Зображення обкладинки

Balance model for contactless chemo-mechanical polishing of wafers

We developed a physical model for polishing. It makes it possible to determine physico-chemical processes occurring at contactless chemo-mechanical polishing (CMP) of crystal surfaces. A balance equation for diffusion, convection and chemical flows is used to describe processes that are proceeding i...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Дата:	2002
Автори:	Grigoriev, N.N., Kravetsky, M.Yu., Paschenko, G.A., Sypko, S.A., Fomin, A.V.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121333
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Balance model for contactless chemo-mechanical polishing of wafers / N.N. Grigoriev, M.Yu. Kravetsky, G.A. Paschenko, S.A. Sypko, A.V. Fomin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2002. — Т. 5, № 3. — С. 332-336. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Modeling the process of removal aimed at cut traces on semiconductor wafers by using the method of contactless chemical-and-dynamical polishing
за авторством: G. A. Pashchenko, та інші
Опубліковано: (2015)

Model of smoothing roughness on GaAs wafer surface by using nonabrasive chemical-and-mechanical polishing
за авторством: Fomin, A.V., та інші
Опубліковано: (2017)

Model of smoothing roughness on GaAs wafer surface by using nonabrasive chemical-and-mechanical polishing
за авторством: A. V. Fomin, та інші
Опубліковано: (2017)

Investigation of the effect of technological parameters on efficiency of chemical string cutting of semiconductor materials
за авторством: Kravetsky, M.Yu., та інші
Опубліковано: (2002)

Mesoporous silica materials as sensitive components for chemo- and biosensors
за авторством: Telbiz, G.M., та інші
Опубліковано: (2005)

Investigation of the undersurface damaged layers in silicon wafers
за авторством: Holiney, R.Yu., та інші
Опубліковано: (1999)

Peculiarities of contactless ignitions of alternating current arc
за авторством: N. M. Makhlin
Опубліковано: (2015)

Quantum-chemical modeling of the kinetics and chemical mechanism of the methyl acetate hydrolysis in reations of the enzymatic and homogeneous catalysis by chemo-trypsin and serine
за авторством: A. Turovskyi, та інші
Опубліковано: (2013)

Express method for contactless measurement of parameters of thermoelectric materials
за авторством: A. A. Ashcheulov, та інші
Опубліковано: (2015)

Using the combined chemo-immunotherapy based on dendritic cells and low-dose doxorubicin in experiment
за авторством: O. I. Horbach, та інші
Опубліковано: (2013)

Отримання мікропоруватих шарів GaAs методом хімічного травлення на підкладках р-GaAs та їхня фотолюмінісценція
за авторством: Paschenko, G. A., та інші
Опубліковано: (2012)

Analysis and method of calculation of electronic devices of series connection for contactless exciting of arc
за авторством: N. M. Makhlin, та інші
Опубліковано: (2014)

Contactless sensory system for evaluation of the geometrical parameters of railway rail profiles
за авторством: V. A. Koljada
Опубліковано: (2009)

Balanced development of the Polish banking sector
за авторством: M. Zaleska
Опубліковано: (2016)

Characteristics of gettering process in multicrystalline Si wafers with combined porous Si/Al getters
за авторством: A. Sarikov, та інші
Опубліковано: (2012)

Using the possibilities of information and communication technologies for contactless sales of narcotics in Ukraine
за авторством: V. S. Batyrharieieva
Опубліковано: (2023)

Contactless system for determination of coordinates of fl aw detector measuring transducer
за авторством: S. M. Maievskyi, та інші
Опубліковано: (2012)

Relative Motion Control System of Spacecraft for Contactless Space Debris Removal
за авторством: S. V. Khoroshylov
Опубліковано: (2018)

Recombination characteristics of single-crystalline silicon wafers with a damaged near-surface layer
за авторством: A. V. Sachenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Recombination characteristics of single-crystalline silicon wafers with a damaged near-surface layer
за авторством: A. V. Sachenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Heat Loss from Exterior Surfaces of Heat Engineering Equipment Contactless Determination
за авторством: V. A. Vinogradov-Saltykov, та інші
Опубліковано: (2011)

Orally given chemo-endocrine therapy for patients with luminal Her-2/neu negative metastasing breast cancer
за авторством: Yu. O. Tymovska, та інші
Опубліковано: (2016)

Modernization of contactless and light-guide temperature control of metal alloys on the base of multicolour pyrometry
за авторством: L. F. Zhukov, та інші
Опубліковано: (2018)

Electroreflectance spectroscopy and scanning electron microscopy study of microrelief silicon wafers with various surface pretreatments
за авторством: Gorbach, T.Ya., та інші
Опубліковано: (1998)

Biomagnetism of tumor in rats with Guerin’s carcinoma after injection of ferromagnetic nanocomposite (Ferroplat): contactless measurement
за авторством: Todor, I.N., та інші
Опубліковано: (2023)

Improvement of profi ling procedure at contactless testing of insulating coating of underground metal pipelines
за авторством: B. V. Kostiv, та інші
Опубліковано: (2010)

Photocatalysis and optical properties of ZnO nanostructures grown by MOCVD on Si, Au/Si and Ag/Si wafers
за авторством: V. A. Karpyna, та інші
Опубліковано: (2023)

The process of forming the polycrystalline silicon wafer from the powder raw material and analyzing the impurity composition of their surface
за авторством: R. Aliev, та інші
Опубліковано: (2011)

Deagglomeration of aerosil in polishing suspension for chemical-mechanical polishing of sapphire
за авторством: Vovk, E.A.
Опубліковано: (2015)

Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
за авторством: Vovk, E.A.
Опубліковано: (2015)

A Computer Simulator of Mechanisms Providing Energy Balance in Human Cells
за авторством: R. D. Grigorjan, та інші
Опубліковано: (2017)

Balance and optimization model of interconnected energy carrier transmitting and distributing systems in the context of general energy balance
за авторством: Novoseltsev A.V., та інші
Опубліковано: (2009)

Hardware – software system for contactless mine detection based on ineligible neutron scattering and machine processing of characteristic γ-radiation spectra
за авторством: Lаshchоnov, B.V., та інші
Опубліковано: (2025)

On the Widder inversion method in problems of statistical mechanics
за авторством: Soldatov, A.V., та інші
Опубліковано: (2000)

Glass dispersion during his grinding and polishing. Mechanism of his removal
за авторством: V. N. Tkach, та інші
Опубліковано: (2019)

Surface roughness of optoelectronic components in mechanical polishing
за авторством: Ju. D. Filatov
Опубліковано: (2018)

Bacterial Leaching of Balanced Ores of Albitite Deposits of the Ukrainian Shield
за авторством: V. H. Verkhovtsev, та інші
Опубліковано: (2023)

Model of dynamic indication in the bar graph form
за авторством: Bushma, A.V., та інші
Опубліковано: (2002)

MM-Wave Band Balance Parametric Amplifier
за авторством: Kasyanenko, A. P., та інші
Опубліковано: (2013)

System approach to fuel-and-energy balances formation under competitive conditions in energy sector
за авторством: Novoseltsev A.V.
Опубліковано: (2006)