Микроскоп МКИ-2М

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 1999
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1999
• Subjects: Научно-промышленные центры СНГ
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122690
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос.

Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном п...