Микроскоп МКИ-2М
Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном п...
Gespeichert in:
| Datum: | 1999 |
|---|---|
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122690 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122690 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
|
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1226902025-02-09T12:28:57Z Микроскоп МКИ-2М Научно-промышленные центры СНГ Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном поле отраженного света при разработке технологических процессов, в лабораторной практике и для массовых контрольных операций внешнего вида изделий при производстве ИС. 1999 Article Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122690 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ |
| spellingShingle |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ Микроскоп МКИ-2М Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном поле отраженного света при разработке технологических процессов, в лабораторной практике и для массовых контрольных операций внешнего вида изделий при производстве ИС. |
| format |
Article |
| title |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_short |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_full |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_fullStr |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_full_unstemmed |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_sort |
микроскоп мки-2м |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
1999 |
| topic_facet |
Научно-промышленные центры СНГ |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122690 |
| citation_txt |
Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| first_indexed |
2025-11-25T23:52:49Z |
| last_indexed |
2025-11-25T23:52:49Z |
| _version_ |
1849808408095490048 |