Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si

• Published in: Журнал физики и инженерии поверхности
• Date: 2017
• Main Authors: Конотопский, Л.Е., Копылец, И.А., Севрюкова, В.А., Зубарев, Е.Н., Мамон, В.В., Кондратенко, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2017
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122605
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si / Л.Е. Конотопский, И.А. Копылец, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, В.В. Мамон, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 1. — С. 20-28. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Электронно-микроскопическими и рентгенодифракционными методами исследована структура многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Mg₂Si. Показано, что в процессе изготовления МРЗ W/Mg₂Si наблюдается межслоевое взаимодействие, в результате которого формируется перемешанная зона на границе Mg₂Si-W из сил...