Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si

• Date: 2017
• Main Authors: Конотопский, Л.Е., Копылец, И.А., Севрюкова, В.А., Зубарев, Е.Н., Мамон, В.В., Кондратенко, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2017
• Series: Журнал физики и инженерии поверхности
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122605
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si / Л.Е. Конотопский, И.А. Копылец, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, В.В. Мамон, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 1. — С. 20-28. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Электронно-микроскопическими и рентгенодифракционными методами исследована структура многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Mg₂Si. Показано, что в процессе изготовления МРЗ W/Mg₂Si наблюдается межслоевое взаимодействие, в результате которого формируется перемешанная зона на границе Mg₂Si-W из силицида вольфрама. Установлено, что состав перемешанной зоны зависит от толщины слоев, составляющих период рентгеновского зеркала. В МРЗ W/Mg₂Si с периодом 3,1 нм формируется перемешанная зона силицида вольфрама с преимущественным содержанием вольфрама: W₃Si и/или W₅Si₃. В МРЗ с периодом 14,2 нм состав перемешанной зоны близок к WSi₂. Плотности перемешанных зон в МРЗ W/Mg₂Si с периодами 3,1 нм и 14,2 нм составляют 16,1 г/см³ и 8,2 г/см³ соответственно. Проведена оценка оптических свойств МРЗ W/Mg₂Si. Показано, что на длине волны 9,89 нм отражательная способность неоптимизированного по конструкции МРЗ W/Mg₂Si находится на уровне с оптимизированным МРЗ W/B₄C.