Исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков Холла на основе гетеро-структуры AlGaN/GaN

Представлены результаты исследований характеристик датчика Холла предложенной конструкции на основе гетероструктуры AlGaN/GaN с различными геометрическими параметрами активной области, функционирующего в диапазоне температуры от –25 до 400°C. Исследования выполнены с использованием программных средс...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2017
Hauptverfasser: Стемпицкий, В.Р., Дао Динь Ха
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2017
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122667
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков Холла на основе гетеро-структуры AlGaN/GaN / В.Р. Стемпицкий, Дао Динь Ха // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2017. — № 1-2. — С. 28-32. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122667
record_format dspace
spelling Стемпицкий, В.Р.
Дао Динь Ха
2017-07-16T17:57:39Z
2017-07-16T17:57:39Z
2017
Исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков Холла на основе гетеро-структуры AlGaN/GaN / В.Р. Стемпицкий, Дао Динь Ха // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2017. — № 1-2. — С. 28-32. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
2225-5818
DOI: 10.15222/TKEA2017.1-2.28
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122667
621.382
Представлены результаты исследований характеристик датчика Холла предложенной конструкции на основе гетероструктуры AlGaN/GaN с различными геометрическими параметрами активной области, функционирующего в диапазоне температуры от –25 до 400°C. Исследования выполнены с использованием программных средств приборно-технологического моделирования. Активным слоем датчика является область двумерного электронного газа, которая формируется между барьерным слоем Al₀,₃Ga₀,₇N и нелегированным канальным слоем GaN. Полученные результаты (магнитная чувствительность по току 66,4 В/(А•Тл) при комнатной температуре, температурный коэффициент магнитной чувствительности 0,0273 %/°C) свидетельствуют о перспективности предлагаемого решения для практического использования.
Представлено результати досліджень характеристик датчика Холла запропонованої конструкції на основі гетероструктури AlGaN / GaN з різними геометричними параметрами активної області, який функціонує в діапазоні температури від —25 до 400°C. Дослідження виконано з використанням програмних засобів приборно-технологічного моделювання. Активним шаром датчика є область двовимірного електронного газу, яка формується між бар'єрним шаром Al₀,₃Ga₀,₇N і нелегованим канальним шаром GaN. Отримані результати (магнітна чутливість по струму 66,4 В/(А•Тл) при кімнатній температурі, температурний коефіцієнт магнітної чутливості 0,0273%/°C) свідчать про перспективність запропонованого рішення для практичного використання.
The paper presents research results on the characteristics of Hall sensor based on the AlGaN/GaN heterostructure with various geometric parameters of the active region operating in the temperature range from –25 to 400°C. The research was performed using device-technological simulation. The active layer of the proposed structure is a two-dimensional electron gas region, which is formed between the barrier layer Al₀,₃Ga₀,₇N and the undoped GaN channel layer. The results (room temperature current-related magnetic sensitivity 66.4 V/(A•T) and very low temperature cross sensitivity of 0,0273%/°C) indicate the prospects of the proposed solutions for the practical use.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Сенсоэлектроника
Исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков Холла на основе гетеро-структуры AlGaN/GaN
Дослідження електричних і магнітних характеристик високотемпературних датчиків холла на основі гетероструктур AlGaN/GaN
Investigation of electric and magnetic characteristics of high-temperature Hall sensor based on AlGaN/GaN heterostructure
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков Холла на основе гетеро-структуры AlGaN/GaN
spellingShingle Исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков Холла на основе гетеро-структуры AlGaN/GaN
Стемпицкий, В.Р.
Дао Динь Ха
Сенсоэлектроника
title_short Исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков Холла на основе гетеро-структуры AlGaN/GaN
title_full Исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков Холла на основе гетеро-структуры AlGaN/GaN
title_fullStr Исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков Холла на основе гетеро-структуры AlGaN/GaN
title_full_unstemmed Исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков Холла на основе гетеро-структуры AlGaN/GaN
title_sort исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков холла на основе гетеро-структуры algan/gan
author Стемпицкий, В.Р.
Дао Динь Ха
author_facet Стемпицкий, В.Р.
Дао Динь Ха
topic Сенсоэлектроника
topic_facet Сенсоэлектроника
publishDate 2017
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Дослідження електричних і магнітних характеристик високотемпературних датчиків холла на основі гетероструктур AlGaN/GaN
Investigation of electric and magnetic characteristics of high-temperature Hall sensor based on AlGaN/GaN heterostructure
description Представлены результаты исследований характеристик датчика Холла предложенной конструкции на основе гетероструктуры AlGaN/GaN с различными геометрическими параметрами активной области, функционирующего в диапазоне температуры от –25 до 400°C. Исследования выполнены с использованием программных средств приборно-технологического моделирования. Активным слоем датчика является область двумерного электронного газа, которая формируется между барьерным слоем Al₀,₃Ga₀,₇N и нелегированным канальным слоем GaN. Полученные результаты (магнитная чувствительность по току 66,4 В/(А•Тл) при комнатной температуре, температурный коэффициент магнитной чувствительности 0,0273 %/°C) свидетельствуют о перспективности предлагаемого решения для практического использования. Представлено результати досліджень характеристик датчика Холла запропонованої конструкції на основі гетероструктури AlGaN / GaN з різними геометричними параметрами активної області, який функціонує в діапазоні температури від —25 до 400°C. Дослідження виконано з використанням програмних засобів приборно-технологічного моделювання. Активним шаром датчика є область двовимірного електронного газу, яка формується між бар'єрним шаром Al₀,₃Ga₀,₇N і нелегованим канальним шаром GaN. Отримані результати (магнітна чутливість по струму 66,4 В/(А•Тл) при кімнатній температурі, температурний коефіцієнт магнітної чутливості 0,0273%/°C) свідчать про перспективність запропонованого рішення для практичного використання. The paper presents research results on the characteristics of Hall sensor based on the AlGaN/GaN heterostructure with various geometric parameters of the active region operating in the temperature range from –25 to 400°C. The research was performed using device-technological simulation. The active layer of the proposed structure is a two-dimensional electron gas region, which is formed between the barrier layer Al₀,₃Ga₀,₇N and the undoped GaN channel layer. The results (room temperature current-related magnetic sensitivity 66.4 V/(A•T) and very low temperature cross sensitivity of 0,0273%/°C) indicate the prospects of the proposed solutions for the practical use.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122667
citation_txt Исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков Холла на основе гетеро-структуры AlGaN/GaN / В.Р. Стемпицкий, Дао Динь Ха // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2017. — № 1-2. — С. 28-32. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT stempickiivr issledovanieélektričeskihimagnitnyhharakteristikvysokotemperaturnyhdatčikovhollanaosnovegeterostrukturyalgangan
AT daodinʹha issledovanieélektričeskihimagnitnyhharakteristikvysokotemperaturnyhdatčikovhollanaosnovegeterostrukturyalgangan
AT stempickiivr doslídžennâelektričnihímagnítnihharakteristikvisokotemperaturnihdatčikívhollanaosnovígeterostrukturalgangan
AT daodinʹha doslídžennâelektričnihímagnítnihharakteristikvisokotemperaturnihdatčikívhollanaosnovígeterostrukturalgangan
AT stempickiivr investigationofelectricandmagneticcharacteristicsofhightemperaturehallsensorbasedonalganganheterostructure
AT daodinʹha investigationofelectricandmagneticcharacteristicsofhightemperaturehallsensorbasedonalganganheterostructure
first_indexed 2025-12-07T17:52:53Z
last_indexed 2025-12-07T17:52:53Z
_version_ 1850872927082250240