Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС
На основе H-MOS-технологии разработаны новые методы контроля малых доз ионного легирования в системной технологии микроэлектроники. Based on H-MOS technology the process control inspection new methods of dosage concentration of doping in system technology of microelectronics have been developed....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 1999 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122697 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС / С.П. Новосядлый, Я.С. Буджак // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 2-3. — С. 20-23. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862593691543142400 |
|---|---|
| author | Новосядлый, С.П. Буджак, Я.С. |
| author_facet | Новосядлый, С.П. Буджак, Я.С. |
| citation_txt | Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС / С.П. Новосядлый, Я.С. Буджак // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 2-3. — С. 20-23. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | На основе H-MOS-технологии разработаны новые методы контроля малых доз ионного легирования в системной технологии микроэлектроники.
Based on H-MOS technology the process control inspection new methods of dosage concentration of doping in system technology of microelectronics have been developed.
|
| first_indexed | 2025-11-27T10:26:15Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122697 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-27T10:26:15Z |
| publishDate | 1999 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Новосядлый, С.П. Буджак, Я.С. 2017-07-17T18:25:00Z 2017-07-17T18:25:00Z 1999 Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС / С.П. Новосядлый, Я.С. Буджак // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 2-3. — С. 20-23. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122697 На основе H-MOS-технологии разработаны новые методы контроля малых доз ионного легирования в системной технологии микроэлектроники. Based on H-MOS technology the process control inspection new methods of dosage concentration of doping in system technology of microelectronics have been developed. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС Юстировка порогової напруги у технологiї виготовлення ВIС The adjustment of threshold powers in LSIC technology Article published earlier |
| spellingShingle | Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС Новосядлый, С.П. Буджак, Я.С. Технологические процессы |
| title | Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС |
| title_alt | Юстировка порогової напруги у технологiї виготовлення ВIС The adjustment of threshold powers in LSIC technology |
| title_full | Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС |
| title_fullStr | Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС |
| title_full_unstemmed | Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС |
| title_short | Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС |
| title_sort | юстировка пороговых напряжений в технологии бис |
| topic | Технологические процессы |
| topic_facet | Технологические процессы |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122697 |
| work_keys_str_mv | AT novosâdlyisp ûstirovkaporogovyhnaprâženiivtehnologiibis AT budžakâs ûstirovkaporogovyhnaprâženiivtehnologiibis AT novosâdlyisp ûstirovkaporogovoínaprugiutehnologiívigotovlennâvis AT budžakâs ûstirovkaporogovoínaprugiutehnologiívigotovlennâvis AT novosâdlyisp theadjustmentofthresholdpowersinlsictechnology AT budžakâs theadjustmentofthresholdpowersinlsictechnology |