Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках
Предложено оценивать эффективность проектирования микросборок по показателю плотности элементов ИС. Определены факторы, влияющие на этот показатель. It has been proposed to evoluate efficiency of microassembly design by index of element dencity. The influencing factors on this index have been determ...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 1999 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122730 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках / А.И. Коробов, А.Е. Плеханов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 7-9. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122730 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Коробов, А.И. Плеханов, А.Е. 2017-07-19T12:35:15Z 2017-07-19T12:35:15Z 1999 Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках / А.И. Коробов, А.Е. Плеханов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 7-9. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122730 Проектирование. Конструирование Предложено оценивать эффективность проектирования микросборок по показателю плотности элементов ИС. Определены факторы, влияющие на этот показатель. It has been proposed to evoluate efficiency of microassembly design by index of element dencity. The influencing factors on this index have been determinated. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках Показники ефективності використування елементної бази у багатокристальних мікрозбірках The efficiency indexes of using component base in multichip assembies Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках |
| spellingShingle |
Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках Коробов, А.И. Плеханов, А.Е. |
| title_short |
Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках |
| title_full |
Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках |
| title_fullStr |
Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках |
| title_full_unstemmed |
Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках |
| title_sort |
показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках |
| author |
Коробов, А.И. Плеханов, А.Е. |
| author_facet |
Коробов, А.И. Плеханов, А.Е. |
| publishDate |
1999 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Показники ефективності використування елементної бази у багатокристальних мікрозбірках The efficiency indexes of using component base in multichip assembies |
| description |
Предложено оценивать эффективность проектирования микросборок по показателю плотности элементов ИС. Определены факторы, влияющие на этот показатель.
It has been proposed to evoluate efficiency of microassembly design by index of element dencity. The influencing factors on this index have been determinated.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122730 |
| citation_txt |
Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках / А.И. Коробов, А.Е. Плеханов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 7-9. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT korobovai pokazateliéffektivnostiispolʹzovaniâélementnoibazyvmnogokristalʹnyhmikrosborkah AT plehanovae pokazateliéffektivnostiispolʹzovaniâélementnoibazyvmnogokristalʹnyhmikrosborkah AT korobovai pokaznikiefektivnostívikoristuvannâelementnoíbaziubagatokristalʹnihmíkrozbírkah AT plehanovae pokaznikiefektivnostívikoristuvannâelementnoíbaziubagatokristalʹnihmíkrozbírkah AT korobovai theefficiencyindexesofusingcomponentbaseinmultichipassembies AT plehanovae theefficiencyindexesofusingcomponentbaseinmultichipassembies |
| first_indexed |
2025-11-26T15:19:52Z |
| last_indexed |
2025-11-26T15:19:52Z |
| _version_ |
1850626195309199360 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1999, ¹ 5�6
7
ÏÐÎÅÊÒÈÐÎÂÀÍÈÅ. ÊÎÍÑÒÐÓÈÐÎÂÀÍÈÅ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
13.05�22.09 1999 ã.
Îïïîíåíò ê. ô.-ì. í. À. Â. ÀÍÄÐÈßÍÎÂ
Ïðåäëîæåíî îöåíèâàòü ýôôåêòèâ-
íîñòü ïðîåêòèðîâàíèÿ ìèêðîñáîðîê ïî
ïîêàçàòåëþ ïëîòíîñòè ýëåìåíòîâ ÈÑ.
Îïðåäåëåíû ôàêòîðû, âëèÿþùèå íà
ýòîò ïîêàçàòåëü.
It has been proposed to evoluate efficiency of
microassembly design by index of element dencity.
The influencing factors on this index have been
determinated.
Ýôôåêòèâíîñòü êîíñòðóêöèè ìíîãîêðèñòàëüíûõ
ìèêðîñáîðîê (ÌÑÁ) îáåñïå÷èëà øèðîêîå èõ ïðèìå-
íåíèå [1]. Ýôôåêò ýòîé êîíñòðóêöèè îáóñëîâëåí, ñ
îäíîé ñòîðîíû, òåíäåíöèåé ðàçâèòèÿ ïîëóïðîâîäíè-
êîâûõ ÈÑ ê ðîñòó èíòåãðàöèè (ÈÑ, ÁÈÑ, ÑÁÈÑ,
ÓÁÈÑ), ñ äðóãîé ñòîðîíû, íåïðåðûâíûì ñîâåðøåí-
ñòâîâàíèåì êîììóòàöèîííûõ ïëàò â íàïðàâëåíèè
óìåíüøåíèÿ øàãà ðàñïîëîæåíèÿ ïðîâîäíèêîâ (δ1+δ2,
ãäå δ1 è δ2 � ñîîòâåòñòâåííî øèðèíà ïðîâîäíèêà è
ðàññòîÿíèå ìåæäó ïðîâîäíèêàìè) � îò 600 ìêì äëÿ
ïå÷àòíîé ïëàòû 1-ãî êëàññà òî÷íîñòè äî 25 ìêì äëÿ
êîììóòàöèîííûõ ïëàò ìíîãîêðèñòàëüíûõ ìîäóëåé.
Ïîñêîëüêó ðàçâèòèå ÈÑ è êîììóòàöèîííûõ ïëàò
íàïðàâëåíî íà îáåñïå÷åíèå ðîñòà èíòåãðàöèè èçäå-
ëèé ÐÝÑ, â ÷àñòíîñòè ÌÑÁ, òî àêòóàëüíà çàäà÷à
âûÿâëåíèÿ ôàêòîðîâ, îïðåäåëÿþùèõ ýôôåêòèâíîñòü
èñïîëüçîâàíèÿ ÈÑ â ìíîãîêðèñòàëüíûõ ÌÑÁ.
Ïîêàçàòåëÿìè ýôôåêòèâíîñòè ïðîåêòèðîâàíèÿ
ÌÑÁ ïðèíÿòî ñ÷èòàòü âåëè÷èíó êîýôôèöè-
åíòà äåçèíòåãðàöèè [2]
K S n Si i
i
k
äåç =
=
∑ï êð ,
1
(1)
Âåëè÷èíà, îáðàòíàÿ êîýôôèöèåíòó äåçèíòåãðàöèè,
õàðàêòåðèçóåò ïëîòíîñòü óïàêîâêè:
D K n S Si i
i
k
= =
=
∑1
1
äåç êð ï . (2)
Äëÿ âûÿâëåíèÿ ôàêòîðîâ, âëèÿþùèõ íà ýòîò ïî-
êàçàòåëü, ðàññìîòðèì âîçìîæíûå âàðèàíòû ðàçìåùå-
íèÿ ïðîâîäíèêîâ íà êîììóòàöèîííîé ïëàòå.
Óñòàíîâêà ÈÑ íà êîììóòàöèîííóþ ïëàòó ìîæåò
áûòü ðåàëèçîâàíà ïàéêîé è ïðèêëåéêîé.  ñëó÷àå
ïàéêè ïðîâîäíèêè íå ìîãóò ðàçìåùàòüñÿ ïîä êðèñ-
òàëëàìè ÈÑ.  ýòîì ñëó÷àå
Sï=
i
k
=
∑
1
niSiêð+Sïð+Sòï; (3)
Sòï=2∆(À+Â)�4∆2,
 ñëó÷àå ïðèêëåéêè ïðîâîäíèêè êîììóòàöèè ïðî-
õîäÿò ïîä êðèñòàëëàìè è âîçìîæíû ñëåäóþùèå êðàé-
íèå âàðèàíòû èñïîëüçîâàíèÿ ïîëåçíîé ïëîùàäè ïîä-
ëîæêè:
� ïëîùàäü ïîäëîæêè çàíÿòà â îñíîâíîì ïðî-
âîäíèêàìè: Sï=Sïð+Sòï;
� ïëîùàäü ïîäëîæêè çàíÿòà â îñíîâíîì êðèñ-
òàëëàìè ÈÑ: Sï=ΣniSÈÑi+Sòï.
Ïîñëåäíèé âàðèàíò îáåñïå÷èâàåò ìàêñèìàëüíóþ
ïëîòíîñòü óïàêîâêè, ïîýòîìó âëèÿíèå ôàêòîðîâ íà
ýòîò ïîêàçàòåëü öåëåñîîáðàçíî óñòàíîâèòü èìåííî
äëÿ ïîñëåäíåãî âàðèàíòà.
Äëÿ ïðîñòîòû ðàññóæäåíèÿ ïðèìåì, ÷òî âñå
ÈÑ îäíîòèïíû. Òîãäà ïëîùàäü, çàíèìàåìàÿ
ÈÑ, îïðåäåëÿåòñÿ êàê nSÈÑ. Ïëîòíîñòü óïàêîâêè
äëÿ ðàññìàòðèâàåìîãî ñëó÷àÿ ðàâíà
D
nS
nS A B
=
+ +
êð
ÈÑ 2∆( )
, (4)
ò. å. D=f [n, Sêð, SÈÑ, ∆, (À+Â)], ãäå n � ÷èñëî êðèñ-
òàëëîâ.
Óñòàíîâèì âëèÿíèå êàæäîãî èç ôàêòîðîâ íà âå-
ëè÷èíó D. Ïðè ýòîì îòìåòèì, ÷òî â ðàññìàòðèâàå-
ìîì âàðèàíòå ÷èñëî êðèñòàëëîâ îïðåäåëÿåòñÿ ïëî-
ùàäüþ ïîäëîæêè è ïëîùàäüþ ïîñàäî÷íîãî ìåñòà.
Ïóñòü nêð � ÷èñëî îäíîòèïíûõ êðèñòàëëîâ, ðàç-
ìåùàþùèõñÿ íà ïëàòå â ïðàâèëüíîì ïîðÿäêå ïî ñòðî-
êàì è ñòîëáöàì (ðèñ. 1):
nêð=nX×nY,
Ä. ò. í. À. È. ÊÎÐÎÁÎÂ, À. Å. ÏËÅÕÀÍÎÂ
Ðîññèÿ, ã. Ìîñêâà, Ãîñ. àâèàöèîííûé èí-ò (ÌÀÈ)
ÏÎÊÀÇÀÒÅËÈ ÝÔÔÅÊÒÈÂÍÎÑÒÈ
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÈß ÝËÅÌÅÍÒÍÎÉ ÁÀÇÛ
 ÌÍÎÃÎÊÐÈÑÒÀËÜÍÛÕ ÌÈÊÐÎÑÁÎÐÊÀÕ
ãäå Sï �
ni �
k �
Siêð �
ïëîùàäü êîììóòàöèîííîé ïëàòû;
÷èñëî êðèñòàëëîâ i-ãî òèïà;
÷èñëî òèïîâ êðèñòàëëîâ;
ïëîùàäü êðèñòàëëà i-ãî òèïà.
ãäå Sïð �
Sòï �
À è Â �
∆ �
ïëîùàäü, çàíèìàåìàÿ ïðîâîäíèêàìè êîììó-
òàöèè;
ïëîùàäü, çàíèìàåìàÿ òåõíîëîãè÷åñêèìè ïî-
ëÿìè;
äëèíà è øèðèíà ïîäëîæêè;
øèðèíà òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ.
ãäå nX �
nY �
÷èñëî êðèñòàëëîâ, ðàçìåùåííûõ âäîëü ñòîðî-
íû Õ ïëàòû;
÷èñëî êðèñòàëëîâ, ðàçìåùåííûõ âäîëü ñòîðî-
íû Y ïëàòû.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1999, ¹ 5�6
8
ÏÐÎÅÊÒÈÐÎÂÀÍÈÅ. ÊÎÍÑÒÐÓÈÐÎÂÀÍÈÅ
Ïðè âûáðàííûõ ðàçìåðàõ ïëàòû X×Y ÷èñëî êðè-
ñòàëëîâ âäîëü ñòîðîí nX è nY äëÿ îäíîñòîðîííåé
óñòàíîâêè ìîæåò áûòü íàéäåíî ïî ôîðìóëàì
n E
X l
t
n E
Y l
t
X
X
X
Y
Y
Y
=
− −
+
=
− −
+
2
1
2
1
∆
∆
;
,
(5)
Øàã óñòàíîâêè ÈÑ ðåêîìåíäîâàíî ïðèíèìàòü
êðàòíûì 2,5 ìì, ïðè ýòîì ìèíèìàëüíûé çàçîð ìåæ-
äó êîðïóñàìè (z) íå äîëæåí áûòü ìåíüøå 1,5 ìì.
( îñîáûõ ñëó÷àÿõ øàã óñòàíîâêè ìîæåò áûòü êðà-
òåí 1,25 èëè 0,625 ìì [3, ñ. 331�337].)
Ïóñòü øàã óñòàíîâêè (tX, tY) áóäåò êðàòåí 2,5 ìì.
Òîãäà îí áóäåò ðàññ÷èòûâàòüñÿ ñ ïîìîùüþ êîýôôèöè-
åíòîâ êðàòíîñòè
k
l z
k
l z
X
X
Y
Y= + = +
2 5 2 5,
;
,
. (6)
Ïîëó÷åííûå çíà÷åíèÿ kX, kY íóæíî îêðóãëèòü äî áîëü-
øåãî öåëîãî ÷èñëà è óìíîæèòü íà 2,5. Òîãäà øàã óñòà-
íîâêè âäîëü ñòîðîíû Õ è ñòîðîíû Y ñîñòàâèò, ñîîòâåò-
ñòâåííî,
tX=2,5kX; tY=2,5kY. (7)
Îáùåå ÷èñëî êðèñòàëëîâ â ÌÑÁ ðàññìàòðèâàå-
ìîãî âàðèàíòà ñîñòàâèò nêð=nX×nY è ìîæåò áûòü
îïðåäåëåíî ïî ôîðìóëàì (5)�(7).
Òàêèì îáðàçîì, äëÿ äàííûõ ðàçìåðîâ êîììóòàöè-
îííîé ïëàòû (À, Â) ÷èñëî êðèñòàëëîâ çàâèñèò îò
ïëîùàäè ÈÑ (SÈÑ) è âåëè÷èíû ∆. Ïðè îòñóòñòâèè
òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ D=Sêð/SÈÑ. Ïëîòíîñòü óïà-
êîâêè îïðåäåëÿåòñÿ ñîîòíîøåíèåì ïëîùàäåé êðèñ-
òàëëà è ÈÑ íåçàâèñèìî îò ÷èñëà êðèñòàëëîâ è íå-
çàâèñèìî îò èõ èíòåãðàöèè (÷èñëà âûâîäîâ). Èç ýòîãî
ñëåäóåò, ÷òî õàðàêòåðèñòèêà «ïëîòíîñòü óïàêîâêè»,
îïðåäåëÿåìàÿ êàê äîëÿ ïëîùàäè êîììóòàöèîííîé
ïëàòû, çàíèìàåìîé êðèñòàëëàìè ÈÑ, íå îòðàæàåò
èçìåíåíèÿ ïëîòíîñòè àêòèâíûõ ýëåìåíòîâ è, ñëå-
äîâàòåëüíî, ôóíêöèîíàëüíîé ïëîòíîñòè, íàáëþäàå-
ìîé ïðè ðîñòå èíòåãðàöèè ïðèìåíÿåìûõ â ÌÑÁ ÈÑ.
Âìåñòå ñ òåì ýôôåêòèâíîñòü êîíñòðóêöèè ìíî-
ãîêðèñòàëüíûõ ÌÑÁ ñëåäóåò îöåíèâàòü
èìåííî ôóíêöèîíàëüíîé ïëîòíîñòüþ. Óêàçàííûé ïî-
êàçàòåëü ìîæåò áûòü ïîëó÷åí êàê ÷àñòíîå îò äåëå-
íèÿ ïëîòíîñòè àêòèâíûõ ýëåìåíòîâ íà èõ ÷èñëî, íå-
îáõîäèìîå äëÿ âûïîëíåíèÿ îäíîé ôóíêöèè. Â òî
æå âðåìÿ õàðàêòåðèñòèêà, ÿâëÿþùàÿñÿ êîëè÷åñòâåí-
íîé ìåðîé ïëîòíîñòè àêòèâíûõ ýëåìåíòîâ â ÌÑÁ,
ìîæåò áûòü ïîëó÷åíà óìíîæåíèåì âåëè÷èíû D íà
÷èñëî âûâîäîâ ÈÑ (nâ):
D*=Dnâ. (8)
Ìîæíî ïîëàãàòü, ÷òî ðîñò ÷èñëà âûâîäîâ ÿâëÿ-
åòñÿ îòðàæåíèåì ðîñòà ÷èñëà àêòèâíûõ ýëåìåíòîâ â
ÈÑ (íà êàæäûé âûâîä ïðèõîäèòñÿ ñðåäíåñòàòèñòè-
÷åñêîå ÷èñëî ýëåìåíòîâ).
Äëÿ ñðàâíåíèÿ èíôîðìàòèâíîñòè õàðàêòåðèñòèê
«ïëîòíîñòü óïàêîâêè» (ïðèíÿòàÿ õàðàêòåðèñòèêà) è
«ïëîòíîñòü ýëåìåíòîâ íà êîììóòàöèîííîé ïëàòå»
ïîëó÷åíû (ïî ñïðàâî÷íûì äàííûì) çàâèñèìîñòè
ðàññìàòðèâàåìûõ âåëè÷èí îò êîëè÷åñòâåííîé ìåðû
èíòåãðàöèè ÈÑ � ÷èñëà âûâîäîâ (ðèñ. 2). Èç çà-
âèñèìîñòåé âèäåí ñóùåñòâåííûé ðîñò ïëîòíîñòè ýëå-
ìåíòîâ íà êîììóòàöèîííîé ïëàòå (à ñëåäîâàòåëüíî,
è ôóíêöèîíàëüíîé ïëîòíîñòè ÌÑÁ) ïðè ïðèìåíå-
íèè êðèñòàëëîâ áîëåå âûñîêîé èíòåãðàöèè. Ýòî ïî-
çâîëÿåò ñ÷èòàòü ïîêàçàòåëü «ïëîòíîñòü ýëåìåíòîâ»
áîëåå èíôîðìàòèâíûì ïî îòíîøåíèþ ê ñóùåñòâóþ-
ùåìó ïîêàçàòåëþ «ïëîòíîñòü óïàêîâêè».
Èñïîëüçóÿ ôîðìóëû (4) è (8) ïîëó÷èì:
D
nS n
nS A B
*
( )
.ð â=
+ + −
ê
ÈÑ 2 4 2∆ ∆ (9)
îïåðàòîð âûáîðà öåëî÷èñëåííîãî ðåøåíèÿ;
ðàçìåðû ïîñàäî÷íîãî ìåñòà (êîðïóñà) ÈÑ;
øàãè óñòàíîâêè ÈÑ â ñòðîêå (îñü X), â ñòîëáöå
(îñü Y).
ãäå Å �
lX, lY �
tX, tY �
∆
∆
t y l y
z
X
Y
z
tx
lx
Ðèñ. 1. Ãåîìåòðèÿ ïëàòû ÌÑÁ
Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòü ïëîòíîñòè óïàêîâêè (à) è
ïëîòíîñòè àêòèâíûõ ýëåìåíòîâ (á) ÌÑÁ ïëîùà-
äüþ 48×60 ìì îò ÷èñëà âûâîäîâ ÈÑ:
1 � øàðèêîâûå âûâîäû; 2 � ãèáêèå âûâîäû;
3 � ëåíòî÷íûé íîñèòåëü
16 32 48 nâ
16 32 48 nâ
D
0,6
0,4
0,2
D*áï
40
20
0
à)
á)
1
2
3
1
2
3
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1999, ¹ 5�6
9
ÏÐÎÅÊÒÈÐÎÂÀÍÈÅ. ÊÎÍÑÒÐÓÈÐÎÂÀÍÈÅ
Òî åñòü ôàêòîðàìè, îïðåäåëÿþùèìè ïëîòíîñòü ýëå-
ìåíòîâ ÈÑ â ìíîãîêðèñòàëüíûõ ÌÑÁ, à ñëåäîâà-
òåëüíî, è ôóíêöèîíàëüíóþ ïëîòíîñòü, ÿâëÿþòñÿ: ÷èñ-
ëî âûâîäîâ ÈÑ nâ, ïëîùàäü êðèñòàëëà Sêð, ïëîùàäü
ïîñàäî÷íîãî ìåñòà SÈÑ, âåëè÷èíà òåõíîëîãè÷åñêîãî
ïîëÿ ∆, ðàçìåðû ïîäëîæêè (À+Â).
Îïðåäåëèì âëèÿíèå êàæäîãî èç óêàçàííûõ ôàê-
òîðîâ íà ïëîòíîñòü ýëåìåíòîâ.
Âëèÿíèå øèðèíû òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ ∆ íà
èçìåíåíèå ïëîòíîñòè ýëåìåíòîâ ìîæíî îöåíèòü, èñ-
ñëåäóÿ çàâèñèìîñòü δD*/D* îò ∆, ãäå δD*=D*�D*áï
� ðàçíîñòü çíà÷åíèé ïëîòíîñòè ýëåìåíòîâ ÈÑ ïðè
ó÷åòå òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ (D*) è áåç ó÷åòà (D*áï).
Íà ðèñ. 3 ïðèâåäåíû çàâèñèìîñòè δD*/D* îò øè-
ðèíû òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ ïðè ðàçëè÷íûõ ðàçìå-
ðàõ ïîäëîæåê ìíîãîêðèñòàëüíûõ ÌÑÁ. Äàííûå ðèñ.3
ïîêàçûâàþò, ÷òî ïðè ðàçìåðàõ ïîäëîæåê 48×60 ìì è
100×100 ìì èçìåíåíèå ïëîòíîñòè ýëåìåíòîâ â ñâÿçè
ñ íàëè÷èåì òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ ñ øèðèíîé 1,5
ìì, ïðèíÿòîé â ïðîèçâîäñòâå êîììóòàöèîííûõ ïëàò,
íå ïðåâûøàåò 14 è 30%, ñîîòâåòñòâåííî.
Âëèÿíèå ôàêòîðà nâ, ïðîïîðöèîíàëüíîãî èíòåã-
ðàöèè êðèñòàëëîâ ÈÑ, ëó÷øå âñåãî îöåíèòü áåç ó÷å-
òà âëèÿíèÿ íà âåëè÷èíó D* òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ.
Òîãäà
D
nS n
nS
S
S
náï
ê
ÈÑ
ê
ÈÑ
* ð â ð
â .= = (10)
Ïîñêîëüêó äëÿ äàííîãî òèïà ÈÑ âåëè÷èíà
Sêð/SÈÑ ïîñòîÿííà (îïðåäåëÿåòñÿ êîíñòðóêòèâíûì
èñïîëíåíèåì ÈÑ), òî D*áï ëèíåéíî âîçðàñòàåò ïðè óâå-
ëè÷åíèè óðîâíÿ èíòåãðàöèè ÈÑ, îòîáðàæàåìîãî âåëè-
÷èíîé nâ, ÷òî è ïîäòâåðæäàåòñÿ äàííûìè ðèñ. 2, á.
Ïðè óñëîâèÿõ âûïîëíèìîñòè ôîðìóëû (10) äëÿ
ÈÑ ïîñòîÿííîãî óðîâíÿ èíòåãðàöèè (nâ � const)
D* îïðåäåëÿåòñÿ êîíñòðóêòèâíûì èñïîëíåíèåì ÈÑ,
ò. å. âåëè÷èíîé Sêð/SÈÑ, êîòîðàÿ, â ñîîòâåòñòâèè ñ
[2], ìîæåò ìåíÿòüñÿ â ïðåäåëàõ îò 0,02 äî 1.
***
Òàêèì îáðàçîì, ýôôåêòèâíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ ÈÑ
â ìíîãîêðèñòàëüíûõ ìèêðîñáîðêàõ öåëåñîîáðàçíî
îöåíèâàòü ïî ïîêàçàòåëþ ïëîòíîñòè ýëåìåíòîâ ÈÑ.
Ê ôàêòîðàì, îïðåäåëÿþùèì ïëîòíîñòü ýëåìåí-
òîâ ÈÑ â ìíîãîêðèñòàëüíûõ ìèêðîñáîðêàõ, â êîòî-
ðûõ ïðîâîäíèêè ðàñïîëàãàþòñÿ ïîä ïëîòíî ðàñïî-
ëîæåííûìè êðèñòàëëàìè ÈÑ, îòíîñÿòñÿ: êîýôôèöè-
åíò çàïîëíåíèÿ ïîñàäî÷íîãî ìåñòà ÈÑ (Sêð/SÈÑ),
÷èñëî âûâîäîâ ÈÑ, øèðèíà òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Îñíîâû ïðîåêòèðîâàíèÿ ìèêðîýëåêòðîííîé àïïàðà-
òóðû / Ïîä ðåä. Á. Ô. Âûñîöêîãî.� Ì. : Ñîâ. ðàäèî, 1977.
2. ßêîâëåâ Á. ß Ïëîòíîñòü óïàêîâêè ìíîãîêðèñòàëü-
íûõ ñõåì // Òåõíèêà ñðåäñòâ ñâÿçè. Ñåð. Ìèêðîýëåêò-
ðîííàÿ àïïàðàòóðà.�1983.� ¹ 1.� Ñ. 26�28.
3. Êîíñòðóèðîâàíèå ðàäèîýëåêòðîííûõ ñðåäñòâ /Ïîä
ðåä. À. Ñ. Íàçàðîâà.� Ì. : ÌÀÈ, 1996.
40
20
10
0
0,5 1,0 2,0
∆,ìì
Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü èçìåíåíèÿ ïëîòíîñòè
ýëåìåíòîâ ÈÑ â ÌÑÁ îò øèðèíû òåõíîëî-
ãè÷åñêîãî ïîëÿ ïðè ðàçëè÷íûõ ðàçìåðàõ
ïîäëîæåê
48×60 ìì
100×100 ìì
(δ
D
*/
D
*)
×
1
00
%
2
Æóðíàë èçäàåòñÿ ñ 1996 ã. Ïîäïèñíîé èíäåêñ 40633.
Ïî÷òîâûé àäðåñ ðåäàêöèè: Óêðàèíà, 252033, Êèåâ-33, óë. Âëàäèìèðñêàÿ, 101.
Òåë.: (044) 227-22-62, 227-13-56, 227-52-81. Ôàêñ: (044) 227-36-68.
http: www.vdmais.kiev.ua
ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ
ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ È ÑÈÑÒÅÌÛ
|