Effect of substrate bias voltage parameters on surface properties of ta-C coatings
The study presents the technology of the formation of amorphous ta-C films, deposited by pulsed vacuum-arc method with the use of a water-cooled electromagnetic Venetian blind plasma filter. The effect of the substrate bias voltage, in the range of -25 to -200 V, on the structural and surface proper...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122175 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Effect of substrate bias voltage parameters on surface properties of ta-C coatings / V. Safonov, K. Miroshnichenko, A. Zykova, V. Zavaleyev, J. Walkowicz, R. Rogowska // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 1. — С. 199-202. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
The influence of deposition technological process parameters on surface properties of multilayer coatings
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
The corrosion properties of multilayer coatings deposited on stainless steel and Ti4Al6V substrates
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
Modern methods of Ta₂O₅ coatings deposition for biomedical applications
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2009)
Tantalum pentoxide ceramic coatings deposition on Ti4AI6V substrates for biomedical applications
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Donkov, N., та інші
Опубліковано: (2011)
In vitro biocompatibility of amorphous carbon based coatings by varying of surface chemistry and nitrogen concentrations
за авторством: Luk’yanchenko, V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Luk’yanchenko, V., та інші
Опубліковано: (2015)
The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
за авторством: Walkowicz, J., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Walkowicz, J., та інші
Опубліковано: (2010)
Optimization of the plasma electrostatic filter using Taguchi method
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2011)
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
за авторством: Hladkovskiy, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Hladkovskiy, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)
Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)
Mechanical and tribological characteristics of zirconium based ceramic coatings for micro-bearing application
за авторством: Warcholinski, B., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Warcholinski, B., та інші
Опубліковано: (2014)
Investigation of antimicrobial activity and morphological properties of metal coated textile surfaces
за авторством: Necdet Aslan, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Necdet Aslan, та інші
Опубліковано: (2014)
Investigation on surface, electrical and optical properties of ITO-Ag-ITO coated glass
за авторством: Aslan, Aslan, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Aslan, Aslan, та інші
Опубліковано: (2015)
Charging of macroparticles in a high-voltage vacuum arc sheath
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)
On relation between the autoemitter top field, anode voltage and cathode geometry
за авторством: Stetsenko, B.V., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Stetsenko, B.V., та інші
Опубліковано: (2009)
Polyester fabric modified with atmospheric dielectric barrier discharge supplied with voltage of different frequencies
за авторством: Píchal, J., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Píchal, J., та інші
Опубліковано: (2010)
The influence of plasma treatment of different cathode materials on current-voltage characteristics of mirror discharge in air
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2013)
Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
Structure of Fe-Cu coatings prepared by the magnetron sputtering method
за авторством: Nowakowska-Langier, K., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Nowakowska-Langier, K., та інші
Опубліковано: (2010)
Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)
Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)
Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)
Study of degradation mechanism of metal-cutting tools and their hardening by ZrN PVD coatings
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Skoblo, T.S., та інші
Опубліковано: (2018)
Calculations for parameters of a stationary reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2015)
Influence of plasma on surface tension of hydrocarbons
за авторством: Fedirchyk, I.I., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Fedirchyk, I.I., та інші
Опубліковано: (2015)
Computer simulation of positive streamer dynamics in strongly non-uniform electric fields in air. Effect of applied voltage on a streamer velocity for different needle radii
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2014)
Ozone decay in chemical reactor with the developed inner surface
за авторством: Manuilenko, О.V., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Manuilenko, О.V., та інші
Опубліковано: (2017)
Simulation of nanoparticle deposition from plasmas on solid surface
за авторством: Bondar, M.A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Bondar, M.A., та інші
Опубліковано: (2018)
Investigation on the possibility of determining plasma parameters by the method of low-frequency diagnostics
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2014)
Investigations on the parameters of multicomponent gas-metal plasma formed in the mixed molecular gases
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2017)
Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
за авторством: Mysiura, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Mysiura, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
Effect of the parameters of a gas-discharge plasma on the equilibrium temperature and floating potential of macroparticle
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
Influence of plasma stream parameters in pulsed plasma gun on modification processes in exposed structural materials
за авторством: Byrka, O.V., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Byrka, O.V., та інші
Опубліковано: (2011)
Current cathode spots in the glow discharge normal regime as a stationary dissipative structure: macroscopic parameters
за авторством: Ponomaryov, O.P., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ponomaryov, O.P., та інші
Опубліковано: (2011)
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)
About influence of energy of electrons and ions on speed of electron- and ion-stimulated plasmachemical etching of silicon
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Particle charging in beam-plasma systems
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Formation of forest of single-walled carbon nanotubes in plasma-enhanced chemical vapor deposition
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2012)
Neon cryovacuum system for endurance tests of electrojet propulsion systems
за авторством: Batracov, A.B., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Batracov, A.B., та інші
Опубліковано: (2015)