Микроскоп МКИ-2М
Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном п...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 1999 |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122690 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862565232759537664 |
|---|---|
| citation_txt | Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном поле отраженного света при разработке технологических процессов, в лабораторной практике и для массовых контрольных операций внешнего вида изделий при производстве ИС.
|
| first_indexed | 2025-11-25T23:52:49Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122690 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-25T23:52:49Z |
| publishDate | 1999 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | 2017-07-17T14:52:54Z 2017-07-17T14:52:54Z 1999 Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122690 Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном поле отраженного света при разработке технологических процессов, в лабораторной практике и для массовых контрольных операций внешнего вида изделий при производстве ИС. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Научно-промышленные центры СНГ Микроскоп МКИ-2М Article published earlier |
| spellingShingle | Микроскоп МКИ-2М Научно-промышленные центры СНГ |
| title | Микроскоп МКИ-2М |
| title_full | Микроскоп МКИ-2М |
| title_fullStr | Микроскоп МКИ-2М |
| title_full_unstemmed | Микроскоп МКИ-2М |
| title_short | Микроскоп МКИ-2М |
| title_sort | микроскоп мки-2м |
| topic | Научно-промышленные центры СНГ |
| topic_facet | Научно-промышленные центры СНГ |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122690 |