Зображення обкладинки

Borophosphosilicate glass component analysis using secondary neutral mass spectrometry

In the present study the SNMS technique for the quantitative component analysis of the borophosphosilicate glass layers was used. These layers were deposited on the silicon substrate by chemical vapor deposition method. The charge-up of the surface is compensated by plasma gas electrons in the high...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Дата:	2002
Автори:	Oberemok, O., Lytvyn, P.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121124
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Borophosphosilicate glass component analysis using secondary neutral mass spectrometry / O. Oberemok, P. Lytvyn // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2002. — Т. 5, № 1. — С. 101-105. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system
за авторством: A. S. Turtsevich, та інші
Опубліковано: (2015)

Deposition of borophosphosilicate glass films using the TEOS–dimethylphosphite–trimethylborate system
за авторством: Turtsevich, A.S., та інші
Опубліковано: (2015)

Investigation of the Phase Interfaces in Periodic Multilayer Mo/Si Structures, Using the Method of Mass-Spectrometry of Neutral Particles
за авторством: Ju. P. Pershin, та інші
Опубліковано: (2013)

Secondary ion mass spectrometry lean and fat Donetsk coal basin coal
за авторством: T. A. Vasilenko, та інші
Опубліковано: (2014)

Secondary-ion mass spectrometry study of LaNi5-hydrogen-oxygen system
за авторством: V. O. Litvinov, та інші
Опубліковано: (2021)

Secondary-ion mass spectrometry study of LaNi5-hydrogen-oxygen system
за авторством: V. A. Litvinov, та інші
Опубліковано: (2021)

Analysis of volatiles compounds of rapeseeds by gas chromatography–mass spectrometry
за авторством: E. E. Chigirinets, та інші
Опубліковано: (2013)

Comprehensive Methods of MALDI-TOF Mass Spectrometry Data Analysis
за авторством: Plechawska-Wójcik, M.
Опубліковано: (2011)

The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry
за авторством: Hladkovskiy, V.V., та інші
Опубліковано: (2016)

Using the method of pyrolytic mass spectrometry in the study of biodegradable polymeric materials
за авторством: V. V. Boiko, та інші
Опубліковано: (2021)

Classification of Maldi-tof Mass Spectrometry Data in the Analysis of Cancer Patients
за авторством: Małgorzata Plechawska
Опубліковано: (2010)

Complex physicochemical analysis of transformer oil parameters using the inductively coupled plasma mass spectrometry technique
за авторством: Nurubeyli, T. K., та інші
Опубліковано: (2025)

Study of products of the interaction of RNA with mannitol, by using the pyrolytic mass spectrometry method
за авторством: V. B. Shchodryi, та інші
Опубліковано: (2017)

Mass-spectrometry studies of oligomeres composition of polyhexamethyleneguanidine
за авторством: A. V. Lysytsia, та інші
Опубліковано: (2012)

VLSI for a new generation of microelectronic coordinate-sensitive etectors with an extended field of analysis for use in mass spectrometry
за авторством: V. P. Sidorenko, та інші
Опубліковано: (2018)

Pyrolytic mass-spectrometry of the oligoisoprene with of terminal hydroxyl groups
за авторством: V. P. Boiko, та інші
Опубліковано: (2022)

Generalized peak shape model for desorption mass spectrometry
за авторством: O. N. Peregudov, та інші
Опубліковано: (2011)

MALDI mass spectrometry of zirconium and hafnium dibenzoylmethanate phthalocyanines
за авторством: Ya. Chernii, та інші
Опубліковано: (2012)

MALDI mass spectrometry of zirconium and hafnium dibenzoylmethanate phthalocyanines
за авторством: Chernii, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2012)

Electron-impact mass spectrometry of PTCDA molecules in the gas phase
за авторством: A. Zavilopulo, та інші
Опубліковано: (2019)

Mass Spectrometry (MALDI) of the macrobicyclic tris-dioximates iron (II)
за авторством: C. V. Shulga, та інші
Опубліковано: (2011)

Electron-impact mass spectrometry of PTCDA molecules in the gas phase
за авторством: A. M. Zavilopulo, та інші
Опубліковано: (2019)

Analysis of blocked polyisocyanate binding with polysaccharide xanthan in polyglucanurethanes based on them with the method of mass-spectrometry
за авторством: N. V. Kozak, та інші
Опубліковано: (2012)

Mass spectrometry study of plant steroid glycosides and their interactions with biomolecules
за авторством: Pilipenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2002)

Review of Graphene Properties in View of its Use as a Substrate for Matrix-Free Mass Spectrometry
за авторством: Gabovich, V.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Mass-spectrometry study of b-cyclodextrin inclusion complex with albumin
за авторством: S. V. Riabov, та інші
Опубліковано: (2012)

Polyurethane foams based on natural polysaccharides: thermal mass-spectrometry
за авторством: I. V. Janovich, та інші
Опубліковано: (2012)

Thermodesorption mass-spectrometry of composites based on resorcinol-formaldehyde resin
за авторством: V. M. Bogatyrev, та інші
Опубліковано: (2018)

Mass-spectrometry of destruction products of Polyester Resin – Nanosilica Composites
за авторством: B. M. Gorelov, та інші
Опубліковано: (2013)

Thermal mass-spectrometry investigation of formation of Ti-containing copolymer
за авторством: T. T. Alekseeva, та інші
Опубліковано: (2014)

Pyrolytic mass-spectrometry of some liquid rubbers obtained by radical polymerization
за авторством: T. V. Dmitrieva, та інші
Опубліковано: (2014)

Features of polyols ion formation in mass spectrometry with laser desorption/ionization
за авторством: N. S. Nastasiienko, та інші
Опубліковано: (2012)

Investigation of β-cyclodextrin-containing pseudorotaxane by pyrolysis mass spectrometry method
за авторством: L. A. Orel, та інші
Опубліковано: (2017)

Studies on interaction of oligoadenylates with proteins in vitro by MALDI-TOF mass spectrometry
за авторством: S. M. Levchenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Studies on interaction of oligoadenylates with proteins in vitro by MALDI-TOF mass spectrometry
за авторством: Levchenko, S.M., та інші
Опубліковано: (2013)

Determination of phenol in the Bangsai river water of Bangladesh by gas chromatography-mass spectrometry
за авторством: M. A. Hossain, та інші
Опубліковано: (2011)

Determination of side products of stilbene synthesis by gas chromatography and chromato-mass spectrometry
за авторством: Averin, V.A., та інші
Опубліковано: (2008)

Determination of phenol in the Bangsai river water of Bangladesh by gas chromatography-mass spectrometry
за авторством: M. Amzad Hossain, та інші
Опубліковано: (2011)

Features of ion formation of C60 fullerene in mass-spectrometry with laser desorption/ionization
за авторством: O. B. Karpenko, та інші
Опубліковано: (2012)

Investigation of b-cyclodextrin peroxides&#039; thermal degradation by pyrolysis mass spectrometry
за авторством: V. V. Boiko, та інші
Опубліковано: (2016)