Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification

The modification of the surface structure of the hybrid coating TiN/Al₂O₃ with a low-energy high-current electron beam (NCEB) is performed. The surface roughness is considered as a function of beam current. Surfaces of the obtained samples are investigated within the two-dimensional multifractal det...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Condensed Matter Physics
Datum:2013
Hauptverfasser: Pogrebnjak, A.D., Borisyuk, V.N., Bagdasaryan, A.A.
Format: Artikel
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Інститут фізики конденсованих систем НАН України 2013
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120821
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification / A.D. Pogrebnjak, V.N. Borisyuk, A.A. Bagdasaryan // Condensed Matter Physics. — 2013. — Т. 16, № 3. — С. 33803:1-8 . — Бібліогр.: 21 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862748453212258304
author Pogrebnjak, A.D.
Borisyuk, V.N.
Bagdasaryan, A.A.
author_facet Pogrebnjak, A.D.
Borisyuk, V.N.
Bagdasaryan, A.A.
citation_txt Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification / A.D. Pogrebnjak, V.N. Borisyuk, A.A. Bagdasaryan // Condensed Matter Physics. — 2013. — Т. 16, № 3. — С. 33803:1-8 . — Бібліогр.: 21 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Condensed Matter Physics
description The modification of the surface structure of the hybrid coating TiN/Al₂O₃ with a low-energy high-current electron beam (NCEB) is performed. The surface roughness is considered as a function of beam current. Surfaces of the obtained samples are investigated within the two-dimensional multifractal detrended fluctuation analysis (MF-DFA). The multifractal spectrum of the surface is calculated as a quantitative parameter of the roughness. It is shown that with the increase of the beam energy, the surface become more regular and uniform. Проаналiзовано процес модифiкацiї структури поверхнi гiбридного покриття TiN/Al₂O₃ пiд впливом низькоенергетичного сильнострумового електронного пучка. Шорсткiсть поверхнi розглянуто як функцiю струму пучка. Поверхнi отриманих зразкiв дослiджувались за допомогою двовимiрного мультифрактального флуктуацiйного аналiзу. Для кiлькiсного аналiзу змiни шорсткостi розрахована функцiя мультифрактального спектру. Показано, що зi збiльшенням енергiї пучка поверхня стає бiльш регулярною та рiвномiрною.
first_indexed 2025-12-07T20:55:06Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-120821
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1607-324X
language English
last_indexed 2025-12-07T20:55:06Z
publishDate 2013
publisher Інститут фізики конденсованих систем НАН України
record_format dspace
spelling Pogrebnjak, A.D.
Borisyuk, V.N.
Bagdasaryan, A.A.
2017-06-13T05:19:09Z
2017-06-13T05:19:09Z
2013
Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification / A.D. Pogrebnjak, V.N. Borisyuk, A.A. Bagdasaryan // Condensed Matter Physics. — 2013. — Т. 16, № 3. — С. 33803:1-8 . — Бібліогр.: 21 назв. — англ.
1607-324X
PACS: 81.40.- z, 81.07.- b, 68.35.-p, 61.46.-w, 05.45.Df, 61.43.Hv
DOI:10.5488/CMP.16.33803
arXiv:1310.1235
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120821
The modification of the surface structure of the hybrid coating TiN/Al₂O₃ with a low-energy high-current electron beam (NCEB) is performed. The surface roughness is considered as a function of beam current. Surfaces of the obtained samples are investigated within the two-dimensional multifractal detrended fluctuation analysis (MF-DFA). The multifractal spectrum of the surface is calculated as a quantitative parameter of the roughness. It is shown that with the increase of the beam energy, the surface become more regular and uniform.
Проаналiзовано процес модифiкацiї структури поверхнi гiбридного покриття TiN/Al₂O₃ пiд впливом низькоенергетичного сильнострумового електронного пучка. Шорсткiсть поверхнi розглянуто як функцiю струму пучка. Поверхнi отриманих зразкiв дослiджувались за допомогою двовимiрного мультифрактального флуктуацiйного аналiзу. Для кiлькiсного аналiзу змiни шорсткостi розрахована функцiя мультифрактального спектру. Показано, що зi збiльшенням енергiї пучка поверхня стає бiльш регулярною та рiвномiрною.
en
Інститут фізики конденсованих систем НАН України
Condensed Matter Physics
Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
Чисельний аналiз морфологiчних та фазових перетворень покриття TiN/Al₂O₃ пiд час модифiкацiї низькоенергетичним сильнострумовим електронним пучком
Article
published earlier
spellingShingle Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
Pogrebnjak, A.D.
Borisyuk, V.N.
Bagdasaryan, A.A.
title Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
title_alt Чисельний аналiз морфологiчних та фазових перетворень покриття TiN/Al₂O₃ пiд час модифiкацiї низькоенергетичним сильнострумовим електронним пучком
title_full Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
title_fullStr Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
title_full_unstemmed Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
title_short Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
title_sort numerical analysis of the morphological and phase changes in the tin/al₂o₃ coating under high current electron beam modification
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/120821
work_keys_str_mv AT pogrebnjakad numericalanalysisofthemorphologicalandphasechangesinthetinal2o3coatingunderhighcurrentelectronbeammodification
AT borisyukvn numericalanalysisofthemorphologicalandphasechangesinthetinal2o3coatingunderhighcurrentelectronbeammodification
AT bagdasaryanaa numericalanalysisofthemorphologicalandphasechangesinthetinal2o3coatingunderhighcurrentelectronbeammodification
AT pogrebnjakad čiselʹniianalizmorfologičnihtafazovihperetvorenʹpokrittâtinal2o3pidčasmodifikaciínizʹkoenergetičnimsilʹnostrumovimelektronnimpučkom
AT borisyukvn čiselʹniianalizmorfologičnihtafazovihperetvorenʹpokrittâtinal2o3pidčasmodifikaciínizʹkoenergetičnimsilʹnostrumovimelektronnimpučkom
AT bagdasaryanaa čiselʹniianalizmorfologičnihtafazovihperetvorenʹpokrittâtinal2o3pidčasmodifikaciínizʹkoenergetičnimsilʹnostrumovimelektronnimpučkom