Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС
Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника. The results of the authors long-standing researchs by the application of gas-phase, molecular-beam and mixed epitaxy from gas source....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 1999 |
| Main Authors: | , , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122680 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС / В.И. Осинский, П.Ф. Олексенко, А.В. Палагин, В.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.М. Бондаренко, Ю.Е. Николаенко, В.Г. Вербицкий, А.А. Воронько, С.В. Бобженко, А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 3-17. — Бібліогр.: 71 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862686849339752448 |
|---|---|
| author | Осинский, В.И. Олексенко, П.Ф. Палагин, А.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.В. Бондаренко, В.М. Николаенко, Ю.Е. Вербицкий, В.Г. Воронько, А.А. Бобженко, С.В. Мержвинский, А.А. |
| author_facet | Осинский, В.И. Олексенко, П.Ф. Палагин, А.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.В. Бондаренко, В.М. Николаенко, Ю.Е. Вербицкий, В.Г. Воронько, А.А. Бобженко, С.В. Мержвинский, А.А. |
| citation_txt | Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС / В.И. Осинский, П.Ф. Олексенко, А.В. Палагин, В.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.М. Бондаренко, Ю.Е. Николаенко, В.Г. Вербицкий, А.А. Воронько, С.В. Бобженко, А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 3-17. — Бібліогр.: 71 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника.
The results of the authors long-standing researchs by the application of gas-phase, molecular-beam and mixed epitaxy from gas source.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:04:57Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122680 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:04:57Z |
| publishDate | 1999 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Осинский, В.И. Олексенко, П.Ф. Палагин, А.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.В. Бондаренко, В.М. Николаенко, Ю.Е. Вербицкий, В.Г. Воронько, А.А. Бобженко, С.В. Мержвинский, А.А. 2017-07-17T14:36:30Z 2017-07-17T14:36:30Z 1999 Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС / В.И. Осинский, П.Ф. Олексенко, А.В. Палагин, В.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.М. Бондаренко, Ю.Е. Николаенко, В.Г. Вербицкий, А.А. Воронько, С.В. Бобженко, А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 3-17. — Бібліогр.: 71 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122680 Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника. The results of the authors long-standing researchs by the application of gas-phase, molecular-beam and mixed epitaxy from gas source. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Техническая политика Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС Article published earlier |
| spellingShingle | Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС Осинский, В.И. Олексенко, П.Ф. Палагин, А.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.В. Бондаренко, В.М. Николаенко, Ю.Е. Вербицкий, В.Г. Воронько, А.А. Бобженко, С.В. Мержвинский, А.А. Техническая политика |
| title | Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС |
| title_full | Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС |
| title_fullStr | Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС |
| title_full_unstemmed | Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС |
| title_short | Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС |
| title_sort | проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ис |
| topic | Техническая политика |
| topic_facet | Техническая политика |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122680 |
| work_keys_str_mv | AT osinskiivi problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT oleksenkopf problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT palaginav problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT zubarevvv problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT lugovskiivv problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT bondarenkovm problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT nikolaenkoûe problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT verbickiivg problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT voronʹkoaa problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT bobženkosv problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis AT meržvinskiiaa problemyintegraciistrukturgeteroélektronikiskremnievymiis |