Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин
Метод и оборудование для его реализации позволяют проводить контроль полупроводниковой пластины и отдельных ее участков. The method and equipment for its realization allow to carry out control of semiconductor wafer and individual its sites....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 1999 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122734 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин / Ю.Г. Добровольский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 22-24. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122734 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Добровольский, Ю.Г. 2017-07-19T12:42:05Z 2017-07-19T12:42:05Z 1999 Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин / Ю.Г. Добровольский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 22-24. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122734 Качество и надежность аппаратуры Метод и оборудование для его реализации позволяют проводить контроль полупроводниковой пластины и отдельных ее участков. The method and equipment for its realization allow to carry out control of semiconductor wafer and individual its sites. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин Використання ефекту Кірліан для контроля якості напівпровідникових пластин The use of Kirlian effect for control of semiconductor wafer Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин |
| spellingShingle |
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин Добровольский, Ю.Г. |
| title_short |
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин |
| title_full |
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин |
| title_fullStr |
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин |
| title_full_unstemmed |
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин |
| title_sort |
использование эффекта кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин |
| author |
Добровольский, Ю.Г. |
| author_facet |
Добровольский, Ю.Г. |
| publishDate |
1999 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Використання ефекту Кірліан для контроля якості напівпровідникових пластин The use of Kirlian effect for control of semiconductor wafer |
| description |
Метод и оборудование для его реализации позволяют проводить контроль полупроводниковой пластины и отдельных ее участков.
The method and equipment for its realization allow to carry out control of semiconductor wafer and individual its sites.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122734 |
| citation_txt |
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин / Ю.Г. Добровольский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 22-24. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT dobrovolʹskiiûg ispolʹzovanieéffektakirliandlâkontrolâkačestvapoluprovodnikovyhplastin AT dobrovolʹskiiûg vikoristannâefektukírlíandlâkontrolââkostínapívprovídnikovihplastin AT dobrovolʹskiiûg theuseofkirlianeffectforcontrolofsemiconductorwafer |
| first_indexed |
2025-12-07T19:41:12Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:41:12Z |
| _version_ |
1850879741944397824 |