Зображення обкладинки

Stamp stress analysis with low temperature nanoimprint lithography

High temperature nanoimprint lithography has the drawback of long process cycle, demoulding difficulty, polymer degradation, thermal stress. Low temperature nanoimprint lithography (LTNIL) can avoid these problems. LTNIL is also ideal for manufacturing biological compatibility samples since the samp...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Functional Materials
Дата:	2016
Автори:	Hongwen Sun, Xiaochao Ma, Chenhui Hu
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2016
Теми:	Technology
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121489
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Stamp stress analysis with low temperature nanoimprint lithography / Hongwen Sun, Xiaochao Ma, Chenhui Hu // Functional Materials. — 2016. — Т. 23, № 3. — С. 517-520. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Detection of biomolecules using optoelectronic biosensor based on localized surface plasmon resonance. Nanoimprint lithography approach
за авторством: Chegel, V., та інші
Опубліковано: (2009)

Nanosized phosphors based on Gd₁₋ₓEuₓPO₄ obtained by low-temperature methods
за авторством: Babayevskaya, N.V., та інші
Опубліковано: (2008)

Express-analysis when modeling the stress-strain state of stamp rigging elements
за авторством: N. A. Djomina
Опубліковано: (2015)

Express-analysis when modeling the stress-strain state of stamp rigging elements
за авторством: Демина, Н. А.
Опубліковано: (2015)

Express-analysis when modeling the stress-strain state of stamp rigging elements
за авторством: Демина, Н. А.
Опубліковано: (2015)

Research on ultrasonic vibration assisted repair technology of high temperature and high pressure parts
за авторством: Che Lei, та інші
Опубліковано: (2018)

Purification of raw material for cesium iodide single crystals and impurity concentration by low-temperature directional crystallization
за авторством: Eksperiandova, L.P.
Опубліковано: (2010)

Comparison of the quality of Bi₁₂GeO₂₀ crystals grown by the conventional and low-temperature-gradient Czochralski techniques
за авторством: Shlegel, V.N., та інші
Опубліковано: (2010)

On some features of low-temperature mixed crystallization of CsI solutions obtained from industrial wastes
за авторством: Boyarintsev, A.Yu., та інші
Опубліковано: (2017)

Analysis of the stress-strain state in a body under the action of rigid stamps of various shapes
за авторством: Yu. V. Sachuk, та інші
Опубліковано: (2014)

Contact Problem for the Elastic Annular Stamp and Half-space with Initial (Residual) Stresses
за авторством: Yu. Babych, та інші
Опубліковано: (2021)

Contact Problem for Rigid Annular Stamp and Half-Space with Initial (Residual) Stresses
за авторством: N. A. Jaretskaja
Опубліковано: (2018)

Spatial Contact Problem for an Elastic Layer and a Cylindrical Stamp with Initial Stresses
за авторством: N. A. Jaretskaja
Опубліковано: (2014)

Low-temperature ozone sterilizer based on reactor with electrolityc cell
за авторством: Lozina, A.S., та інші
Опубліковано: (2019)

Manufacture of sapphire ribbons with low dislocation density
за авторством: Safronov, R.I., та інші
Опубліковано: (2016)

Experimental study on radioactive waste immobilization in low-temperature magnesium-potassium phosphate ceramic matrix
за авторством: Sayenko, S.Yu., та інші
Опубліковано: (2020)

Progressive Failure Analysis of Glass/Epoxy Composites at Low Temperatures
за авторством: Shokrieh, M.M., та інші
Опубліковано: (2012)

Production of radiopure natural and isotopically enriched cadmium and zinc for low background scintillators
за авторством: Kovtun, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)

Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge
за авторством: Deryzemlia, A.N., та інші
Опубліковано: (2019)

Electromagnetic fields and heavy-ion orbiting in a low-temperature plasma with a magnetic pumping
за авторством: Shamrai, K.P., та інші
Опубліковано: (2008)

Interaction of hygroscopic halides with reactive gas atmosphere at elevated temperatures
за авторством: Rebrova, T.P., та інші
Опубліковано: (2008)

Silicon based materials for spintronics prepared by implantation and temperature - (pressure) treatment
за авторством: Misiuk, A., та інші
Опубліковано: (2008)

Growing of ZnWO₄ single crystals from melt by the low thermal gradient Czochralski technique
за авторством: Galashov, E.N., та інші
Опубліковано: (2009)

Investigation of parameters of the working substance - low temperature plasma in the ionization resonator chamber of the RF reactive engine
за авторством: Vdovin, V.S., та інші
Опубліковано: (2003)

Temperature dependence of radiation resistance of scintillation detectors based on lead tungstate crystals
за авторством: Burachas, S.F., та інші
Опубліковано: (2009)

Effect of microwave sintering temperature on structure and properties of bioceramics based on biogenic hydroxyapatite
за авторством: Tovstonoh, H., та інші
Опубліковано: (2014)

Effects of deformation temperature on edge crack characteristics and mechanical properties of as-cast aluminum alloy
за авторством: Yongyue Liu, та інші
Опубліковано: (2018)

Stress relaxation in ultra-fine-grained copper at low homologous temperatures
за авторством: N. V. Isaev, та інші
Опубліковано: (2018)

Influence of deposition rate and substrate temperature on structure and optical features of NiO thin film
за авторством: Oberemok, O.S., та інші
Опубліковано: (2016)

Optimization of temperature conditions for the growth of large-size sapphire crystals by the method of horizontally directed crystallization
за авторством: Grin, L.A., та інші
Опубліковано: (2013)

Physicochemical regularities of a high-voltage electroporcelain formation with a sintering temperature of 1200 °C
за авторством: Bohdanova, K.B.
Опубліковано: (2018)

Electron irradiation, temperature, and stress effect on corrosion of Zr-, Ni-Cr-, and Fe-Cr-based alloys in the vicinity of the water coolant supercritical transition
за авторством: Bakai, O.S., та інші
Опубліковано: (2020)

Researches and developments on production of Ni-W alloy based substrates for second generation high-temperature superconductors
за авторством: Finkel, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Using nanosphere lithography for fabrication of a multilayered system of ordered gold nanoparticles
за авторством: V. I. Styopkin, та інші
Опубліковано: (2017)

Growth of the photonic nanostruc-tures using interference lithography and oblique deposition in vacuum
за авторством: I. Z. Indutnyi, та інші
Опубліковано: (2011)

Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2015)

Fabrication of silicon grating structures using interference lithography and chalcogenide inorganic photoresist
за авторством: Min’ko, V.I., та інші
Опубліковано: (2007)

Using nanosphere lithography for fabrication of a multilayered system of ordered gold nanoparticles
за авторством: Styopkin, V.I., та інші
Опубліковано: (2017)

Nanopatterning Au chips for SPR refractometer by using interference lithography and chalcogenide photoresist
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Instrumental stamp steels for hot deformation (review)
за авторством: K. O. Hohaiev, та інші
Опубліковано: (2016)