Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification

The modification of the surface structure of the hybrid coating TiN/Al₂O₃ with a low-energy high-current electron beam (NCEB) is performed. The surface roughness is considered as a function of beam current. Surfaces of the obtained samples are investigated within the two-dimensional multifractal det...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Condensed Matter Physics
Дата:2013
Автори: Pogrebnjak, A.D., Borisyuk, V.N., Bagdasaryan, A.A.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Інститут фізики конденсованих систем НАН України 2013
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120821
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification / A.D. Pogrebnjak, V.N. Borisyuk, A.A. Bagdasaryan // Condensed Matter Physics. — 2013. — Т. 16, № 3. — С. 33803:1-8 . — Бібліогр.: 21 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-120821
record_format dspace
spelling Pogrebnjak, A.D.
Borisyuk, V.N.
Bagdasaryan, A.A.
2017-06-13T05:19:09Z
2017-06-13T05:19:09Z
2013
Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification / A.D. Pogrebnjak, V.N. Borisyuk, A.A. Bagdasaryan // Condensed Matter Physics. — 2013. — Т. 16, № 3. — С. 33803:1-8 . — Бібліогр.: 21 назв. — англ.
1607-324X
PACS: 81.40.- z, 81.07.- b, 68.35.-p, 61.46.-w, 05.45.Df, 61.43.Hv
DOI:10.5488/CMP.16.33803
arXiv:1310.1235
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120821
The modification of the surface structure of the hybrid coating TiN/Al₂O₃ with a low-energy high-current electron beam (NCEB) is performed. The surface roughness is considered as a function of beam current. Surfaces of the obtained samples are investigated within the two-dimensional multifractal detrended fluctuation analysis (MF-DFA). The multifractal spectrum of the surface is calculated as a quantitative parameter of the roughness. It is shown that with the increase of the beam energy, the surface become more regular and uniform.
Проаналiзовано процес модифiкацiї структури поверхнi гiбридного покриття TiN/Al₂O₃ пiд впливом низькоенергетичного сильнострумового електронного пучка. Шорсткiсть поверхнi розглянуто як функцiю струму пучка. Поверхнi отриманих зразкiв дослiджувались за допомогою двовимiрного мультифрактального флуктуацiйного аналiзу. Для кiлькiсного аналiзу змiни шорсткостi розрахована функцiя мультифрактального спектру. Показано, що зi збiльшенням енергiї пучка поверхня стає бiльш регулярною та рiвномiрною.
en
Інститут фізики конденсованих систем НАН України
Condensed Matter Physics
Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
Чисельний аналiз морфологiчних та фазових перетворень покриття TiN/Al₂O₃ пiд час модифiкацiї низькоенергетичним сильнострумовим електронним пучком
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
spellingShingle Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
Pogrebnjak, A.D.
Borisyuk, V.N.
Bagdasaryan, A.A.
title_short Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
title_full Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
title_fullStr Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
title_full_unstemmed Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
title_sort numerical analysis of the morphological and phase changes in the tin/al₂o₃ coating under high current electron beam modification
author Pogrebnjak, A.D.
Borisyuk, V.N.
Bagdasaryan, A.A.
author_facet Pogrebnjak, A.D.
Borisyuk, V.N.
Bagdasaryan, A.A.
publishDate 2013
language English
container_title Condensed Matter Physics
publisher Інститут фізики конденсованих систем НАН України
format Article
title_alt Чисельний аналiз морфологiчних та фазових перетворень покриття TiN/Al₂O₃ пiд час модифiкацiї низькоенергетичним сильнострумовим електронним пучком
description The modification of the surface structure of the hybrid coating TiN/Al₂O₃ with a low-energy high-current electron beam (NCEB) is performed. The surface roughness is considered as a function of beam current. Surfaces of the obtained samples are investigated within the two-dimensional multifractal detrended fluctuation analysis (MF-DFA). The multifractal spectrum of the surface is calculated as a quantitative parameter of the roughness. It is shown that with the increase of the beam energy, the surface become more regular and uniform. Проаналiзовано процес модифiкацiї структури поверхнi гiбридного покриття TiN/Al₂O₃ пiд впливом низькоенергетичного сильнострумового електронного пучка. Шорсткiсть поверхнi розглянуто як функцiю струму пучка. Поверхнi отриманих зразкiв дослiджувались за допомогою двовимiрного мультифрактального флуктуацiйного аналiзу. Для кiлькiсного аналiзу змiни шорсткостi розрахована функцiя мультифрактального спектру. Показано, що зi збiльшенням енергiї пучка поверхня стає бiльш регулярною та рiвномiрною.
issn 1607-324X
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120821
citation_txt Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification / A.D. Pogrebnjak, V.N. Borisyuk, A.A. Bagdasaryan // Condensed Matter Physics. — 2013. — Т. 16, № 3. — С. 33803:1-8 . — Бібліогр.: 21 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT pogrebnjakad numericalanalysisofthemorphologicalandphasechangesinthetinal2o3coatingunderhighcurrentelectronbeammodification
AT borisyukvn numericalanalysisofthemorphologicalandphasechangesinthetinal2o3coatingunderhighcurrentelectronbeammodification
AT bagdasaryanaa numericalanalysisofthemorphologicalandphasechangesinthetinal2o3coatingunderhighcurrentelectronbeammodification
AT pogrebnjakad čiselʹniianalizmorfologičnihtafazovihperetvorenʹpokrittâtinal2o3pidčasmodifikaciínizʹkoenergetičnimsilʹnostrumovimelektronnimpučkom
AT borisyukvn čiselʹniianalizmorfologičnihtafazovihperetvorenʹpokrittâtinal2o3pidčasmodifikaciínizʹkoenergetičnimsilʹnostrumovimelektronnimpučkom
AT bagdasaryanaa čiselʹniianalizmorfologičnihtafazovihperetvorenʹpokrittâtinal2o3pidčasmodifikaciínizʹkoenergetičnimsilʹnostrumovimelektronnimpučkom
first_indexed 2025-12-07T20:55:06Z
last_indexed 2025-12-07T20:55:06Z
_version_ 1850884391485571072