Characterization of MOS structure using low-k dielectric methylsilsesquioxane with evaporated and sputtered aluminium gate
The organic methylsilsesquioxane (MSQ) demonstrates low dielectric constant value (2.6) and is promising interlayer dielectric material to reduce the capacitive coupling between metal layers in semiconductor integrated circuits. However, MSQ has lower film density and therefore is more porous than t...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
|---|---|
| Дата: | 2002 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121295 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Characterization of MOS structure using low-k dielectric methylsilsesquioxane with evaporated and sputtered aluminium gate / K.C. Aw, K. Ibrahim // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2002. — Т. 5, № 3. — С. 316-318. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |