Simulation of low angle X-ray diffraction on multilayers subjected to diffusion

Calculative method based on the Riccatti type differential equation was tested for simulation of low angle X-ray diffraction patterns from the one-dimensionally ordered multilayer. Some peculiarities of diffraction were revealed connected with asymmetrical distortion of the multilayer profile due to...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Datum:2000
1. Verfasser: Fedorov, A.G.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2000
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121196
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Simulation of low angle X-ray diffraction on multilayers subjected to diffusion / A.G. Fedorov // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 4. — С. 554-557. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-121196
record_format dspace
spelling Fedorov, A.G.
2017-06-13T16:46:28Z
2017-06-13T16:46:28Z
2000
Simulation of low angle X-ray diffraction on multilayers subjected to diffusion / A.G. Fedorov // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 4. — С. 554-557. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
1560-8034
PACS: 61.10.N, 68.65
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121196
Calculative method based on the Riccatti type differential equation was tested for simulation of low angle X-ray diffraction patterns from the one-dimensionally ordered multilayer. Some peculiarities of diffraction were revealed connected with asymmetrical distortion of the multilayer profile due to different processes on the layer boundaries.
en
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Simulation of low angle X-ray diffraction on multilayers subjected to diffusion
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Simulation of low angle X-ray diffraction on multilayers subjected to diffusion
spellingShingle Simulation of low angle X-ray diffraction on multilayers subjected to diffusion
Fedorov, A.G.
title_short Simulation of low angle X-ray diffraction on multilayers subjected to diffusion
title_full Simulation of low angle X-ray diffraction on multilayers subjected to diffusion
title_fullStr Simulation of low angle X-ray diffraction on multilayers subjected to diffusion
title_full_unstemmed Simulation of low angle X-ray diffraction on multilayers subjected to diffusion
title_sort simulation of low angle x-ray diffraction on multilayers subjected to diffusion
author Fedorov, A.G.
author_facet Fedorov, A.G.
publishDate 2000
language English
container_title Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
description Calculative method based on the Riccatti type differential equation was tested for simulation of low angle X-ray diffraction patterns from the one-dimensionally ordered multilayer. Some peculiarities of diffraction were revealed connected with asymmetrical distortion of the multilayer profile due to different processes on the layer boundaries.
issn 1560-8034
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121196
citation_txt Simulation of low angle X-ray diffraction on multilayers subjected to diffusion / A.G. Fedorov // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 4. — С. 554-557. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT fedorovag simulationoflowanglexraydiffractiononmultilayerssubjectedtodiffusion
first_indexed 2025-11-25T23:28:33Z
last_indexed 2025-11-25T23:28:33Z
_version_ 1850581082967113728
fulltext �������� � ��� � ��������� �� �� ����� ����������� ����� �������� ��������� ����� ��� �� �! "� #�������$�� � ���%��������� � ��� ���������� ������&��������%�����������%�'(�������� ��� ����� ����� ������� � � �� ���������� �� �� ������������������ �� �� ������ � ��� �������������� � ����������� ������������ ������������������������ ��� ��� ������ ��� ��������� � ���������� ������� ���� � �� ����� ����� ������!"��� � ������� �������� �� ������������������������� � �� ���� ���� ����� ��� � ������� ������� ��� #�� � �� ����!��� � ����$� ������ �������������������� ������� ���� � �� ���� ��� ��� �� ������� ������ ��� ���������� �� ���� �������� �� ���������� �������� ���������� ��!� ������� ������� � ���� � �� ����"�%������������������ ������������������ ������������������ �������������������� �� � ����� �� � ���������������� ����������������������� ���������� ���� �� ������������������ ���������� ������������������ ���� � ����� ����" &� �� ���������������������������� �� �� ������������� ������������������������ ��� ���������� ���� ������ � �� � ������� �� ��������������������"��������������������� ������ ������ �������������� ���������������� ���� �������� ��� �� ������ ��� �����'(��)*"�+��� �� ���� � ������� ��������� � �� ������������ � � ���� �� ��� ���������������������� �� ���������������������������� �� ������� �����������%����� ���� ������� ������������� � ���� ',�� �*"������ ��������� ���������� ���� ������� ���� �� ��� ��� ���� ��� ������ ������ ��� �� ��������"�-� � �� ���� �������������������� ����� ��� ������� �" .�� ������� ������������� ������ �������� ����������� �� �� �� �������� � "�/����������#� ������� ���� �� � ��������� ���������& ��� ���� ���������� ������������ ���������� ����� �������� ������������ ������������ ������� ��������������� ����" �� ������� � 0��� ������� ���� ���� ������������������ ���� � � ��� ��������%��"�(��������)*�� ������ � ����� ��� � �� ���� ��+� ���(� ��������1�� ��� ��������� � � ����* ���"������ � ������& ��� ���� ���������������� ��� �� 2� 2 = ∂ ∂ = ∂ ∂ −= ∂ ∂ = ∂ ∂ + ∂ ∂ −= ∂ ∂ − ∂ ∂ � � + � � , � + � � - � - + , + � � � , + - + � - � , � -, � -, ωω εω (! ���� � ��� � ��� ����������� ! ��� 22 �(���� == × × ! ��� --��,, �(�(�(� ++ �������� (!���� ��������� ����� � �������� -, ++ � 3 �,-�-, �( � +�( � + ωω =−= � 4���������� � �����'�*�� ��������������������� ��� ���"�5�� �������������������� ������� � �������� ���� ������ �� ��ϕ � ������������� � �.-� + �.-� +�.- � - , � ������! �������! ����! ϕ ϕ = −== )! ������ ���������� ���� ������� ��� �� �.-�/+ �.-�/+�.-/� / - / , / � ������! �������! ����! ϕ ϕ = == ,! 60783�9("(2"4��9:"9� ��� ���������� ���������������� ���������� ���� ���������� � ������ � ��� ��� ���� ����� � ���! $�� � �� %��� ���0���1��� ����� 2�����&3��� 4��� 45��5�6���(�3��'(����� %�����37,��������(���(�3����� ����������7 �� ����� ������� ������� ����-��� ���� ��������������� � ��� ������ �� ������� ��� �� � ����� ��� ��� �� ����� �� ����� ������ � ������� ��� � ���� ������ ������ �� ������� � �� ���"� 8� ������ � ������� ��� ����� ����������� ���� ��� ��������������� �� ����� � ���� ����������� ���� � �� ��������� �� ���� �������������������������� ���� ��������� ����" "����� �#� � �� ��������� �� ����� ����� 6 �������������()"2;"22<��������� ������������������(,"(2"22<� ��������������� �� �����()"()"22" ����� � ���!#���� �������������������������� ��������������� ������������� ���������8�9������ =�������� #����� ��������� �� 2>(> (� =ω ����� ��� � ! �! 22 --(�(( εε== ���������� ������������ ������ �� ��� �� ��������� �.- ( ( �( � + �- , ���! ��� 2 ϕ ω −=−= ��������"� ! - � ��� ! -/ � ������� � ��������������� ������ ������� ������������������ ���.��������� ϕ���(, " ������ �� ����� (!���� )!� ��� ,!�������� ������������ 2! ��� 2! ��� ���) ! ) =−−+ =−+ ′ −−− / �( �- � �- �/ / �(/ �- � �- �/ ϕ ϕ ϕε ε ? �! =���� �-� >εε =′ "�@����������� ���������)�A�/> ���� ������������ � �!� ������� ���� ����� � ϕε εϕ ) ) ���� !( ���) ′ −+−= )�() �- �) �! �����-��� ����������� ������������������ ���������� ���� ���� ������ ����� ���������������������� ����������� �� ��� ������������������ ������� ��������� ��������� ���� ��� ���"�%������ ��� ���� ���������� ������ �������� ����������� ���� �� �� � �"�&� ������� ���������� ����� ������������ ϕϕ ���>���! �-� = �������� *���! '� ! !( ���! ) ) ) ) � �� - - ) -)�( �- �) ϕε ε ϕε − ′ −+ +−−= 9! /��������� ��� ��� ����� ! -ε ������������ �� γδε �+−=( � ����� ) ) ) ) ( ) ) ) � %� �� � %� �� � �� π λγ π λδ == � λ��������� �� ����������������� �� ���������������������� �� ��%(� ���%)� ����� � ���� ��� ���� ������� �� ����� �� �������� ���������������� ����� �� ������ #������ �'�*��� ���� � ������� ����"����" � "���>����� B����� ���> ��"�� " 7����������� ���� =ε ���� 9!������� ������������� � ������� ��� ���������������� ������������ ���� ����������� �� ���������������� ��� 2 ) 2 ���)> ϕε −−= )�(�-�) � �� !���)��� 2 ) 22 ϕε −−= ��()) � ������ �� ��� ���� �� ����#����� �������� �����������)2��������#�����%����� ��������������� ���������� ���������� ���������� ��� 2 ) 2 ) 2 ) 2 ) 2 ������ ������ ϕεϕε ϕεϕε −+− −−− = �% �% ) C! ������ ���������������������� �������� �� ������� ��� ���������� ���������� ��������� ��� ������� �� � �� ��� ��������� ����" 7� ������� � �� ��������� ������������������� ���� ������������� �� ����������� ���������������������� ���� ∑              − = � � + -� + : � � - ππεε ������!� ) )) 2 :! ������ε2�������� � ������� ��������� ������������ ������ �� ������� � ������������������������������� ���������� ��� ������� ����<�+� ����������������� � �� �����:�D ����������������������� �D���� �������������������"�/����� ������ � ��� ���������������������� ��� ������� ������ �     = ∑ + -� �- � � πεε ���!2� 2 �������� ������������������ !��� ) �2 �� � ��� � π π == �� ����������������������� ������������ �������������� ���������� �������� ���������������������������%������ � � � x y k z H E ���� ��� ��� �� � ���� ��" ��9 ������8�9������ ����� � ���!#���� �������������������������� ��������������� ������������� ��� ����������������"����������� ��� ������ ����������� ����������������� ������������ ��������#��������������� ����"� /�� ���� ���� ����#������� ��� ��� �� �������A�2"�" ��������������� ��� �������������������������������������� ��������������������� ����������������������: 3 !>��� !2 ! ))) +: �� � �� π−= $��%�� ��� @��������� ���� ���� ������������� �� �������������� �� ���������������������� �&��8�� � �� ����������������� ,2���������������������� ���(2�� "�@�� ������������ �� ����� ��� �������������� ������%�������������� ����������� :!� ������ ����� 9!��� ������ ���� ������������������ -������E��� � ���������������� ��������������������� C! ������������ �������� ����������� ��� ��������� ���"�8� �� ���������������� �������������� ���������� ��������� � ��� �������� ������������ ���������� ��� #��� �� ������ ��������� � ��������� ���� � �������)"������� ����� �� ������� ������������� ��� ��������"��������� ���������� � ������� ���������������� ��� ���� ������������������ F ����� ���� ��� ������������ ������� ���������� ����� � ����"�/��%��"�)������� ������������������ �� �������� �� ������� �������������� ��� ������� �� � �� ����������� �������� �� �������������� ������ ����"�=���� ����� �� ������ ���������� ����������� �����)������9��������" 6������� �� �� ����� ���������� ���� ����� ���� ���� ������������������������������������� ������� �� ����������������������������� � ������ ������ �� ��� �� �%��������� ����� ����� ���������������������������" 8�� ����������������� � ���������� ������������� ���� ����������������� � �"�������� ���� ������������� ��� ������������������������������������ �������� ��� ���� �� � �������������� ������� ����������%��"�)"�/�������� �� ���� �� � ������ ���� ��� �� � �� ��������� ��� � �� � �������������������� � ����������������%����� ���� � �������������� � ��� ������� ��� ������"�&���� ��� �� ������ �#��������� � �������� ������� ���������� � �� ��� ���������������������������� ������ ����������������� � � �������"�&������������������������������ ��������� � ����� ����������� ��� ��������� ��������� �� ����� ����� ���� ����� ����� ��� #��� ���'(��9*"�0��������� � �� ��������� ������� ����������� � �� ������� ���������� �� ����� ������������ ��������������������%��"�,"����� ���� �� ��������� �� ��������� ������ ������ ��� ������ ������������������������������ ����� ���������� ������������� ������� ���"�$���������������������������������������� ������������ ����������� ����������� �� ������������ �� ������������"����������� ����� �������%��"��"�0�� �������� ��� ���������� ������ ����� � ������ ��� � ���� �� ������������� �� ��������������� �������" &�������' ����������� �� �����(��� ������� ����������������� ������� -�� ������ 8� ������ ���� ����� 2",� 2"�� 2"� ( (22 (22 (22 ) ),")( )"�� 2 , 2"29 ;"2� (("(( � 9"99 )")( 2 � ,"�( )"2� � 9 2"29 (":9 2 � � � � � � ��� ��� ��� �� ���� ��5�� ��������� ����� ������� ������������������� ���� �� �� ���� � ����" � � � � � � � � ���� $������ ���� ��� � �� ��������� ������� ���������� ���� � �� ��� ���������� ��� �� ����� � ���������� ����� ������ ����� ��������� ������������ )"�⋅(2�(;� � )>��� �� ����� � ����� 2"��"�%�� � ����� �� �� ��������� ���� �����" ����� � ���!#���� �������������������������� ��������������� ������������� ��C������8�9������ )���� ����� 8� ������ � ���������� ��� �� ������� ������� ���������� � �� ����� ���� ����������������� �� �� ����� ����� ��������������������������������� ����������� ������ � ����� ����������� ����"�0��� ��� ��� ��� ����� � ��� ��������� ���� ����� ������ ������������������� � � ������������� ������� �������� ������� ���� ��������� � ����� 9!"�/������� �� ���������������������� ����������� �� ����������� ��������������� � � �� ���� ����������� ��������� ����� � ����� � ����������������� ������� ����� ��������������� ������� � ���"�/��������� ������������� ��� �������� �� ����� ����������������������������������� ��� � �� ���� �� ������������� ������� �������������� ��� ������� ������������������ �������� ��������#������ ���� ��������������������������������" /�%������� (" E"�=� �� ���E"�$"�@��� ���-"�8��� ��"�;��&����� �����*+ )!� ��"� �C���:2� (;:;!" )" G"�&"�%���� �� ���$"�&"�7 � ���"�&����� ����� 2� ��,$�� ��" �,���� (;;:!" ," 0"H"�H����� ���� ��� /"H"�E�I�����#����&� �� ������� � �������� ���)!������ ����� ����������0"�4"�J� ����#�� >>�6���"�6" 4"�+������� /���"��-*�� ��"9)�(2)"�&�������6�� �������=���� K4 �# L�� (;:;� ���-���� �!" �" @"+"�M����"�1��� ���� ��� ������� � �� ��",92�,C2� (;;:!" �" +"&"�$�������#�"�<�3��� ��� � �� �%����=������&�������6��� �������=����� ��� ����0� �� �� ��� 8��������.88-� (;�C� �� -���� �!" 9" -"8"�-������@"F"�8�� �����&"5"�E �������G"�/"�E��#���N"�7����� ���8"6"�H������������ � � ��=� ����$�� ��"� (;��(;;� (;;,!" � � � � � � � � � ���� .������ ������� � �� ��������� ������� ���������� ���� � �� ��� ����� �� � ���� �� ������ ���������� ����� ����������� ��������� ������������� )⋅(2�)2� � )>�� ��� �⋅(2�(;� � )>�� ��� ���� ������ ��� ���" 8� ����� � ����� ��� 2"�"