Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов —...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 1999 |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122692 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122692 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
2017-07-17T14:57:28Z 2017-07-17T14:57:28Z 1999 Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122692 Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов — путем лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Научно-промышленные центры СНГ Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| spellingShingle |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ Научно-промышленные центры СНГ |
| title_short |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_full |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_fullStr |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_full_unstemmed |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_sort |
установка ремонта топологии на фотошаблонах эм-5001ам |
| topic |
Научно-промышленные центры СНГ |
| topic_facet |
Научно-промышленные центры СНГ |
| publishDate |
1999 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов — путем лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122692 |
| citation_txt |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос. |
| first_indexed |
2025-11-27T14:15:43Z |
| last_indexed |
2025-11-27T14:15:43Z |
| _version_ |
1850852377407520769 |