Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС

Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника. The results of the authors long-standing researchs by the application of gas-phase, molecular-beam and mixed epitaxy from gas source....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:1999
Main Authors: Осинский, В.И., Олексенко, П.Ф., Палагин, А.В., Зубарев, В.В., Луговский, В.В., Бондаренко, В.М., Николаенко, Ю.Е., Вербицкий, В.Г., Воронько, А.А., Бобженко, С.В., Мержвинский, А.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1999
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122680
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС / В.И. Осинский, П.Ф. Олексенко, А.В. Палагин, В.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.М. Бондаренко, Ю.Е. Николаенко, В.Г. Вербицкий, А.А. Воронько, С.В. Бобженко, А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 3-17. — Бібліогр.: 71 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862686849339752448
author Осинский, В.И.
Олексенко, П.Ф.
Палагин, А.В.
Зубарев, В.В.
Луговский, В.В.
Бондаренко, В.М.
Николаенко, Ю.Е.
Вербицкий, В.Г.
Воронько, А.А.
Бобженко, С.В.
Мержвинский, А.А.
author_facet Осинский, В.И.
Олексенко, П.Ф.
Палагин, А.В.
Зубарев, В.В.
Луговский, В.В.
Бондаренко, В.М.
Николаенко, Ю.Е.
Вербицкий, В.Г.
Воронько, А.А.
Бобженко, С.В.
Мержвинский, А.А.
citation_txt Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС / В.И. Осинский, П.Ф. Олексенко, А.В. Палагин, В.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.М. Бондаренко, Ю.Е. Николаенко, В.Г. Вербицкий, А.А. Воронько, С.В. Бобженко, А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 3-17. — Бібліогр.: 71 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника. The results of the authors long-standing researchs by the application of gas-phase, molecular-beam and mixed epitaxy from gas source.
first_indexed 2025-12-07T16:04:57Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122680
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T16:04:57Z
publishDate 1999
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Осинский, В.И.
Олексенко, П.Ф.
Палагин, А.В.
Зубарев, В.В.
Луговский, В.В.
Бондаренко, В.М.
Николаенко, Ю.Е.
Вербицкий, В.Г.
Воронько, А.А.
Бобженко, С.В.
Мержвинский, А.А.
2017-07-17T14:36:30Z
2017-07-17T14:36:30Z
1999
Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС / В.И. Осинский, П.Ф. Олексенко, А.В. Палагин, В.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.М. Бондаренко, Ю.Е. Николаенко, В.Г. Вербицкий, А.А. Воронько, С.В. Бобженко, А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 3-17. — Бібліогр.: 71 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122680
Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника.
The results of the authors long-standing researchs by the application of gas-phase, molecular-beam and mixed epitaxy from gas source.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Техническая политика
Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС
Article
published earlier
spellingShingle Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС
Осинский, В.И.
Олексенко, П.Ф.
Палагин, А.В.
Зубарев, В.В.
Луговский, В.В.
Бондаренко, В.М.
Николаенко, Ю.Е.
Вербицкий, В.Г.
Воронько, А.А.
Бобженко, С.В.
Мержвинский, А.А.
Техническая политика
title Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС
title_full Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС
title_fullStr Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС
title_full_unstemmed Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС
title_short Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС
title_sort проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ис
topic Техническая политика
topic_facet Техническая политика
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122680
work_keys_str_mv AT osinskiivi problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis
AT oleksenkopf problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis
AT palaginav problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis
AT zubarevvv problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis
AT lugovskiivv problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis
AT bondarenkovm problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis
AT nikolaenkoûe problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis
AT verbickiivg problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis
AT voronʹkoaa problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis
AT bobženkosv problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis
AT meržvinskiiaa problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis