Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system

Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system

The results of researches of the combined stationary-pulsed operating mode of longitudinal planar magnetron sputtering system (MSS) with a magnetically isolated anode and with the additional pulsed high-current, high-voltage power supply are presented. It is shown that the increasing of duration of...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2017
Hauptverfasser: Chunadra, А.G., Sereda, К.N., Tarasov, I.K., Bizukov, А.А., Girka, A.I.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2017
Schlagworte:
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122162
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov, А.А. Bizukov, A.I. Girka // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 1. — С. 227-230. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122162
record_format dspace
spelling Chunadra, А.G.
Sereda, К.N.
Tarasov, I.K.
Bizukov, А.А.
Girka, A.I.
2017-06-28T05:46:30Z
2017-06-28T05:46:30Z
2017
Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov, А.А. Bizukov, A.I. Girka // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 1. — С. 227-230. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 51.50.+v, 52.25.Jm
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122162
The results of researches of the combined stationary-pulsed operating mode of longitudinal planar magnetron sputtering system (MSS) with a magnetically isolated anode and with the additional pulsed high-current, high-voltage power supply are presented. It is shown that the increasing of duration of the pulse discharge with decaying current and voltage is not advisable for effective intensification of MSS target sputtering process and increase of mass transfer of substance on substrate. The existence of the optimal ratio between parameters of the stationary and pulsed magnetron discharge is shown.
Представлены результаты исследований комбинированного стационарно-импульсного режима работы продольной планарной магнетронной распылительной системы (МРС) с магнитоизолированным анодом с дополнительным импульсным сильноточным высоковольтным источником питания. Показано, что для эффективной интенсификации процесса распыления мишени МРС и увеличения массопереноса вещества на подложку нецелесообразно увеличивать длительность импульсного разряда со спадающими импульсными током и напряжением. Показано существование определённого оптимального соотношения между параметрами стационарного и импульсного магнетронных разрядов.
Представлено результати досліджень комбінованого стаціонарно-імпульсного режиму роботи повздовжньої планарної магнетронної розпилювальної системи (МРС) з магнітоізольованим анодом з допоміжним імпульсним сильнострумовим високовольтним джерелом живлення. Показано, що для ефективної інтенсифікації процесу розпилення мішені МРС та збільшення масопереносу речовини на підкладку небажано збільшувати тривалість імпульсного розряду зі спадаючими імпульсним струмом та напругою. Показано існування визначеного оптимального співвідношення між параметрами стаціонарного та імпульсного магнетронних розрядів.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
Особенности осаждения покрытий при комбинированном стационарно-импульсном режиме работы магнетроной распылительной системы
Особливості осадження покриттів при комбінованому стаціонарно-імпульсному режимі роботи магнетронної розпилювальної системи
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
spellingShingle Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
Chunadra, А.G.
Sereda, К.N.
Tarasov, I.K.
Bizukov, А.А.
Girka, A.I.
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
title_short Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
title_full Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
title_fullStr Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
title_full_unstemmed Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
title_sort features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
author Chunadra, А.G.
Sereda, К.N.
Tarasov, I.K.
Bizukov, А.А.
Girka, A.I.
author_facet Chunadra, А.G.
Sereda, К.N.
Tarasov, I.K.
Bizukov, А.А.
Girka, A.I.
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
publishDate 2017
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Особенности осаждения покрытий при комбинированном стационарно-импульсном режиме работы магнетроной распылительной системы
Особливості осадження покриттів при комбінованому стаціонарно-імпульсному режимі роботи магнетронної розпилювальної системи
description The results of researches of the combined stationary-pulsed operating mode of longitudinal planar magnetron sputtering system (MSS) with a magnetically isolated anode and with the additional pulsed high-current, high-voltage power supply are presented. It is shown that the increasing of duration of the pulse discharge with decaying current and voltage is not advisable for effective intensification of MSS target sputtering process and increase of mass transfer of substance on substrate. The existence of the optimal ratio between parameters of the stationary and pulsed magnetron discharge is shown. Представлены результаты исследований комбинированного стационарно-импульсного режима работы продольной планарной магнетронной распылительной системы (МРС) с магнитоизолированным анодом с дополнительным импульсным сильноточным высоковольтным источником питания. Показано, что для эффективной интенсификации процесса распыления мишени МРС и увеличения массопереноса вещества на подложку нецелесообразно увеличивать длительность импульсного разряда со спадающими импульсными током и напряжением. Показано существование определённого оптимального соотношения между параметрами стационарного и импульсного магнетронных разрядов. Представлено результати досліджень комбінованого стаціонарно-імпульсного режиму роботи повздовжньої планарної магнетронної розпилювальної системи (МРС) з магнітоізольованим анодом з допоміжним імпульсним сильнострумовим високовольтним джерелом живлення. Показано, що для ефективної інтенсифікації процесу розпилення мішені МРС та збільшення масопереносу речовини на підкладку небажано збільшувати тривалість імпульсного розряду зі спадаючими імпульсним струмом та напругою. Показано існування визначеного оптимального співвідношення між параметрами стаціонарного та імпульсного магнетронних розрядів.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122162
citation_txt Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov, А.А. Bizukov, A.I. Girka // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 1. — С. 227-230. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT chunadraag featuresofcoatingsdepositionincombinedstationarypulsedoperationmodeofthemagnetronsputteringsystem
AT seredakn featuresofcoatingsdepositionincombinedstationarypulsedoperationmodeofthemagnetronsputteringsystem
AT tarasovik featuresofcoatingsdepositionincombinedstationarypulsedoperationmodeofthemagnetronsputteringsystem
AT bizukovaa featuresofcoatingsdepositionincombinedstationarypulsedoperationmodeofthemagnetronsputteringsystem
AT girkaai featuresofcoatingsdepositionincombinedstationarypulsedoperationmodeofthemagnetronsputteringsystem
AT chunadraag osobennostiosaždeniâpokrytiiprikombinirovannomstacionarnoimpulʹsnomrežimerabotymagnetronoiraspylitelʹnoisistemy
AT seredakn osobennostiosaždeniâpokrytiiprikombinirovannomstacionarnoimpulʹsnomrežimerabotymagnetronoiraspylitelʹnoisistemy
AT tarasovik osobennostiosaždeniâpokrytiiprikombinirovannomstacionarnoimpulʹsnomrežimerabotymagnetronoiraspylitelʹnoisistemy
AT bizukovaa osobennostiosaždeniâpokrytiiprikombinirovannomstacionarnoimpulʹsnomrežimerabotymagnetronoiraspylitelʹnoisistemy
AT girkaai osobennostiosaždeniâpokrytiiprikombinirovannomstacionarnoimpulʹsnomrežimerabotymagnetronoiraspylitelʹnoisistemy
AT chunadraag osoblivostíosadžennâpokrittívprikombínovanomustacíonarnoímpulʹsnomurežimírobotimagnetronnoírozpilûvalʹnoísistemi
AT seredakn osoblivostíosadžennâpokrittívprikombínovanomustacíonarnoímpulʹsnomurežimírobotimagnetronnoírozpilûvalʹnoísistemi
AT tarasovik osoblivostíosadžennâpokrittívprikombínovanomustacíonarnoímpulʹsnomurežimírobotimagnetronnoírozpilûvalʹnoísistemi
AT bizukovaa osoblivostíosadžennâpokrittívprikombínovanomustacíonarnoímpulʹsnomurežimírobotimagnetronnoírozpilûvalʹnoísistemi
AT girkaai osoblivostíosadžennâpokrittívprikombínovanomustacíonarnoímpulʹsnomurežimírobotimagnetronnoírozpilûvalʹnoísistemi
first_indexed 2025-11-27T14:15:33Z
last_indexed 2025-11-27T14:15:33Z
_version_ 1850852377383403520

Ähnliche Einträge