Исследование инфракрасной фотографической системы на основе кремния, легированного платиной
В работе исследовалась работоспособности полупроводниковой фотографической ионизационной камеры (ПФИК) со сверхтонкой газоразрядной ячейкой с использованием фотоприемных пластинок из кремния, легированного платиной. Экспериментально изучены вольтамперные характеристики, температурные зависимости, ам...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Журнал физики и инженерии поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2017 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2017
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122604 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Исследование инфракрасной фотографической системы на основе кремния, легированного платиной / Х.Т. Йулдашев, Ш.С. Ахмедов, З. Хайдаров // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 1. — С. 12-16. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860238263771463680 |
|---|---|
| author | Йулдашев, Х.Т. Ахмедов, Ш.С. Хайдаров, З. |
| author_facet | Йулдашев, Х.Т. Ахмедов, Ш.С. Хайдаров, З. |
| citation_txt | Исследование инфракрасной фотографической системы на основе кремния, легированного платиной / Х.Т. Йулдашев, Ш.С. Ахмедов, З. Хайдаров // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 1. — С. 12-16. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Журнал физики и инженерии поверхности |
| description | В работе исследовалась работоспособности полупроводниковой фотографической ионизационной камеры (ПФИК) со сверхтонкой газоразрядной ячейкой с использованием фотоприемных пластинок из кремния, легированного платиной. Экспериментально изучены вольтамперные характеристики, температурные зависимости, амперваттные характеристики, а также спектральные характеристики фототока в газоразрядной ячейке ПФИК.
В роботі досліджувалася працездатність напівпровідникової фотографічної іонізаційної камери (НФІК) з надтонкою газорозрядною коміркою з використанням фотоприймальних пластинок із кремнію, легованого платиною. Експериментально вивчено вольтамперні характеристики, температурні залежності, амперватні характеристики, а також спектральні характеристики фотоструму в газорозрядній комірці НФІК.
In the present work we investigated the performance of the semiconductor photographic ionization chamber with superfine gas discharge cell plates using a photodetector of the silicon doped with alloy addition platinum. Experimentally studied the current-voltage characteristics, temperature dependences, ampere watt characteristics and spectral characteristics of the photocurrent in the gas discharge cell.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:27:08Z |
| format | Article |
| fulltext |
12
Журнал фізики та інженерії поверхні, 2017, том 2, № 1, сс. 12–19; Журнал физики и инженерии поверхности, 2017, том 2, № 1, сс. 12–19;
Journal of Surface Physics and Engineering, 2017, vol. 2, No. 1, pp. 12–19
© Йулдашев Х. Т., Ахмедов Ш. С., Хайдаров З., 2017
УДК 621.393.3:621.382:621.385
ИССЛЕДОВАНИЕ ИНФРАКРАСНОЙ ФОТОГРАФИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ
НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ, ЛЕГИРОВАННОГО ПЛАТИНОЙ
Х. Т. Йулдашев, Ш. С. Ахмедов, З. Хайдаров
Ферганский политехнический институт,
Фергана, Узбекистан
Поступила в редакцию 22. 02. 2017
В работе исследовалась работоспособности полупроводниковой фотографической ионизацион-
ной камеры (ПФИК) со сверхтонкой газоразрядной ячейкой с использованием фотоприемных
пластинок из кремния, легированного платиной. Экспериментально изучены вольтамперные ха-
рактеристики, температурные зависимости, амперваттные характеристики, а также спектральные
характеристики фототока в газоразрядной ячейке ПФИК.
Ключевые слова: фотографическая регистрация, инфракрасное излучение, электронно-опти-
ческий преобразователь, температурные зависимости, спектральные характеристики.
ДОСЛІДЖЕННЯ ІНФРАЧЕРВОНОЇ ФОТОГРАФІЧНОЇ СИСТЕМИ
НА ОСНОВІ КРЕМНІЮ, ЛЕГОВАНОГО ПЛАТИНОЮ
Х. Т. Йулдашев, Ш. С. Ахмедов, З. Хайдаров
В роботі досліджувалася працездатність напівпровідникової фотографічної іонізаційної каме-
ри (НФІК) з надтонкою газорозрядною коміркою з використанням фотоприймальних пластинок
із кремнію, легованого платиною. Експериментально вивчено вольтамперні характеристики,
температурні залежності, амперватні характеристики, а також спектральні характеристики фото-
струму в газорозрядній комірці НФІК.
Ключові слова: фотографічна реєстрація, інфрачервоне випромінювання, електронно-оптич-
ний перетворювач, температурні залежності, спектральні характеристики.
INVESTIGATION OF INFRARED PHOTOGRAPHIC SYSTEM
BASED ON SILICON DOPED WITH PLATINUM
X. T. Yuldashev, Sh. S. Akhmedov, Z. Haydarov
In the present work we investigated the performance of the semiconductor photographic ionization
chamber with superfine gas discharge cell plates using a photodetector of the silicon doped with
alloy addition platinum. Experimentally studied the current-voltage characteristics, temperature
dependences, ampere watt characteristics and spectral characteristics of the photocurrent in the gas
discharge cell.
Keywords: photographic recording, infrared, electro-optical transducer, the temperature dependence
of spectral characteristics.
1. ВВЕДЕНИЕ
Полупроводниковая фотографическая
система ионизационного типа остается наи-
более перспективным устройством для реги-
страции оптических изображений в широком
спектральном диапазоне [1, 2]. Удовлетворяя
принципу управляемой фоточувствитель-
ности [3] эта система является приемлемой
для удовлетворения инфракрасной фото-
графии. В настоящее время продолжаются
работы по созданию современных приборов
с высокими фотографическими параметра-
ми [4].
В полупроводниковой ионизацион-
ной камере (ПИК) фотоприемником (ФП)
инфракрасного излучения в диапазоне длин
волн λ =1,1–4,2 мкм используется крем-
ний, легированный платиной [5], а в диа-
пазоне длин волн λ = 10,6 мкм — кремний,
легированный серой [6].
Авторами работы [7] экспериментально
исследовано влияние степени компенсации
уровней Si(S) на фотопроводимость в спек-
тральной области 10,6 мкм. Проведены те-
оретические расчеты для одноуровневой
системы при различной степени компенса-
ции и для двух энергий активации (ΔЕ). Уста-
новлено, что в фотопроводимости на длине
волны 10,6 мкм участвуют не менее двух
уровней примеси.
Х. Т. ЙУЛДАШЕВ, Ш. С. АХМЕДОВ, З. ХАЙДАРОВ
13ЖФІП ЖФИП JSPE, 2017, т. 2, № 1, vol. 2, No. 1
В настоящей работе приводятся результаты
исследований фотоэлектрических свойств
полупроводниковых ФП, использованных
в ионизационных системах.
2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТОВ
И ПОЛУЧЕННЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ
Основной частью ПИК является газораз-
рядная ячейка, которая заключена между
фотоприемником и контрэлектродом.
Контрэлектрод изготавливается из стеклян-
ной пластинки с проводящим прозрачным
покрытием SnO2 или из волоконно-опти-
ческой шайбы, также с покрытием SnO2.
При проецировании на поверхность фото-
приемника инфракрасного (ИК) изображе-
ния объекта в нем возникает распределение
фотопроводимости, повторяющее интенсив-
ность падающего ИК излучения. При прило-
жении между фотоприемником и прозрачным
контрэлектродом достаточного по величине
напряжения происходит пробой газоразряд-
ного промежутка, благодаря автоэлектронной
эмиссии с внутренней поверхности фото-
приемника [8]. Распределение плотнос-
ти тока и яркости свечения газоразрядной
плазмы будет определяться распределени-
ем фотопроводимости полупроводникового
фотоприемника.
2.1. Вольтамперные характеристики
Типичные вольтамперные характеристики
(ВАХ) газоразрядной ячейки с фотоприем-
ником из кремния p-типа проводимости, ле-
гированного платиной (p-Si<Pt>), приведены
на рис. 1. Часть ВАХ захватывает интервал
плотности токов 10–9–10–7 А/см2, который
ранее при изучении газоразрядных ячеек
с полупроводниковыми электродами прак-
тически никогда не исследовался, по-
скольку при существовавших методах
регистрации изображений в использованных
фотоприемниках был неактуальным. Таким
образом, проведенные измерения впервые
осуществлены в области низких уровней
плотностей токов в газоразрядной ячейке.
Из ВАХ следует, что в области напряжений,
непосредственно следующих за напряжени-
ем пробоя газового промежутка, наблюдает-
ся участок сверхлинейного нарастания тока
с наклоном, который увеличивается по мере
роста проводимости полупроводникового
электрода. При дальнейшем возрастании на-
пряжения сверхлинейный участок переходит
в линейный. Причиной наблюдаемого хода
ВАХ является, по-видимому, то обстоятель-
ство, что на начальной стадии развития та-
унсендовского разряда дифференциальное
сопротивление разрядного промежутка вели-
ко и сравнимо с омическим сопротивлением
полупроводникового электрода. Линейный
участок ВАХ не имеет тенденции к супер-
линейности, т. е. при рабочих напряжениях
ПФИК, вплоть до 1,6·103 В не возникает мо-
нополярной инжекции из контактов и других
нелинейных процессов.
Отметим, что снижение порога ре-
гистрируемой минимальной плотности
тока в ПФИК напрямую связано с воз-
можностью осуществления эффекта ста-
билизации и управления током газового
разряда при малых плотностях тока несамо-
стоятельного разряда в газовом промежут-
ке. Поскольку при описанных выше опытах
контролировалась равномерность свечения
экрана и формирование изображения, при-
чем для плотностей токов до 10–9 А/см2
они были вполне удовлетворительными,
можно ожидать, что естественный предел
30
24
18
12
6
0
0,5
U, кВ
0,7 0,9 1,1 1,3 1,5
1 4
3
2
Ic, А/см2
Рис. 1. Вольтамперные характеристики газоразряд-
ной ячейки ПФИК при разных мощностях ИК излу-
чения J: 1 — 1,6·10–4 Вт/см2, 2 — 5,3·10–6 Вт/см2, 3 —
1,8·10–6 Вт/см2, 4 — 2,4·10–7 Вт/см2
ИССЛЕДОВАНИЕ ИНФРАКРАСНОЙ ФОТОГРАФИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ, ЛЕГИРОВАННОГО ПЛАТИНОЙ
14 ЖФІП ЖФИП JSPE, 2017, т. 2, № 1, vol. 2, No. 1
снижения величины пороговой регистриру-
емой минимальной плотности тока при ста-
ционарном освещении лежит значительно
ниже, чем это зафиксировано в настоящей
работе.
2.2. Спектральные характеристики
газоразрядной ячейки с фотоприемником
из p-Si<Pt>
Для спектральных исследований бы ла
собрана установка, в которой фото-
графируемым и наблюдаемым объектом
яв лялась щель ИК монохроматора (моно-
хроматор фирмы «Карл Цейс Йена тип
S-10/2603» с призмой NaCl и источником
света типа «Глобар») . Изображение
щели проектировалось двояковыпуклой
линзой из BaF2 на приемную поверхность
фотоприемника ПФИК. Интенсивность
излучения, падающего на фотоприемник,
была определена прямыми измерениями
метрологическим термостолбиком типа
ЛЭТИ с чувствительностью 0,72 В/Вт.
На рис. 2. приведена спектральная
характеристика фототока в ПФИК в диапазоне
чувствительности фотоприемного элемента
hν = 0,3–1,2 эВ (λ = 1–4,13 мкм) из p-Si<Pt>.
Полученная спектральная характеристика
хорошо согласуется с данными работы
[9]. В районе hν = 0,31 эВ (λ = 4 мкм) на
длинноволновом краю спектрального
диапазона фоточувствительность составляет
примерно 8 % от максимального значения.
Во всем заданном диапазоне ИК излучения
получены удовлетворительные изображения
выходной щели монохроматора.
На рис. 3 приведены температурные зави-
симости темнового и фототоков. Как видно из
кривых, фототок в широком диапазоне темпе-
ратур вплоть до 125 К остается неизменным,
что является весьма важным признаком при
эксплуатации ПФИК. Из температурных за-
висимостей темнового тока можно опреде-
лить энергии ионизации эмиттэрного уровня
примеси платины в кремнии. Рассчитанная
энергия ионизации примеси составляет
ΔЕ = 0,317 эВ, что согласуется с результатами
работ [10].
На рис. 4 приведены ампер-ваттные за-
висимости сверхтонкой газоразрядной
ячейки ПФИК, снятые в трех участках
10–4
10–5
10–6
10–7
0,25
hv, эВ
0,5 0,75 1,0 1,5
Ic, А/см2
Рис. 2. Спектральные характеристики фототока в газо-
разрядной ячейке ПФИК
10–4
10–5
10–6
10–7
80
J, Вт/см2
100 120 140
jT
2'
1jc
Ic, А/см2
jT 2
1'
jc
Рис. 3. Температурные зависимости темнового и фото-
токов в газоразрядной ячейке ионизационной камеры
для двух разных исходных удельных сопротивлений
ρ фотоприемников из р-Si<Pt>: 1 и 1/–0,41 Ом·см; 2
и 2/ –1,25 Ом·см
10–4
10–5
10–6
10–7
10–8
10–8 10–7 10–6 10–5 10–4 10–3
J, Вт/см2
3
2
1
Ic, А/см2
Рис. 4. Ампер-ваттные характеристики ПФИК с фо-
топриемником из р-Si<Pt> для трех разных областей
спектрального диапазона длин волн λ: 1 — 1,1–
2,3 мкм, 2 — 1,6–3,4 мкм, 3 — 2,6–4,2 мкм
Х. Т. ЙУЛДАШЕВ, Ш. С. АХМЕДОВ, З. ХАЙДАРОВ
15ЖФІП ЖФИП JSPE, 2017, т. 2, № 1, vol. 2, No. 1
спектральной области чувствительности при
Δλ = 1,1–2,3 мкм, Δλ = 1,6–3,4 мкм и Δλ =
2,6–4,2 мкм. Зависимость имеет широкий
диапазон линейности и допускает фотогра-
фическую регистрацию изображений при
пороговой регистрируемой мощности излу-
чения до 10–7 Вт/см2 за время экспонирования
в интервале (0,1–2∙10–3) с.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Таким образом можно создать прибор
ночного видения и пространственно-вре-
менной диагностический прибор для иссле-
дования ИК излучений объектов в ближней
области длин волн при температуре
термоэлектрического охладителя и дальней
области длин волн при температуре жидко-
го азота. Применение ПИК для обнаруже-
ния дефектов и неоднородностей твердых
и жидких веществ делает ее еще более со-
временной, то есть этот метод является более
дешевым и простым. Необходимо отметить,
что результаты исследований с применением
ПИК всегда воспроизводимы.
ЛИТЕРАТУРА
1. Йулдашев Х. Т., Хайдаров З. Новый фото-
графический эффект в сверхтонкой газо-
разрядной ячейке с полупроводниковым
электродом // Прикладная физика. — 2016. —
№ 5. — С. 75–80.
2. Йулдашев Х. Т., Касымов Ш. С., Хайдаров З.
Фотопреобразователь ИК-изображений со
сверхтонкой газоразрядной ячейкой и люми-
нофором // Прикладная физика. — 2016. —
№ 2. — С. 94–99.
3. Йулдашев Х. Т., Касымов Ш. С., Хайда-
ров З. Усилительные процессы в газоразряд-
ной ячейке, состоящей из полупроводника
с плазменными контактами // Журнал физики
и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1,
№ 3. — C. 268–273.
4. Лодыгин А. Н., Астров Ю. А., Порцель Л. М.,
Берегулин Е. В. Динамика таунсендовского
разряда в аргоне // ЖТФ. — 2015. — Т. 85,
№ 5. — С. 27–31.
5. Хайдаров З. Исследование сверхтонкой га-
зоразрядной ячейки с полупроводниковым
электродом из кремния, легированного
платиной // ФИП. — 2011. — Т. 9, № 4. —
C. 385–389.
6. Сиябеков Х. Б., Туланов В. Т. Фотопроводи-
мость кремния, легированного серой, в спект-
ральном диапазоне 10,6 мкм // ФТП. — 1997. —
Т. 31, № 12. — C. 1425–1427.
7. Горлин Г. Б., Туланов В. Т., Сиябеков Х. Б.
Влияние степени компенсации уровней серы
на фотопроводимость кремния в спектраль-
ной области 10,6 мкм // ЖТФ. — 1997. —
Т. 67, № 10. — C. 142–143.
8. Йулдашев Х. Т., Касымов Ш. С. Исследо-
вание характеристик полупроводникового
фотопреобразователя ионизационного типа
со сверхтонкой газоразрядной ячейкой //
ФИП. — 2015. — № 2. — C. 137–141.
9. Астров Ю. А., Ахмедова М. М., Лебеде-
ва А. А. Мамадолимов А. Т., Парицкий Л. Г.,
Порцель Л. М., Юсупов П. Полупроводни-
ковая фотографическая система и преобра-
зователь изображений ионизационного типа
на основе кремния, компенсированного пла-
тиной. — М.: (Деп. в ВИНИТИ.: № 19763 —
76Деп), 1976. — 15 с.
10. Астров Ю. А., Парицкий Л. Г, Рывкин С. М.
Исследование быстродействия полупрово-
дниковых преобразователей изображений
ионизационного типа. — М.: (Деп. В ЦНИИ
«Электроника».: № Деп — 2472/78), 1978. —
22 с.
REFERENCES
1. Juldashev H. T., Hajdarov Z. Novyj foto-
graficheskij effekt v sverhtonkoj gazorazryad-
noj yachejke s poluprovodnikovym elektro-
dom // Prikladnaya fizika. — 2016. — No. 5. —
P. 75–80.
2. Juldashev H. T., Kasymov Sh. S., Hajdarov Z.
Fotopreobrazovatel’ IK-izobrazhenij so
sverh tonkoj gazorazryadnoj yachejkoj i lyu-
minoforom // Prikladnaya fizika. — 2016. —
No. 2. — P. 94–99.
3. Juldashev H. T., Kasymov Sh. S., Hajdarov Z.
Usilitel’nye processy v gazorazryadnoj
yachejke, sostoyaschej iz poluprovodnika
s plazmennymi kontaktami // Zhurnal fiziki
i inzhenerii poverhnosti. — 2016. — Vol. 1,
No. 3. — P. 268–273.
4. Lodygin A. N., Astrov Yu. A., Porcel’ L. M.,
Beregulin E. V. Dinamika taunsendovskogo
razryada v argone // ZhTF. — 2015. — Vol. 85,
No. 5. — P. 27–31.
5. Hajdarov Z. Issledovanie sverhtonkoj
ИССЛЕДОВАНИЕ ИНФРАКРАСНОЙ ФОТОГРАФИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ, ЛЕГИРОВАННОГО ПЛАТИНОЙ
16 ЖФІП ЖФИП JSPE, 2017, т. 2, № 1, vol. 2, No. 1
gazorazryadnoj yachejki s poluprovodniko-
vym elektrodom iz kremniya, legirovannogo
platinoj // FIP. — 2011. — Vol. 9, No. 4. —
P. 385–389.
6. Siyabekov H. B., Tulanov V. T. Fotoprovodimost’
kremniya, legirovannogo seroj, v spektral’nom
diapazone 10,6 mkm // FTP. — 1997. —
Vol. 31, No. 12. — P. 1425–1427.
7. Gorlin G. B., Tulanov V. T., Siyabekov H. B.
Vliyanie stepeni kompensacii urovnej sery
na fotoprovodimost’ kremniya v spektral’noj
oblasti 10,6 mkm // ZhTF. — 1997. — Vol. 67,
No. 10. — P. 142–143.
8. Juldashev H. T., Kasymov Sh. S. Issledovanie
harakteristik poluprovodnikovogo foto-
preobrazovatelya ionizacionnogo tipa so
sverhtonkoj gazorazryadnoj yachejkoj //
FIP. — 2015. — No. 2. — P. 137–141.
9. Astrov Yu. A., Ahmedova M. M., Lebede-
va A. A. Mamadolimov A. T., Parickij L. G.,
Porcel’ L. M., Yusupov P. Poluprovodnikova-
ya fotograficheskaya sistema i preobrazovatel’
izobrazhenij ionizacionnogo tipa na osnove
kremniya, kompensirovannogo platinoj. —
M.: (Dep. v VINITI.: No. 19763 — 76Dep),
1976. — 15 p.
10. Astrov Yu. A., Parickij L. G, Ryv-
kin S. M. Issledovanie bystrodejstviya
poluprovodnikovyh preobrazovatelej izobra-
zhenij ionizacionnogo tipa. — M.: (Dep.
V CNII «Elektronika».: No. Dep — 2472/78),
1978. — 22 p.
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122604 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2519-2485 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:27:08Z |
| publishDate | 2017 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Йулдашев, Х.Т. Ахмедов, Ш.С. Хайдаров, З. 2017-07-15T14:24:15Z 2017-07-15T14:24:15Z 2017 Исследование инфракрасной фотографической системы на основе кремния, легированного платиной / Х.Т. Йулдашев, Ш.С. Ахмедов, З. Хайдаров // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 1. — С. 12-16. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2519-2485 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122604 621.393.3:621.382:621.385 В работе исследовалась работоспособности полупроводниковой фотографической ионизационной камеры (ПФИК) со сверхтонкой газоразрядной ячейкой с использованием фотоприемных пластинок из кремния, легированного платиной. Экспериментально изучены вольтамперные характеристики, температурные зависимости, амперваттные характеристики, а также спектральные характеристики фототока в газоразрядной ячейке ПФИК. В роботі досліджувалася працездатність напівпровідникової фотографічної іонізаційної камери (НФІК) з надтонкою газорозрядною коміркою з використанням фотоприймальних пластинок із кремнію, легованого платиною. Експериментально вивчено вольтамперні характеристики, температурні залежності, амперватні характеристики, а також спектральні характеристики фотоструму в газорозрядній комірці НФІК. In the present work we investigated the performance of the semiconductor photographic ionization chamber with superfine gas discharge cell plates using a photodetector of the silicon doped with alloy addition platinum. Experimentally studied the current-voltage characteristics, temperature dependences, ampere watt characteristics and spectral characteristics of the photocurrent in the gas discharge cell. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Журнал физики и инженерии поверхности Исследование инфракрасной фотографической системы на основе кремния, легированного платиной Дослідження інфрачервоної фотографічної системи на основі кремнію, легованого платиною Investigation of infrared photographic system based on silicon doped with platinum Article published earlier |
| spellingShingle | Исследование инфракрасной фотографической системы на основе кремния, легированного платиной Йулдашев, Х.Т. Ахмедов, Ш.С. Хайдаров, З. |
| title | Исследование инфракрасной фотографической системы на основе кремния, легированного платиной |
| title_alt | Дослідження інфрачервоної фотографічної системи на основі кремнію, легованого платиною Investigation of infrared photographic system based on silicon doped with platinum |
| title_full | Исследование инфракрасной фотографической системы на основе кремния, легированного платиной |
| title_fullStr | Исследование инфракрасной фотографической системы на основе кремния, легированного платиной |
| title_full_unstemmed | Исследование инфракрасной фотографической системы на основе кремния, легированного платиной |
| title_short | Исследование инфракрасной фотографической системы на основе кремния, легированного платиной |
| title_sort | исследование инфракрасной фотографической системы на основе кремния, легированного платиной |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122604 |
| work_keys_str_mv | AT iuldaševht issledovanieinfrakrasnoifotografičeskoisistemynaosnovekremniâlegirovannogoplatinoi AT ahmedovšs issledovanieinfrakrasnoifotografičeskoisistemynaosnovekremniâlegirovannogoplatinoi AT haidarovz issledovanieinfrakrasnoifotografičeskoisistemynaosnovekremniâlegirovannogoplatinoi AT iuldaševht doslídžennâínfračervonoífotografíčnoísisteminaosnovíkremníûlegovanogoplatinoû AT ahmedovšs doslídžennâínfračervonoífotografíčnoísisteminaosnovíkremníûlegovanogoplatinoû AT haidarovz doslídžennâínfračervonoífotografíčnoísisteminaosnovíkremníûlegovanogoplatinoû AT iuldaševht investigationofinfraredphotographicsystembasedonsilicondopedwithplatinum AT ahmedovšs investigationofinfraredphotographicsystembasedonsilicondopedwithplatinum AT haidarovz investigationofinfraredphotographicsystembasedonsilicondopedwithplatinum |