Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов —...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 1999 |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122692 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862595905791721472 |
|---|---|
| citation_txt | Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов — путем лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения.
|
| first_indexed | 2025-11-27T14:15:43Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122692 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-27T14:15:43Z |
| publishDate | 1999 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | 2017-07-17T14:57:28Z 2017-07-17T14:57:28Z 1999 Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122692 Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов — путем лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Научно-промышленные центры СНГ Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ Article published earlier |
| spellingShingle | Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ Научно-промышленные центры СНГ |
| title | Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_full | Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_fullStr | Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_full_unstemmed | Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_short | Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_sort | установка ремонта топологии на фотошаблонах эм-5001ам |
| topic | Научно-промышленные центры СНГ |
| topic_facet | Научно-промышленные центры СНГ |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122692 |