Зображення обкладинки

Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system

The results of researches of the combined stationary-pulsed operating mode of longitudinal planar magnetron sputtering system (MSS) with a magnetically isolated anode and with the additional pulsed high-current, high-voltage power supply are presented. It is shown that the increasing of duration of...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2017
Автори:	Chunadra, А.G., Sereda, К.N., Tarasov, I.K., Bizukov, А.А., Girka, A.I.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2017
Теми:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122162
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov, А.А. Bizukov, A.I. Girka // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 1. — С. 227-230. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)

Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)

Structure of Fe-Cu coatings prepared by the magnetron sputtering method
за авторством: Nowakowska-Langier, K., та інші
Опубліковано: (2010)

Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)

Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)

High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)

Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014)

Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones
за авторством: Bogdanov, R.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2015)

Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)

Magnetron with a concave hemispherical cathode
за авторством: Stetsenko, B.V., та інші
Опубліковано: (2009)

Measurement of the plasma density in two modes of pulsed discharge burning in the penning cell
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Excitation of self-sustained secondary emission by gas discharge and hollow beam generation in magnetron injection gun
за авторством: Cherenshchykov, S.A., та інші
Опубліковано: (2009)

Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)

Anode curvature influence on characteristics of negative corona discharge under Trichel pulsed mode
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2011)

Calculations for parameters of a stationary reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2011)

Influence of plasma nucleus form on radiation orientation in high-current pulse plasma diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2010)

Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)

Radiation of multicomponent gas-metal plasma of a pulsed reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)

Dynamics and directions of extreme ultraviolet radiation from plasma of the high-current pulse diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2009)

Propagation of multicomponent plasma oscillations along the magnetic field in the pulsed reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2012)

Influence of increased sliding speed on the structure and properties of piston rings with ion-plasma coating
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)

Study of degradation mechanism of metal-cutting tools and their hardening by ZrN PVD coatings
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)

Several peaks of total current in Trichel pulse
за авторством: Bolotov, O., та інші
Опубліковано: (2015)

Current cathode spots in the glow discharge normal regime as a stationary dissipative structure: macroscopic parameters
за авторством: Ponomaryov, O.P., та інші
Опубліковано: (2011)

Current waveforms for pulse microdischarge inside dielectric cell
за авторством: Kelnyk, O.I., та інші
Опубліковано: (2010)

Modern methods of Ta₂O₅ coatings deposition for biomedical applications
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2009)

Researching of acoustic waves in plasma-liquid system with pulsed discharge
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

The influence of deposition technological process parameters on surface properties of multilayer coatings
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)

Investigation of antimicrobial activity and morphological properties of metal coated textile surfaces
за авторством: Necdet Aslan, та інші
Опубліковано: (2014)

Structure and modes of dc glow discharge in nitrogen with hollow cathode or anode
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

The obtaining and properties investigation of plasma formation at pulse discharge in water aerosol
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)

On features of the radiation from pulsed discharges initiated by thick wires in water
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Azimuthal instability of the pulsed positive glow corona and sinuous streamer trace
за авторством: Bolotov, O., та інші
Опубліковано: (2014)

Effect of substrate bias voltage parameters on surface properties of ta-C coatings
за авторством: Safonov, V., та інші
Опубліковано: (2017)

Investigation on surface, electrical and optical properties of ITO-Ag-ITO coated glass
за авторством: Aslan, Aslan, та інші
Опубліковано: (2015)

Mechanical and tribological characteristics of zirconium based ceramic coatings for micro-bearing application
за авторством: Warcholinski, B., та інші
Опубліковано: (2014)