Зображення обкладинки

Dielectric, ferroelectric and piezoelectric properties of sputtered PZT thin films on Si substrates: influence of film thickness and orientation

Lead titanate zirconate Pb(Zr,Ti)O₃ (PZT) thin films were deposited on platinized silicon substrates by r.f. magnetron sputtering and crystallized with preferred (110) or (111) orientation by conventional annealing treatment. The film structure evolution was observed as a function of the film thickn...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Дата:2002
ISSN:1560-8034
Автори: Haccart, T., Cattan, E., Remiens, D.
Формат: Стаття
Мова:Англійська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121131
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Dielectric, ferroelectric and piezoelectric properties of sputtered PZT thin films on Si substrates: influence of film thickness and orientation / T. Haccart, E. Cattan, D. Remiens // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2002. — Т. 5, № 1. — С. 78-88. — Бібліогр.: 45 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Схожі ресурси