Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках

Предложено оценивать эффективность проектирования микросборок по показателю плотности элементов ИС. Определены факторы, влияющие на этот показатель. It has been proposed to evoluate efficiency of microassembly design by index of element dencity. The influencing factors on this index have been determ...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:1999
Main Authors: Коробов, А.И., Плеханов, А.Е.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1999
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122730
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках / А.И. Коробов, А.Е. Плеханов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 7-9. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122730
record_format dspace
spelling Коробов, А.И.
Плеханов, А.Е.
2017-07-19T12:35:15Z
2017-07-19T12:35:15Z
1999
Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках / А.И. Коробов, А.Е. Плеханов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 7-9. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122730
Проектирование. Конструирование
Предложено оценивать эффективность проектирования микросборок по показателю плотности элементов ИС. Определены факторы, влияющие на этот показатель.
It has been proposed to evoluate efficiency of microassembly design by index of element dencity. The influencing factors on this index have been determinated.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках
Показники ефективності використування елементної бази у багатокристальних мікрозбірках
The efficiency indexes of using component base in multichip assembies
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках
spellingShingle Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках
Коробов, А.И.
Плеханов, А.Е.
title_short Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках
title_full Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках
title_fullStr Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках
title_full_unstemmed Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках
title_sort показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках
author Коробов, А.И.
Плеханов, А.Е.
author_facet Коробов, А.И.
Плеханов, А.Е.
publishDate 1999
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Показники ефективності використування елементної бази у багатокристальних мікрозбірках
The efficiency indexes of using component base in multichip assembies
description Предложено оценивать эффективность проектирования микросборок по показателю плотности элементов ИС. Определены факторы, влияющие на этот показатель. It has been proposed to evoluate efficiency of microassembly design by index of element dencity. The influencing factors on this index have been determinated.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122730
citation_txt Показатели эффективности использования элементной базы в многокристальных микросборках / А.И. Коробов, А.Е. Плеханов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 7-9. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT korobovai pokazateliéffektivnostiispolʹzovaniâélementnoibazyvmnogokristalʹnyhmikrosborkah
AT plehanovae pokazateliéffektivnostiispolʹzovaniâélementnoibazyvmnogokristalʹnyhmikrosborkah
AT korobovai pokaznikiefektivnostívikoristuvannâelementnoíbaziubagatokristalʹnihmíkrozbírkah
AT plehanovae pokaznikiefektivnostívikoristuvannâelementnoíbaziubagatokristalʹnihmíkrozbírkah
AT korobovai theefficiencyindexesofusingcomponentbaseinmultichipassembies
AT plehanovae theefficiencyindexesofusingcomponentbaseinmultichipassembies
first_indexed 2025-11-26T15:19:52Z
last_indexed 2025-11-26T15:19:52Z
_version_ 1850626195309199360
fulltext Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1999, ¹ 5�6 7 ÏÐÎÅÊÒÈÐÎÂÀÍÈÅ. ÊÎÍÑÒÐÓÈÐÎÂÀÍÈÅ Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 13.05�22.09 1999 ã. Îïïîíåíò ê. ô.-ì. í. À. Â. ÀÍÄÐÈßÍΠÏðåäëîæåíî îöåíèâàòü ýôôåêòèâ- íîñòü ïðîåêòèðîâàíèÿ ìèêðîñáîðîê ïî ïîêàçàòåëþ ïëîòíîñòè ýëåìåíòîâ ÈÑ. Îïðåäåëåíû ôàêòîðû, âëèÿþùèå íà ýòîò ïîêàçàòåëü. It has been proposed to evoluate efficiency of microassembly design by index of element dencity. The influencing factors on this index have been determinated. Ýôôåêòèâíîñòü êîíñòðóêöèè ìíîãîêðèñòàëüíûõ ìèêðîñáîðîê (ÌÑÁ) îáåñïå÷èëà øèðîêîå èõ ïðèìå- íåíèå [1]. Ýôôåêò ýòîé êîíñòðóêöèè îáóñëîâëåí, ñ îäíîé ñòîðîíû, òåíäåíöèåé ðàçâèòèÿ ïîëóïðîâîäíè- êîâûõ ÈÑ ê ðîñòó èíòåãðàöèè (ÈÑ, ÁÈÑ, ÑÁÈÑ, ÓÁÈÑ), ñ äðóãîé ñòîðîíû, íåïðåðûâíûì ñîâåðøåí- ñòâîâàíèåì êîììóòàöèîííûõ ïëàò â íàïðàâëåíèè óìåíüøåíèÿ øàãà ðàñïîëîæåíèÿ ïðîâîäíèêîâ (δ1+δ2, ãäå δ1 è δ2 � ñîîòâåòñòâåííî øèðèíà ïðîâîäíèêà è ðàññòîÿíèå ìåæäó ïðîâîäíèêàìè) � îò 600 ìêì äëÿ ïå÷àòíîé ïëàòû 1-ãî êëàññà òî÷íîñòè äî 25 ìêì äëÿ êîììóòàöèîííûõ ïëàò ìíîãîêðèñòàëüíûõ ìîäóëåé. Ïîñêîëüêó ðàçâèòèå ÈÑ è êîììóòàöèîííûõ ïëàò íàïðàâëåíî íà îáåñïå÷åíèå ðîñòà èíòåãðàöèè èçäå- ëèé ÐÝÑ, â ÷àñòíîñòè ÌÑÁ, òî àêòóàëüíà çàäà÷à âûÿâëåíèÿ ôàêòîðîâ, îïðåäåëÿþùèõ ýôôåêòèâíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ ÈÑ â ìíîãîêðèñòàëüíûõ ÌÑÁ. Ïîêàçàòåëÿìè ýôôåêòèâíîñòè ïðîåêòèðîâàíèÿ ÌÑÁ ïðèíÿòî ñ÷èòàòü âåëè÷èíó êîýôôèöè- åíòà äåçèíòåãðàöèè [2] K S n Si i i k äåç = = ∑ï êð , 1 (1) Âåëè÷èíà, îáðàòíàÿ êîýôôèöèåíòó äåçèíòåãðàöèè, õàðàêòåðèçóåò ïëîòíîñòü óïàêîâêè: D K n S Si i i k = = = ∑1 1 äåç êð ï . (2) Äëÿ âûÿâëåíèÿ ôàêòîðîâ, âëèÿþùèõ íà ýòîò ïî- êàçàòåëü, ðàññìîòðèì âîçìîæíûå âàðèàíòû ðàçìåùå- íèÿ ïðîâîäíèêîâ íà êîììóòàöèîííîé ïëàòå. Óñòàíîâêà ÈÑ íà êîììóòàöèîííóþ ïëàòó ìîæåò áûòü ðåàëèçîâàíà ïàéêîé è ïðèêëåéêîé.  ñëó÷àå ïàéêè ïðîâîäíèêè íå ìîãóò ðàçìåùàòüñÿ ïîä êðèñ- òàëëàìè ÈÑ.  ýòîì ñëó÷àå Sï= i k = ∑ 1 niSiêð+Sïð+Sòï; (3) Sòï=2∆(À+Â)�4∆2,  ñëó÷àå ïðèêëåéêè ïðîâîäíèêè êîììóòàöèè ïðî- õîäÿò ïîä êðèñòàëëàìè è âîçìîæíû ñëåäóþùèå êðàé- íèå âàðèàíòû èñïîëüçîâàíèÿ ïîëåçíîé ïëîùàäè ïîä- ëîæêè: � ïëîùàäü ïîäëîæêè çàíÿòà â îñíîâíîì ïðî- âîäíèêàìè: Sï=Sïð+Sòï; � ïëîùàäü ïîäëîæêè çàíÿòà â îñíîâíîì êðèñ- òàëëàìè ÈÑ: Sï=ΣniSÈÑi+Sòï. Ïîñëåäíèé âàðèàíò îáåñïå÷èâàåò ìàêñèìàëüíóþ ïëîòíîñòü óïàêîâêè, ïîýòîìó âëèÿíèå ôàêòîðîâ íà ýòîò ïîêàçàòåëü öåëåñîîáðàçíî óñòàíîâèòü èìåííî äëÿ ïîñëåäíåãî âàðèàíòà. Äëÿ ïðîñòîòû ðàññóæäåíèÿ ïðèìåì, ÷òî âñå ÈÑ îäíîòèïíû. Òîãäà ïëîùàäü, çàíèìàåìàÿ ÈÑ, îïðåäåëÿåòñÿ êàê nSÈÑ. Ïëîòíîñòü óïàêîâêè äëÿ ðàññìàòðèâàåìîãî ñëó÷àÿ ðàâíà D nS nS A B = + + êð ÈÑ 2∆( ) , (4) ò. å. D=f [n, Sêð, SÈÑ, ∆, (À+Â)], ãäå n � ÷èñëî êðèñ- òàëëîâ. Óñòàíîâèì âëèÿíèå êàæäîãî èç ôàêòîðîâ íà âå- ëè÷èíó D. Ïðè ýòîì îòìåòèì, ÷òî â ðàññìàòðèâàå- ìîì âàðèàíòå ÷èñëî êðèñòàëëîâ îïðåäåëÿåòñÿ ïëî- ùàäüþ ïîäëîæêè è ïëîùàäüþ ïîñàäî÷íîãî ìåñòà. Ïóñòü nêð � ÷èñëî îäíîòèïíûõ êðèñòàëëîâ, ðàç- ìåùàþùèõñÿ íà ïëàòå â ïðàâèëüíîì ïîðÿäêå ïî ñòðî- êàì è ñòîëáöàì (ðèñ. 1): nêð=nX×nY, Ä. ò. í. À. È. ÊÎÐÎÁÎÂ, À. Å. ÏËÅÕÀÍΠÐîññèÿ, ã. Ìîñêâà, Ãîñ. àâèàöèîííûé èí-ò (ÌÀÈ) ÏÎÊÀÇÀÒÅËÈ ÝÔÔÅÊÒÈÂÍÎÑÒÈ ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÈß ÝËÅÌÅÍÒÍÎÉ ÁÀÇÛ Â ÌÍÎÃÎÊÐÈÑÒÀËÜÍÛÕ ÌÈÊÐÎÑÁÎÐÊÀÕ ãäå Sï � ni � k � Siêð � ïëîùàäü êîììóòàöèîííîé ïëàòû; ÷èñëî êðèñòàëëîâ i-ãî òèïà; ÷èñëî òèïîâ êðèñòàëëîâ; ïëîùàäü êðèñòàëëà i-ãî òèïà. ãäå Sïð � Sòï � À è  � ∆ � ïëîùàäü, çàíèìàåìàÿ ïðîâîäíèêàìè êîììó- òàöèè; ïëîùàäü, çàíèìàåìàÿ òåõíîëîãè÷åñêèìè ïî- ëÿìè; äëèíà è øèðèíà ïîäëîæêè; øèðèíà òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ. ãäå nX � nY � ÷èñëî êðèñòàëëîâ, ðàçìåùåííûõ âäîëü ñòîðî- íû Õ ïëàòû; ÷èñëî êðèñòàëëîâ, ðàçìåùåííûõ âäîëü ñòîðî- íû Y ïëàòû. Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1999, ¹ 5�6 8 ÏÐÎÅÊÒÈÐÎÂÀÍÈÅ. ÊÎÍÑÒÐÓÈÐÎÂÀÍÈÅ Ïðè âûáðàííûõ ðàçìåðàõ ïëàòû X×Y ÷èñëî êðè- ñòàëëîâ âäîëü ñòîðîí nX è nY äëÿ îäíîñòîðîííåé óñòàíîâêè ìîæåò áûòü íàéäåíî ïî ôîðìóëàì n E X l t n E Y l t X X X Y Y Y = − −      + = − −      + 2 1 2 1 ∆ ∆ ; , (5) Øàã óñòàíîâêè ÈÑ ðåêîìåíäîâàíî ïðèíèìàòü êðàòíûì 2,5 ìì, ïðè ýòîì ìèíèìàëüíûé çàçîð ìåæ- äó êîðïóñàìè (z) íå äîëæåí áûòü ìåíüøå 1,5 ìì. ( îñîáûõ ñëó÷àÿõ øàã óñòàíîâêè ìîæåò áûòü êðà- òåí 1,25 èëè 0,625 ìì [3, ñ. 331�337].) Ïóñòü øàã óñòàíîâêè (tX, tY) áóäåò êðàòåí 2,5 ìì. Òîãäà îí áóäåò ðàññ÷èòûâàòüñÿ ñ ïîìîùüþ êîýôôèöè- åíòîâ êðàòíîñòè k l z k l z X X Y Y= + = + 2 5 2 5, ; , . (6) Ïîëó÷åííûå çíà÷åíèÿ kX, kY íóæíî îêðóãëèòü äî áîëü- øåãî öåëîãî ÷èñëà è óìíîæèòü íà 2,5. Òîãäà øàã óñòà- íîâêè âäîëü ñòîðîíû Õ è ñòîðîíû Y ñîñòàâèò, ñîîòâåò- ñòâåííî, tX=2,5kX; tY=2,5kY. (7) Îáùåå ÷èñëî êðèñòàëëîâ â ÌÑÁ ðàññìàòðèâàå- ìîãî âàðèàíòà ñîñòàâèò nêð=nX×nY è ìîæåò áûòü îïðåäåëåíî ïî ôîðìóëàì (5)�(7). Òàêèì îáðàçîì, äëÿ äàííûõ ðàçìåðîâ êîììóòàöè- îííîé ïëàòû (À, Â) ÷èñëî êðèñòàëëîâ çàâèñèò îò ïëîùàäè ÈÑ (SÈÑ) è âåëè÷èíû ∆. Ïðè îòñóòñòâèè òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ D=Sêð/SÈÑ. Ïëîòíîñòü óïà- êîâêè îïðåäåëÿåòñÿ ñîîòíîøåíèåì ïëîùàäåé êðèñ- òàëëà è ÈÑ íåçàâèñèìî îò ÷èñëà êðèñòàëëîâ è íå- çàâèñèìî îò èõ èíòåãðàöèè (÷èñëà âûâîäîâ). Èç ýòîãî ñëåäóåò, ÷òî õàðàêòåðèñòèêà «ïëîòíîñòü óïàêîâêè», îïðåäåëÿåìàÿ êàê äîëÿ ïëîùàäè êîììóòàöèîííîé ïëàòû, çàíèìàåìîé êðèñòàëëàìè ÈÑ, íå îòðàæàåò èçìåíåíèÿ ïëîòíîñòè àêòèâíûõ ýëåìåíòîâ è, ñëå- äîâàòåëüíî, ôóíêöèîíàëüíîé ïëîòíîñòè, íàáëþäàå- ìîé ïðè ðîñòå èíòåãðàöèè ïðèìåíÿåìûõ â ÌÑÁ ÈÑ. Âìåñòå ñ òåì ýôôåêòèâíîñòü êîíñòðóêöèè ìíî- ãîêðèñòàëüíûõ ÌÑÁ ñëåäóåò îöåíèâàòü èìåííî ôóíêöèîíàëüíîé ïëîòíîñòüþ. Óêàçàííûé ïî- êàçàòåëü ìîæåò áûòü ïîëó÷åí êàê ÷àñòíîå îò äåëå- íèÿ ïëîòíîñòè àêòèâíûõ ýëåìåíòîâ íà èõ ÷èñëî, íå- îáõîäèìîå äëÿ âûïîëíåíèÿ îäíîé ôóíêöèè.  òî æå âðåìÿ õàðàêòåðèñòèêà, ÿâëÿþùàÿñÿ êîëè÷åñòâåí- íîé ìåðîé ïëîòíîñòè àêòèâíûõ ýëåìåíòîâ â ÌÑÁ, ìîæåò áûòü ïîëó÷åíà óìíîæåíèåì âåëè÷èíû D íà ÷èñëî âûâîäîâ ÈÑ (nâ): D*=Dnâ. (8) Ìîæíî ïîëàãàòü, ÷òî ðîñò ÷èñëà âûâîäîâ ÿâëÿ- åòñÿ îòðàæåíèåì ðîñòà ÷èñëà àêòèâíûõ ýëåìåíòîâ â ÈÑ (íà êàæäûé âûâîä ïðèõîäèòñÿ ñðåäíåñòàòèñòè- ÷åñêîå ÷èñëî ýëåìåíòîâ). Äëÿ ñðàâíåíèÿ èíôîðìàòèâíîñòè õàðàêòåðèñòèê «ïëîòíîñòü óïàêîâêè» (ïðèíÿòàÿ õàðàêòåðèñòèêà) è «ïëîòíîñòü ýëåìåíòîâ íà êîììóòàöèîííîé ïëàòå» ïîëó÷åíû (ïî ñïðàâî÷íûì äàííûì) çàâèñèìîñòè ðàññìàòðèâàåìûõ âåëè÷èí îò êîëè÷åñòâåííîé ìåðû èíòåãðàöèè ÈÑ � ÷èñëà âûâîäîâ (ðèñ. 2). Èç çà- âèñèìîñòåé âèäåí ñóùåñòâåííûé ðîñò ïëîòíîñòè ýëå- ìåíòîâ íà êîììóòàöèîííîé ïëàòå (à ñëåäîâàòåëüíî, è ôóíêöèîíàëüíîé ïëîòíîñòè ÌÑÁ) ïðè ïðèìåíå- íèè êðèñòàëëîâ áîëåå âûñîêîé èíòåãðàöèè. Ýòî ïî- çâîëÿåò ñ÷èòàòü ïîêàçàòåëü «ïëîòíîñòü ýëåìåíòîâ» áîëåå èíôîðìàòèâíûì ïî îòíîøåíèþ ê ñóùåñòâóþ- ùåìó ïîêàçàòåëþ «ïëîòíîñòü óïàêîâêè». Èñïîëüçóÿ ôîðìóëû (4) è (8) ïîëó÷èì: D nS n nS A B * ( ) .ð â= + + − ê ÈÑ 2 4 2∆ ∆ (9) îïåðàòîð âûáîðà öåëî÷èñëåííîãî ðåøåíèÿ; ðàçìåðû ïîñàäî÷íîãî ìåñòà (êîðïóñà) ÈÑ; øàãè óñòàíîâêè ÈÑ â ñòðîêå (îñü X), â ñòîëáöå (îñü Y). ãäå Å � lX, lY � tX, tY � ∆ ∆ t y l y z X Y z tx lx Ðèñ. 1. Ãåîìåòðèÿ ïëàòû ÌÑÁ Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòü ïëîòíîñòè óïàêîâêè (à) è ïëîòíîñòè àêòèâíûõ ýëåìåíòîâ (á) ÌÑÁ ïëîùà- äüþ 48×60 ìì îò ÷èñëà âûâîäîâ ÈÑ: 1 � øàðèêîâûå âûâîäû; 2 � ãèáêèå âûâîäû; 3 � ëåíòî÷íûé íîñèòåëü 16 32 48 nâ 16 32 48 nâ D 0,6 0,4 0,2 D*áï 40 20 0 à) á) 1 2 3 1 2 3 Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1999, ¹ 5�6 9 ÏÐÎÅÊÒÈÐÎÂÀÍÈÅ. ÊÎÍÑÒÐÓÈÐÎÂÀÍÈÅ Òî åñòü ôàêòîðàìè, îïðåäåëÿþùèìè ïëîòíîñòü ýëå- ìåíòîâ ÈÑ â ìíîãîêðèñòàëüíûõ ÌÑÁ, à ñëåäîâà- òåëüíî, è ôóíêöèîíàëüíóþ ïëîòíîñòü, ÿâëÿþòñÿ: ÷èñ- ëî âûâîäîâ ÈÑ nâ, ïëîùàäü êðèñòàëëà Sêð, ïëîùàäü ïîñàäî÷íîãî ìåñòà SÈÑ, âåëè÷èíà òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ ∆, ðàçìåðû ïîäëîæêè (À+Â). Îïðåäåëèì âëèÿíèå êàæäîãî èç óêàçàííûõ ôàê- òîðîâ íà ïëîòíîñòü ýëåìåíòîâ. Âëèÿíèå øèðèíû òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ ∆ íà èçìåíåíèå ïëîòíîñòè ýëåìåíòîâ ìîæíî îöåíèòü, èñ- ñëåäóÿ çàâèñèìîñòü δD*/D* îò ∆, ãäå δD*=D*�D*áï � ðàçíîñòü çíà÷åíèé ïëîòíîñòè ýëåìåíòîâ ÈÑ ïðè ó÷åòå òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ (D*) è áåç ó÷åòà (D*áï). Íà ðèñ. 3 ïðèâåäåíû çàâèñèìîñòè δD*/D* îò øè- ðèíû òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ ïðè ðàçëè÷íûõ ðàçìå- ðàõ ïîäëîæåê ìíîãîêðèñòàëüíûõ ÌÑÁ. Äàííûå ðèñ.3 ïîêàçûâàþò, ÷òî ïðè ðàçìåðàõ ïîäëîæåê 48×60 ìì è 100×100 ìì èçìåíåíèå ïëîòíîñòè ýëåìåíòîâ â ñâÿçè ñ íàëè÷èåì òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ ñ øèðèíîé 1,5 ìì, ïðèíÿòîé â ïðîèçâîäñòâå êîììóòàöèîííûõ ïëàò, íå ïðåâûøàåò 14 è 30%, ñîîòâåòñòâåííî. Âëèÿíèå ôàêòîðà nâ, ïðîïîðöèîíàëüíîãî èíòåã- ðàöèè êðèñòàëëîâ ÈÑ, ëó÷øå âñåãî îöåíèòü áåç ó÷å- òà âëèÿíèÿ íà âåëè÷èíó D* òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ. Òîãäà D nS n nS S S náï ê ÈÑ ê ÈÑ * ð â ð â .= = (10) Ïîñêîëüêó äëÿ äàííîãî òèïà ÈÑ âåëè÷èíà Sêð/SÈÑ ïîñòîÿííà (îïðåäåëÿåòñÿ êîíñòðóêòèâíûì èñïîëíåíèåì ÈÑ), òî D*áï ëèíåéíî âîçðàñòàåò ïðè óâå- ëè÷åíèè óðîâíÿ èíòåãðàöèè ÈÑ, îòîáðàæàåìîãî âåëè- ÷èíîé nâ, ÷òî è ïîäòâåðæäàåòñÿ äàííûìè ðèñ. 2, á. Ïðè óñëîâèÿõ âûïîëíèìîñòè ôîðìóëû (10) äëÿ ÈÑ ïîñòîÿííîãî óðîâíÿ èíòåãðàöèè (nâ � const) D* îïðåäåëÿåòñÿ êîíñòðóêòèâíûì èñïîëíåíèåì ÈÑ, ò. å. âåëè÷èíîé Sêð/SÈÑ, êîòîðàÿ, â ñîîòâåòñòâèè ñ [2], ìîæåò ìåíÿòüñÿ â ïðåäåëàõ îò 0,02 äî 1. *** Òàêèì îáðàçîì, ýôôåêòèâíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ ÈÑ â ìíîãîêðèñòàëüíûõ ìèêðîñáîðêàõ öåëåñîîáðàçíî îöåíèâàòü ïî ïîêàçàòåëþ ïëîòíîñòè ýëåìåíòîâ ÈÑ. Ê ôàêòîðàì, îïðåäåëÿþùèì ïëîòíîñòü ýëåìåí- òîâ ÈÑ â ìíîãîêðèñòàëüíûõ ìèêðîñáîðêàõ, â êîòî- ðûõ ïðîâîäíèêè ðàñïîëàãàþòñÿ ïîä ïëîòíî ðàñïî- ëîæåííûìè êðèñòàëëàìè ÈÑ, îòíîñÿòñÿ: êîýôôèöè- åíò çàïîëíåíèÿ ïîñàäî÷íîãî ìåñòà ÈÑ (Sêð/SÈÑ), ÷èñëî âûâîäîâ ÈÑ, øèðèíà òåõíîëîãè÷åñêîãî ïîëÿ. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Îñíîâû ïðîåêòèðîâàíèÿ ìèêðîýëåêòðîííîé àïïàðà- òóðû / Ïîä ðåä. Á. Ô. Âûñîöêîãî.� Ì. : Ñîâ. ðàäèî, 1977. 2. ßêîâëåâ Á. ß Ïëîòíîñòü óïàêîâêè ìíîãîêðèñòàëü- íûõ ñõåì // Òåõíèêà ñðåäñòâ ñâÿçè. Ñåð. Ìèêðîýëåêò- ðîííàÿ àïïàðàòóðà.�1983.� ¹ 1.� Ñ. 26�28. 3. Êîíñòðóèðîâàíèå ðàäèîýëåêòðîííûõ ñðåäñòâ /Ïîä ðåä. À. Ñ. Íàçàðîâà.� Ì. : ÌÀÈ, 1996. 40 20 10 0 0,5 1,0 2,0 ∆,ìì Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü èçìåíåíèÿ ïëîòíîñòè ýëåìåíòîâ ÈÑ â ÌÑÁ îò øèðèíû òåõíîëî- ãè÷åñêîãî ïîëÿ ïðè ðàçëè÷íûõ ðàçìåðàõ ïîäëîæåê 48×60 ìì 100×100 ìì (δ D */ D *) × 1 00 % 2 Æóðíàë èçäàåòñÿ ñ 1996 ã. Ïîäïèñíîé èíäåêñ 40633. Ïî÷òîâûé àäðåñ ðåäàêöèè: Óêðàèíà, 252033, Êèåâ-33, óë. Âëàäèìèðñêàÿ, 101. Òåë.: (044) 227-22-62, 227-13-56, 227-52-81. Ôàêñ: (044) 227-36-68. http: www.vdmais.kiev.ua ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ È ÑÈÑÒÅÌÛ