The forming system simulation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage
This report is devoted to research of possibility of acceleration N ions with original system of ions extraction and acceleration. The simulations of its electrode geometry for nitrogen ions acceleration are described. The parameters of its optimization for nitrogen ions acceleration are described....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122159 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | The forming system simulation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage / P.A. Martynenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 1. — С. 152-154. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage
за авторством: Lymar, A.G., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Lymar, A.G., та інші
Опубліковано: (2005)
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage
за авторством: Martynenko, P.A.
Опубліковано: (2017)
за авторством: Martynenko, P.A.
Опубліковано: (2017)
Investigations on the parameters of multicomponent gas-metal plasma formed in the mixed molecular gases
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2017)
Modeling of gas diffusion into metals on the example of titanium nitriding in gas discharge plasmas
за авторством: Misiruk, I.O., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Misiruk, I.O., та інші
Опубліковано: (2015)
Distribution of the gas temperature in streamer discharge in air
за авторством: Bolotov, O.V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Bolotov, O.V., та інші
Опубліковано: (2014)
Low pressure gas discharge in magnetically insulated diode
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)
Dynamic method of gas mixtures creation for plasma technologies
за авторством: Plankovskyy, S.I., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Plankovskyy, S.I., та інші
Опубліковано: (2018)
Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source
за авторством: Voznyi, V.I., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Voznyi, V.I., та інші
Опубліковано: (2009)
Radiation of multicomponent gas-metal plasma of a pulsed reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)
Features of ignition and combustion of a twocomponent gas suspension of coal particles
за авторством: Orlovskaya, S.G., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Orlovskaya, S.G., та інші
Опубліковано: (2018)
Determining the rotational velocity of gas-metal multicomponent plasma in a reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)
Plasma parameters estimation in the non-self-sustained gas discharge with hollow anode
за авторством: Misiruk, I.O., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Misiruk, I.O., та інші
Опубліковано: (2018)
Effect of the parameters of a gas-discharge plasma on the equilibrium temperature and floating potential of macroparticle
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
Investigation of gas discharge burn conditions in a Penning geometry in gradient magnetic fields
за авторством: Ozerov, A.N., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Ozerov, A.N., та інші
Опубліковано: (2017)
Gas breakdown in DC electric field in a discharge tube with flat and conical cathodes
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2014)
Features of atmospheric pressure discharges with a transverse component of the velocity of gas flow to the current channel
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2018)
The simultaneous synthesis of hydrogen-rich gas and oxidation of fine metal particles in water vapour plasma
за авторством: Valinčius, V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Valinčius, V., та інші
Опубліковано: (2013)
Excitation of self-sustained secondary emission by gas discharge and hollow beam generation in magnetron injection gun
за авторством: Cherenshchykov, S.A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Cherenshchykov, S.A., та інші
Опубліковано: (2009)
Ion beam system for nanotrimming of functional microelectronics layers
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)
About influence of energy of electrons and ions on speed of electron- and ion-stimulated plasmachemical etching of silicon
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)
Simulation of nanoparticle deposition from plasmas on solid surface
за авторством: Bondar, M.A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Bondar, M.A., та інші
Опубліковано: (2018)
Computer simulation of dust transport phenomena in a RF discharge
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2010)
Simulation of the plasma jet with a dispersed phase in an axisymmetric chamber
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2014)
Longitudinal extraction of H⁻ ions from Penning discharge with metal-hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2017)
Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones
за авторством: Bogdanov, R.V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bogdanov, R.V., та інші
Опубліковано: (2013)
Particularities of the negative streamer propagation in homogeneous and inhomogeneous electric fields. Computer simulation
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2013)
Computer simulation of abnormal glow discharge processes in crossed electric and magnetic fields
за авторством: Isakov, A.V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Isakov, A.V., та інші
Опубліковано: (2014)
Phase states of macroparticles under interaction of keV ion beam with dusty plasma
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)
Ion energy distribution and basic characteristics of plasma flows of nonself-sustained arc discharge
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
Influence of increased sliding speed on the structure and properties of piston rings with ion-plasma coating
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)
Рhysics and design of wide-aperture bipolar particle sources
за авторством: Dudin, S.V.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Dudin, S.V.
Опубліковано: (2013)
Formation of MoO₃ crystals in electric arc plasma source
за авторством: Lebid, A.V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Lebid, A.V., та інші
Опубліковано: (2014)
Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source
за авторством: Khomich, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Khomich, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
Optimization of a vacuum spark discharge as an X-ray source
за авторством: Bashutin, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Bashutin, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma
за авторством: Konovalov, V.G., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Konovalov, V.G., та інші
Опубліковано: (2011)
Influence of negative ions on atomic oxygen production in a hollow cathode discharge in O₂/Ar mixture
за авторством: Lavrukevich, Yu., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Lavrukevich, Yu., та інші
Опубліковано: (2017)
Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2015)