Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
In model of nonlocal thermoelastic peak of low energy ion the process of intrinsic stress formation in the multi-component coatings CrN, Cr₀.₅Al₀.₅ N, TiN, Ti₀.₅Al₀.₅N, deposited by vacuum arc method from ion beams Cr⁺, Cr⁺₀.₅Al⁺₀.₅, Ti⁺, Ti⁺₀.₅Al⁺₀.₅ in direct current (DC) and pulsed potential mode...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2017 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122176 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation / A.I. Kalinichenko, S.S. Perepelkin, V.E. Strel’nitskij // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 1. — С. 203-206. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |