ��� ���� �� ��� �� �� ��� '� � ������ � ��� ��� ���� ���� ���� � ��� � �� +F&�4 ��⋅���� �, �� � ��� ������ ���� +A��3, ��� � ��� ���� � �� � � ���� ��� � ���� ��� ������ ������ ���� ��� ! ��� �� ν � F �#A ���� + �����, �� F�A� ���� +�� (, ����� ���� ������ '���� ��� �� ��� ���� ����� � �� +�� �� #��&� ��⋅�����, �� ��� ���� ����� ������ ���� +�� ����3, �� � �� ��� � �� ��� � �� � �� � ��� �� ��� ���� ���1����� ������������� ��� � �� �� ��!�� � � � ��� ��������� �� ���� ��������� !��� ���� ���� ��� ��� � ��� ������ ���� ��� �*� �� �� F�� ��� � (��� ���� ������ �� � ����� � �� ��� � ����� � � �*� ����� �� ��� �� G����G ���� �� ����� � ������� ���� + � ������� � �� ������ ��� �� � ���� � !������� , "6 A$ ��� '> � � � � �� �0�� ���� �� ��� ��������� � �� 2��� ����� �� ��� � �� ��� ��� �� ��� �� �� �� ��H�� ���� � �� � �� �� � �� ���� ���� �� ��� � ����� � � ���� �*� �� �������� ������ ��� ���� � ��� ����!�� ��� � �� � ����� � � �� ����� ��� '���� � �� ��� ���� ����� � �� �� ��� �� �� �� ������ ���� �� � �� ���� ���� �� ��� � ����� � � ���� � ���� �*� �� �������� &��� K� �# ��� ������� ������� �� ��� ������ ����� K� 9���������� ��V�� � �# ��������� �� ������ ������ 9] 9_ _] __ ����������� ��V��! � �������� ��� �������! `JIKa N�P IK�QN b b ����� �������! `IIIa b b ^�NI L�OK ����� �������! `KJJa b b L�MI IJ�OK ��� ������� �� ��� �� ���� �� ��� � ����� ��������� �� ! ���� NI^ PLQ P^J POJ +% ()� 3 ��� !"#$%&'#() *(%+,&()-� ��� .� ./01 205 ������ ��� � ������ � ��� ���� �� ��������� ���� ������� ����� �� ��� � ��� ��� � ����� � � � ��� ������ ��� ���� � ���� ���� ���� ��� � � �� ��� =>2 �� ������� � '� ��� � � �� ��� ���� ����� +3: .: ���� , �� ��� � ������� � �� � ��� ��� !� ���� �������� ���� ��� ��������� � '� �� ��� �� ���� ���� �� ��� �� � �� ��� � � ���� ���� ��������� !�� �� �*� � )��� � ������� � �� �������� � ��� �� ��!�� ��� ��� ��� ���� ���� ����� � ��� 8��� ��� ��� ���� ������� �� � �� ��� ��� � ����� � ������� ��� ������� �� � ������� � �� � ��� ���� � ����� �� ��� ��� ���� ���� ���� �� ��� �� ��� �� �� �� +.: .. � ��� , ������� ����� '� � � �� ������� ��� ��� ��� ���(�� �0��� ���� ���� ��� ���������� � ��� � ����� �������� +3: 3. ���� ,� '� C��� � � ��� ��� 3 ���� I0���� )������ �� /��(�� )/B) ����� ������� �� ��� ��� � ��� �������� ��� 3. �� .. � ��� �� �����!���� '� � ��� �� � ���(�� ��� ����� ���� � ����� �� ���� ��� ���� �� � �� �� ��� ������ �� ���� ������ �� ��� ���� � � � B����!�� ��� ����� � � � ������ � � �� � ����� ��� ���� �� ��� �� ������ �� �� � �����*�� �� ����� ��� �� �0���� ��!�� �� ����� ��� �� � ���� �� ������ ��!�� � ��� ����� �� ��������� �� ��� � ��� ���� �� �� ������ ��� �� ��� ���� � �� �� � ����� ������� � �� ����� �� ��� �� ��� � �� ��� ���(�� �0�� ���� ������ ���� ��� ��� � ��� ������ �� �� ��� ���� ��� ��� ��� � � �� ��� �� ����� �������� �� ��� ���� ���� ���� �� ����� ������� � �0�� ���� � �� ��� ����� ��� ��� ��� ������ �� ��������� ����� �� �� � ��� ���(�� �0��� ���� ���� ���� �� ��� ���� �� �� �� +3., � ���� ����� �� � ��� ���� ���� ���� �� ��� �� ��� �� �� �� +.., ���� ����� ��� �� ��� �� �� �� ������ ���� ������ ���� ����� ��� ��� � ���� �� � �� ��� � ���� �� ���� ��� � ��������� ?� ��� �� ���� ����� � �� ��� �� �� �� ��� ��� ���� �� ��� �� ����� � �� ��� � ���� �������� ���� �� ��� ����� )DB �� �� �� ��� ��� ��� ! �� �� ���(�� �0��� ���� ���� ���� �� ��� �� ��� �� �� �� � ��� ���� ���� ����� � �� + � ��� .., � ���� �� C��� �� ��� ���� � ��� (���� �������� ���� !�� �� �� ����� �� ��� (�� F �� ��� ��� ��� (�� � !� ������ ��� � ��� ������ ����(�� �� ��� ���� +&�� ��,� ��� ��� �� ������ ��� �� ��� ���� � ������� � ����� ���� !�� �� ��� ��� �*� �� F �� ��� ��� �*� �� ���� ��� ��� ������� �� +#&�#� ��, ���� ��� =>2 ����� �� ��� ��� ��� �*� ��� ���� ���� ��� )DB �� �� +�� ��, �� �� ������ ���� ��� � � �� ��� � � ��� ������ ���� � ��� ��� ��� � � �� �!�� � ��� � ����� ���� ��� ��������� ������ ���� �� ��� � ����� ���� �� �� � &��� N� �c% ����� �� ��� ����� �������� �� ����� � � � ���� 8__ ������:� &��� P� ��%� ���� �������� �� ��� ����� �� � ����� � � � ����� ��� �������� � � ��� 8�: � ����� 8�: ������ ���������� 89_ � __ �������! ������������:� +% ()� 3 ��� 201 !"#$%&'#() *(%+,&()-� ��� .� ./01 �� ����� ����� 2��� ���� ���(�� �0��� ���� �� ���� ��� � ����� �������� ���� ��� �� � �� ��� (�� � ��� ��� (�� � !� !�� �� �� �� ��� �� ������ �� �� �� &�� �� �� ��� ��!���� ��� ���������� � ��� � � � ����� � ������ �� ��� ���� ���� ���� �� ��� �� �� �� � ��� ���� ������ ����� 2��� ����� �� ��� �� ��� �� &�������3 �� �� �� �� � �� ���� ���� �� ��� ���� ���� ��� ����� ��� � � � ������ '���� � �� ��� ���� ����� � �� �� � �� ��� �� � ���� ���� �� ��� � ��� � ����� ���� ��� ���� ���� ���������� �� �*� �� ����� � �� ��� !�� �� ��� � ����� �*�� '���� � �� ��� �� �� �� ������ ���� ������ ���� ����� �� � �� ���� ���� �� ��� ��� � ���� ���� ��� ���� ��� � ��������� ���������� I� $���$������! %�d�������� ���! $���W���� �� ���! 677)� 8",9� 8$&! �� ! KQNL 8KJII:� K� e� � %��! $� ��� � d��! e��� _�� �� ���! :&'-+#-� (#; :&'+)+$%,'#�! �!! KON^ 8KJII:� P� ���\�W����! d�� ��%�9����! c��� � f���! ��� ��� ���! 677)� 8",9� 8$&+�! �""! NPO 8KJJM:� N� ]��� \� �! g�� � ]��! #�� \� � �� ���! <� =(%+,� >?+*�! ��! IKNMP 8KJIK:� M� [���[�������! h�W�%�� ��! h�i������� �� ���! � W���� �� "h � ��� ���� �� 9� ���� �� TW������ � ���� ����� �� ��� &���� � �� ��������T! %�� II�IQ 8KJIM:! ��^I� Q� Y�Y�� U���� 9����! @?&# 8')&; !&)*-! �!"! I 8KJIN:� L� f�i � � ! h�#�j� �� ! 8%,"$%�� A(#'-$&+�� �A(#'%+$?#�B 6# C#%+,#� <�! �! KN 8KJIK:� ^� h�k�j�! %�i� �� f�� ��! 87+$%,'$?&*� 6$%(� D(,% 6! �#! IKI 8KJJP:� +% ()� 3 ��� !"#$%&'#() *(%+,&()-� ��� .� ./01 20E
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-120639
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1027-5495
language English
last_indexed 2025-12-07T18:58:37Z
publishDate 2016
publisher НТК «Інститут монокристалів» НАН України
record_format dspace
spelling Oberemok, O.S.
Sabov, T.M.
Lisovskyy, I.P.
Khacevych, I.M.
Gudymenko, O.Yo.
Nikirin, V.A.
Voitovych, M.V.
2017-06-12T14:33:23Z
2017-06-12T14:33:23Z
2016
Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film / O.S. Oberemok, T.M. Sabov, I.P. Lisovskyy, I.M. Khacevych, O.Yo. Gudymenko, V.A. Nikirin, M.V. Voitovych // Functional Materials. — 2016. — Т. 23, № 2. — С. 313-317. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
1027-5495
DOI: dx.doi.org/10.15407/fm23.02.313
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120639
Nickel oxide thin films were prepared by direct-current magnetron sputtering method at different deposition rates on unheated and heated substrates. It was shown that the deposited films are the dense arrays of nanowhiskers with the rhombohedral crystalline structure for the unheated substrate and with the face centered cubic structure for the heated substrate. Surface morphology of films consists of nanocrystalline randomly oriented grains. Increasing of the deposition rate and/or the substrate temperature lead to decrease of the film porosity and enlarge of nanocrystals. The maximum oxidation state of the deposited films is observed near the surface.
en
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
Functional Materials
Technology
Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film
Article
published earlier
spellingShingle Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film
Oberemok, O.S.
Sabov, T.M.
Lisovskyy, I.P.
Khacevych, I.M.
Gudymenko, O.Yo.
Nikirin, V.A.
Voitovych, M.V.
Technology
title Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film
title_full Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film
title_fullStr Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film
title_full_unstemmed Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film
title_short Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film
title_sort influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of nio thin film
topic Technology
topic_facet Technology
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120639
work_keys_str_mv AT oberemokos influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm
AT sabovtm influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm
AT lisovskyyip influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm
AT khacevychim influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm
AT gudymenkooyo influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm
AT nikirinva influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm
AT voitovychmv influenceofdepositionrateandsubstratetemperatureonstructureandopticalfeaturesofniothinfilm