Зображення обкладинки

Radiation-stimulated processes in silicon structures with contacts based on TiN

The influence of irradiation on the structural properties of titanium nitride films deposited on silicon wafers has been considered. It has been shown that depending on the energy, fluence and type of irradiation ion, observed are the increase of accumulated damages with decreasing the grain size, t...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Дата:	2015
Автори:	Nasyrov, M.U., Ataubaeva, A.B.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2015
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121819
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Radiation-stimulated processes in silicon structureswith contacts based on TiN / M.U. Nasyrov, A.B. Ataubaeva // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2015. — Т. 18, № 2. — С. 220-225. — Бібліогр.: 25 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Radiation-stimulated processes in silicon structures with contacts based on TiN
за авторством: Nasyrov, M.U., та інші
Опубліковано: (2015)

Radiation-stimulated processes in silicon structures with contacts based on TiN
за авторством: M. U. Nasyrov, та інші
Опубліковано: (2015)

Structural and electrical-physical properties of the ohmic contacts based on palladium to n⁺ -n-n⁺⁺ -n⁺⁺⁺ -InP
за авторством: Belyaev, A.E., та інші
Опубліковано: (2015)

Composition, structure and tribotechnical properties of TiN, MoN single-layer and TiN/MoN multilayer coatings
за авторством: O. V. Bondar, та інші
Опубліковано: (2015)

The Use of Pulsed Ion Stimulation to Modify the Stressed Structure State and Mechanical Properties of Vacuum—Arc TiN Coatings
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2013)

TiN crystal structure features in cBN—TiN—Al composite sintered at high pressures and temperatures
за авторством: N. M. Biliavyna, та інші
Опубліковано: (2022)

Properties of composite vacuum-arc coatings of the TiN-Ti/TiON structure
за авторством: Andreev, А., та інші
Опубліковано: (2018)

Errata: The Use of Pulsed Ion Stimulation to Modify the Stressed Structure State and Mechanical Properties of Vacuum—Arc TiN Coatings
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2013)

Cavitation resistance of TiN coatings
за авторством: A. D. Pogrebnjak, та інші
Опубліковано: (2011)

Кавитационная стойкость покрытий TiN
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2011)

cBN based materials with TiN-Al binder phase: sintering, structure, properties
за авторством: K. V. Slipchenko, та інші
Опубліковано: (2019)

Formation of nanocrystals and their properties during tin induced and laser light stimulated crystallization of amorphous silicon
за авторством: V. B. Neimash, та інші
Опубліковано: (2019)

Formation of nanocrystals and their properties during tin-induced and laser light-stimulated crystallization of amorphous silicon
за авторством: Neimash, V.B., та інші
Опубліковано: (2019)

Nanoniechanical Properties of TiN/TiC Multilayer Coatings
за авторством: M. Azadi, та інші
Опубліковано: (2014)

Nanoniechanical Properties of TiN/TiC Multilayer Coatings
за авторством: Azadi, M., та інші
Опубліковано: (2014)

Structural and electrical-physical properties of the ohmic contacts based on palladium to n+-n-n++-n+++-InP
за авторством: A. E. Belyaev, та інші
Опубліковано: (2015)

Durability of the multicomponent nitride coatings based on TiN and (Ti,Al)N deposited by PIII&D method
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Raman scattering in the process of tin-induced crystallization of amorphous silicon
за авторством: V. Neimash, та інші
Опубліковано: (2016)

Raman scattering in the process of tin-induced crystallization of amorphous silicon
за авторством: V. B. Neimash, та інші
Опубліковано: (2016)

Deposition of superhard vacuum-arc TiN coatings
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2006)

Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Submicron-layered composite coatings TiN-CrN on the steel
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2005)

Structure and Properties of Vacuum-Arc TiN Coating on the D16 Alloy Surface
за авторством: M. O. Vasyliev, та інші
Опубліковано: (2014)

Optical processes in silicon and microelectronic structures based thereon upon interaction with high-energy radiation
за авторством: Volkov, V.G., та інші
Опубліковано: (2003)

Mechanical Behavior of TiN/TiC-n Multilayer Coatings and Ti(C,N) Multicomponent Coatings Produced by PACVD
за авторством: Azadi, M., та інші
Опубліковано: (2016)

Formation of nanocrystalline silicon in tin-doped amorphous silicon films
за авторством: R. M. Rudenko, та інші
Опубліковано: (2020)

Formation of nanocrystalline silicon in tin-doped amorphous silicon films
за авторством: R. M. Rudenko, та інші
Опубліковано: (2020)

Investigation of the modulation processes of the base area of the silicon p+p-n+-structure
за авторством: D. M. Jodgorova, та інші
Опубліковано: (2013)

Перспективы разработки режущего материала на основе композиции TiB₂-TiN
за авторством: Петухов, А.С., та інші
Опубліковано: (2012)

Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu
за авторством: Лунёв, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)

Development prospects of the cutting material on TiB2-TiN composition basis
за авторством: A. S. Petukhov, та інші
Опубліковано: (2012)

Characteristics of vacuum-arc coatings from alternating TiN/TiNCu layers
за авторством: V. M. Lunjov, та інші
Опубліковано: (2011)

Cубмикрослоистые композиционые покрытия TiN-CrN на стали
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)

Effect of tin on structural transformations in the thin-film silicon suboxide matrix
за авторством: V. V. Voitovych, та інші
Опубліковано: (2016)

Effect of tin on structural transformations in the thin-film silicon suboxide matrix
за авторством: V. V. Voitovych, та інші
Опубліковано: (2016)

Электроразрядное спекание тугоплавких композитов систем TiN–AlN и B₄C–TiB₂
за авторством: Замула, М.В, та інші
Опубліковано: (2009)

Mechanism of tin-induced crystallization in amorphous silicon
за авторством: V. B. Neimash, та інші
Опубліковано: (2014)

Mechanism of tin-induced crystallization in amorphous silicon
за авторством: V. B. Neimash, та інші
Опубліковано: (2014)

Research of influence of the annealing in the different mediums on TiN—TiB2 compositions properties
за авторством: A. S. Petukhov
Опубліковано: (2014)

Steel 9XC with diffusion barrier layer of TiN followed by Ti – Al – Cr
за авторством: V. H. Khyzhniak, та інші
Опубліковано: (2017)