Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС - Осинский, В.И.; Олексенко, П.Ф.; Палагин, А.В.; Зубарев, В.В.; Луговский, В.В.; Бондаренко, В.М.; Николаенко, Ю.Е.; Вербицкий, В.Г.; Воронько, А.А.; Бобженко, С.В.; Мержвинский, А.А. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 1999)
Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника. The results of the authors long-standing researchs by the application of gas-phase, molecular-beam and mixed epitaxy from gas source.