Сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек
Применение сухого пленочного фоторезиста в качестве изоляции анодированных алюминиевых подложек ГИС обеспечивает ряд важных преимуществ.
Gespeichert in:
| Datum: | 1999 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122735 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек / А.В. Короткевич, В.А. Плешкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 25-27. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122735 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1227352025-02-09T22:08:06Z Сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек Сухий плівковий фоторезист як ізоляційний покрив алюмінієвих підкладинок The dry film photoresist as insulation coating of aluminium bases Короткевич, А.В. Плешкин, В.А. Технологические процессы Применение сухого пленочного фоторезиста в качестве изоляции анодированных алюминиевых подложек ГИС обеспечивает ряд важных преимуществ. The application of dry film photoresist as a insulation of GIC anodic coating aluminium bases provides number of important advantages. 1999 Article Сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек / А.В. Короткевич, В.А. Плешкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 25-27. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122735 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы Технологические процессы |
| spellingShingle |
Технологические процессы Технологические процессы Короткевич, А.В. Плешкин, В.А. Сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Применение сухого пленочного фоторезиста в качестве изоляции анодированных алюминиевых подложек ГИС обеспечивает ряд важных преимуществ. |
| format |
Article |
| author |
Короткевич, А.В. Плешкин, В.А. |
| author_facet |
Короткевич, А.В. Плешкин, В.А. |
| author_sort |
Короткевич, А.В. |
| title |
Сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек |
| title_short |
Сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек |
| title_full |
Сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек |
| title_fullStr |
Сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек |
| title_full_unstemmed |
Сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек |
| title_sort |
сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
1999 |
| topic_facet |
Технологические процессы |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122735 |
| citation_txt |
Сухой пленочный фоторезист как изоляционное покрытие алюминиевых подложек / А.В. Короткевич, В.А. Плешкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 25-27. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT korotkevičav suhoiplenočnyifotorezistkakizolâcionnoepokrytiealûminievyhpodložek AT pleškinva suhoiplenočnyifotorezistkakizolâcionnoepokrytiealûminievyhpodložek AT korotkevičav suhiiplívkoviifotorezistâkízolâcíiniipokrivalûmíníêvihpídkladinok AT pleškinva suhiiplívkoviifotorezistâkízolâcíiniipokrivalûmíníêvihpídkladinok AT korotkevičav thedryfilmphotoresistasinsulationcoatingofaluminiumbases AT pleškinva thedryfilmphotoresistasinsulationcoatingofaluminiumbases |
| first_indexed |
2025-12-01T07:25:41Z |
| last_indexed |
2025-12-01T07:25:41Z |
| _version_ |
1850289887249432576 |
| fulltext |
25
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1999, ¹ 5�6
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ
À. Â. ÊÎÐÎÒÊÅÂÈ×, Â. À. ÏËÅØÊÈÍ
Ðåñïóáëèêà Áåëàðóñü, ã. Ìèíñê, Áåëîðóññêèé ãîñ. óí-ò
èíôîðìàòèêè è ðàäèîýëåêòðîíèêè
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
28.08 1997ã.�30.11 1998 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. Â. Ñ. ÖÛÌÁÀËÞÊ
Ïðèìåíåíèå ñóõîãî ïëåíî÷íîãî ôîòîðå-
çèñòà â êà÷åñòâå èçîëÿöèè àíîäèðîâàí-
íûõ àëþìèíèåâûõ ïîäëîæåê ÃÈÑ îáåñ-
ïå÷èâàåò ðÿä âàæíûõ ïðåèìóùåñòâ.
The application of dry film photoresist as a insula-
tion of GIC anodic coating aluminium bases provi-
des number of important advantages.
Áëàãîäàðÿ âûñîêîé òåïëîïðîâîäíîñòè, ìåõàíè÷åñ-
êîé ïðî÷íîñòè è íèçêîé ñòîèìîñòè àëþìèíèåâûå
ïîäëîæêè øèðîêî èñïîëüçóþòñÿ â ìèêðîýëåêòðîí-
íîé àïïàðàòóðå [1�3].
Òåõíîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ èçãîòîâëåíèÿ àíîäèðî-
âàííûõ àëþìèíèåâûõ ïîäëîæåê, ïðåäíàçíà÷åííûõ
äëÿ çàìåíû òðàäèöèîííûõ ñèòàëëîâûõ èëè êåðàìè-
÷åñêèõ ïîäëîæåê, êàê ïðàâèëî, âêëþ÷àåò ñëåäóþùèå
îñíîâíûå îïåðàöèè:
� ïðåöèçèîííóþ îáðàáîòêó ïîâåðõíîñòè àëþ-
ìèíèÿ;
� ãëóáîêîå ïîðèñòîå àíîäèðîâàíèå;
� íàíåñåíèå ãðóíòóþùåãî ïîêðûòèÿ;
� ïîëèðîâêó èçîëÿöèîííîãî ïîêðûòèÿ.
Îäíàêî ïðè èçãîòîâëåíèè ìèêðîñõåì, èìåþùèõ
íåñòàíäàðòíûå òåõíè÷åñêèå òðåáîâàíèÿ, âîçíèêàåò
ðÿä ïðîáëåì:
� íåðàâíîìåðíîñòü íàíåñåíèÿ ôîòîðåçèñòà íà
ïîâåðõíîñòü � ïðè èñïîëüçîâàíèè ïîäëîæåê ñëîæ-
íîé ôîðìû è íàëè÷èè â ïîäëîæêå îòâåðñòèé, ïàçîâ
è âûåìîê äëÿ ïîñàäêè íàâåñíûõ ýëåìåíòîâ;
� ñëîæíîñòü ïîëó÷åíèÿ ðèñóíêà â èçîëÿöèîí-
íîì ïîêðûòèè � ïðè èñïîëüçîâàíèè îñíîâàíèÿ ïîä-
ëîæêè â êà÷åñòâå øèíû �çåìëè�, ôîðìèðîâàíèè êîí-
òàêòíûõ ïåðåõîäîâ ê ïîäëîæêå è çíàêîâ ñîâìåùåíèÿ;
� íåâîçìîæíîñòü ïîëó÷åíèÿ òîëñòûõ (ñâû-
øå 100 ìêì) àíîäíûõ îêñèäíûõ ïëåíîê � ïðè èñ-
ïîëüçîâàíèè ñïåöèàëüíûõ ñïëàâîâ àëþìèíèÿ (íà-
ïðèìåð, 1201 èëè Â95), ïðèìåíÿåìûõ â âîåííîé è
êîñìè÷åñêîé àïïàðàòóðå;
� íåóäîâëåòâîðèòåëüíûå ýëåêòðîèçîëÿöèîííûå
ñâîéñòâà (ñîïðîòèâëåíèå èçîëÿöèè äî 1010 Îì è
íàïðÿæåíèå ïðîáîÿ äî 1 êÂ) � ïðè èçãîòîâëåíèè
âûñîêîâîëüòíûõ èñòî÷íèêîâ ïèòàíèÿ, ñõåì ÑÂ× è
ðÿäà äðóãèõ ïðèìåíåíèé.
Äëÿ ðåøåíèÿ ïåðå÷èñëåííûõ ïðîáëåì ïðåäëàãà-
åòñÿ èñïîëüçîâàòü â êà÷åñòâå äèýëåêòðè÷åñêîãî ïî-
êðûòèÿ àëþìèíèåâûõ àíîäèðîâàííûõ ïîäëîæåê ñëîé
ÑÓÕÎÉ ÏËÅÍÎ×ÍÛÉ ÔÎÒÎÐÅÇÈÑÒ
ÊÀÊ ÈÇÎËßÖÈÎÍÍÎÅ ÏÎÊÐÛÒÈÅ
ÀËÞÌÈÍÈÅÂÛÕ ÏÎÄËÎÆÅÊ
ñóõîãî ïëåíî÷íîãî ôîòîðåçèñòà (ÑÏÔ) [4]. ( èñ-
ñëåäîâàíèÿõ èñïîëüçîâàëè ñóõîé ïëåíî÷íûé ôîòî-
ðåçèñò ìàðêè ÑÏÔ-ÂÙ-50 [5]. Âîçìîæíî èñïîëüçî-
âàíèå è äðóãèõ ìàðîê � ñâîéñòâà ïîëó÷àåìûõ ïî-
êðûòèé áóäóò àíàëîãè÷íûìè, íåçíà÷èòåëüíî ðàçëè-
÷àòüñÿ áóäóò òîëüêî ðåæèìû òåðìîîáðàáîòêè.)
Èññëåäîâàëèñü çàâèñèìîñòü êà÷åñòâà ïîëó÷àåìî-
ãî ñ èñïîëüçîâàíèåì ÑÏÔ äèýëåêòðè÷åñêîãî ïî-
êðûòèÿ îò ðåæèìîâ òåðìîîáðàáîòêè ÑÏÔ, à òàêæå
îò ìàòåðèàëà è øåðîõîâàòîñòè ïîâåðõíîñòè, íà êîòî-
ðóþ íàíîñÿò ÑÏÔ; èçîëÿöèîííûå ñâîéñòâà ÑÏÔ;
àäãåçèÿ òîíêîïëåíî÷íûõ ýëåìåíòîâ ê ÑÏÔ.
Äëÿ èññëåäîâàíèÿ çàâèñèìîñòè êà÷åñòâà äèýëåê-
òðè÷åñêîãî ïîêðûòèÿ îò ðåæèìîâ òåðìîîáðàáîò-
êè èñïîëüçîâàëè ñèòàëëîâûå ïîäëîæêè, èìåþùèå øå-
ðîõîâàòîñòü ïîâåðõíîñòè (Ra) ìåíåå 0,01 ìêì. Âðå-
ìÿ è òåìïåðàòóðó (t) òåðìîîáðàáîòêè âàðüèðîâàëè.
Èçìåðåíèå øåðîõîâàòîñòè îñóùåñòâëÿëè íà ïðîôè-
ëîìåòðå ìîäåëè 296.
Òåðìîîáðàáîòêó ïðîâîäèëè ñòóïåí÷àòî, ñ èíòåðâà-
ëîì â 50°Ñ, íà÷èíàÿ ñî 100°Ñ. Êàê âèäíî èç ðèñ. 1,
äî òåìïåðàòóðû 200°Ñ øåðîõîâàòîñòü ïîâåðõíîñòè
íå çàâèñèò îò âðåìåíè è òåìïåðàòóðû îáðàáîòêè.
Ra, ìêì
0,07
0,06
0,05
0,04
0,03
0,02
100 150 200 250 t,°C
Ðèñ. 1. Çàâèñèìîñòü èçìåíåíèÿ øåðîõîâàòîñòè ïîâåðõ-
íîñòè ïîäëîæêè îò êîíå÷íîé òåìïåðàòóðû òåðìîîáðàáîò-
êè ïðè âðåìåíè îáðàáîòêè 30 ìèí (1) è 60 ìèí (2)
2
1
4
26
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1999, ¹ 5�6
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ
Ïðè äàëüíåéøåì óâåëè÷åíèè òåìïåðàòóðû êà÷åñòâî
ïîâåðõíîñòè óõóäøàåòñÿ. Ýòî îáúÿñíÿåòñÿ òåì, ÷òî
ïðè òåìïåðàòóðàõ ñâûøå 200°Ñ íà÷èíàåòñÿ ïðîöåññ
ïåðåñòðîéêè ìîëåêóëÿðíîé ñòðóêòóðû ôîòîðåçèñòà,
õàðàêòåðèçóþùèéñÿ, ñ îäíîé ñòîðîíû, ðàñïàäîì âû-
ñîêîìîëåêóëÿðíûõ ñîåäèíåíèé, à ñ äðóãîé � îáðà-
çîâàíèåì íîâûõ ìåæìîëåêóëÿðíûõ ñâÿçåé. Êðàò-
êîâðåìåííàÿ (15�20 ìèí) âûäåðæêà ïîäëîæåê ïðè
òåìïåðàòóðå 250°Ñ îáåñïå÷èâàåò óâåëè÷åíèå õèìè-
÷åñêîé ñòîéêîñòè ôîòîðåçèñòà ê ðàñòâîðàì êèñëîò,
ùåëî÷åé è îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâîðèòåëåé, à òàêæå ïî-
âûøåíèå òåðìè÷åñêîé óñòîé÷èâîñòè ïîäëîæåê. Âû-
äåðæêà ïîäëîæåê áîëåå 60 ìèí ïðèâîäèò ê äåñòðóê-
öèè ôîòîðåçèñòà è, âñëåäñòâèå ýòîãî, ê çíà÷èòåëüíî-
ìó óõóäøåíèþ êà÷åñòâà ïîâåðõíîñòè. Ïðè òåìïåðà-
òóðàõ ñâûøå 300°Ñ ïðîèñõîäèò âûãîðàíèå è îáóã-
ëèâàíèå ÑÏÔ. Äîïóñòèìûé òåìïåðàòóðíî-âðåìåí-
íîé ðåæèì îáðàáîòêè ÑÏÔ ïðåäñòàâëåí íà ðèñ. 2.
 ðåçóëüòàòå äëÿ èññëåäóåìûõ ïîäëîæåê áûë
óñòàíîâëåí îïòèìàëüíûé ðåæèì òåðìîîáðàáîòêè
(âûäåðæêà ïðè 100°Ñ � 1 ÷, ïðè 150°Ñ � 1 ÷, ïðè
200°Ñ � 1 ÷, ïðè 250°Ñ � 20 ìèí).
Äëÿ èññëåäîâàíèÿ ñãëàæèâàþùåé ñïîñîáíîñòè
ñóõîãî ïëåíî÷íîãî ôîòîðåçèñòà èñïîëüçîâàëè àëþ-
ìèíèåâûå (àíîäèðîâàííûå è íåàíîäèðîâàííûå) ïîä-
ëîæêè, èìåþùèå øåðîõîâàòîñòü îò 0,05 äî 0,5 ìêì.
Ïðåäâàðèòåëüíàÿ îáðàáîòêà àëþìèíèåâûõ ïîäëîæåê
ïåðåä íàíåñåíèåì ÑÏÔ âêëþ÷àëà ñëåäóþùèå òåõ-
íîëîãè÷åñêèå îïåðàöèè: õèìè÷åñêîå îáåçæèðèâàíèå,
òåðìîðèõòîâêó, ìåõàíè÷åñêóþ ïîëèðîâêó ðàáî÷åé
ïîâåðõíîñòè ïîäëîæåê ñ èñïîëüçîâàíèåì àëìàçíûõ
ïàñò è ïîðèñòîå àíîäèðîâàíèå íà ãëóáèíó 15�
20 ìêì â ãàëüâàíîñòàòè÷åñêîì ðåæèìå ïðè ïëîòíîñ-
òè òîêà 15�20 ìÀ/ñì2 â ýëåêòðîëèòå íà îñíîâå
ùàâåëåâîé êèñëîòû. Çàòåì íà ïîäëîæêè íàêàòûâà-
ëè ñóõîé ïëåíî÷íûé ôîòîðåçèñò, ïðîâîäèëè åãî òåð-
ìîîáðàáîòêó, ïîñëå ÷åãî èçìåðÿëè øåðîõîâàòîñòü
ïîëó÷àåìîãî ïîêðûòèÿ.
Ðåçóëüòàòû, ïðåäñòàâëåííûå íà ðèñ. 3, ñâèäåòåëü-
ñòâóþò î òîì, ÷òî ïîñëå íàíåñåíèÿ ÑÏÔ è åãî òåð-
ìîîáðàáîòêè ïðîèñõîäèò çíà÷èòåëüíîå ñãëàæèâàíèå
ðåëüåôà ïîâåðõíîñòè ïîäëîæåê. Ïðè ýòîì ëó÷øå
ñãëàæèâàåòñÿ ðåëüåô ïîâåðõíîñòè àíîäèðîâàííûõ
ïîäëîæåê � ïî ñðàâíåíèþ ñ íåàíîäèðîâàííûìè.
Êðîìå òîãî, íàëè÷èå àíîäíîãî îêñèäà óëó÷øàåò
àäãåçèþ ÑÏÔ ê ïîâåðõíîñòè ïîäëîæêè. Ýòî îáóñ-
ëîâëåíî òåì, ÷òî àíîäíûé îêñèä èìååò ðåãóëÿðíóþ
ïîðèñòóþ ñòðóêòóðó: ïðè íàíåñåíèè è ïîñëåäóþùåé
òåðìîîáðàáîòêå ÑÏÔ çà ñ÷åò áîëüøåãî óäåëüíîãî
äàâëåíèÿ ïðîíèêàåò â ïîðû ÀÎÏ, ïðè÷åì â ìåñòàõ
âûñòóïîâ îí ïðîíèêàåò íà áî′ëüøóþ ãëóáèíó, ÷åì â
ìåñòàõ âïàäèí. Ïðè ýòîì óâåëè÷èâàåòñÿ ïëîùàäü
ñöåïëåíèÿ ïîäëîæêè è ÑÏÔ, âñëåäñòâèå ÷åãî óëó÷-
øàåòñÿ ñãëàæèâàíèå ðåëüåôà ïîâåðõíîñòè è óâåëè-
÷èâàåòñÿ àäãåçèÿ ÑÏÔ ê àíîäèðîâàííîé ïîâåðõíîñ-
òè àëþìèíèÿ. Ïðè íàíåñåíèè äâîéíîãî ñëîÿ ÑÏÔ
ïðîèñõîäèò äàëüíåéøåå óëó÷øåíèå êà÷åñòâà ïîâåð-
õíîñòè (êðèâàÿ 3 íà ðèñ. 3).
 ðàáîòå áûëè ïðîâåäåíû ñðàâíèòåëüíûå èññëå-
äîâàíèÿ ýëåêòðîèçîëÿöèîííûõ ñâîéñòâ äèýëåêòðè-
÷åñêèõ ïîêðûòèé íà àëþìèíèåâûõ ïîäëîæêàõ, ôîð-
ìèðóåìûõ ïî òðàäèöèîííîé òåõíîëîãèè è ñ èñïîëü-
çîâàíèåì ÑÏÔ. Êîíòàêòíûå ïëîùàäêè ê ïîäëîæêå
ñîçäàâàëèñü âàêóóìíûì íàïûëåíèåì ïëåíêè àëþìè-
íèÿ ñ ïîñëåäóþùèì òðàâëåíèåì. Ñîïðîòèâëåíèå èçî-
ëÿöèè èçìåðÿëè òåðàîììåòðîì Å6-13À, à åìêîñòíûå
ïàðàìåòðû (Ñóä è tgδ) � èçìåðèòåëåì L, C, R öèô-
ðîâûì Å7-12. Ðåçóëüòàòû ïðåäñòàâëåíû â òàáëèöå,
èç êîòîðîé âèäíî, ÷òî ïîäëîæêè, èçãîòîâëåííûå ñ
èñïîëüçîâàíèåì ÑÏÔ, ïî ñâîèì ýëåêòðîèçîëÿöèîí-
íûì ñâîéñòâàì çíà÷èòåëüíî ïðåâîñõîäÿò ïîäëîæêè,
èçãîòîâëåííûå ïî òðàäèöèîííîé òåõíîëîãèè: ñîïðî-
òèâëåíèå èçîëÿöèè ó íèõ âûøå íà 1�2 ïîðÿäêà, à
ïðîáèâíîå íàïðÿæåíèå � â 3�5 ðàç.
Ðèñ. 3. Âëèÿíèå øåðîõîâàòîñòè àëþìèíèåâûõ îñíîâà-
íèé íà øåðîõîâàòîñòü ïîäëîæêè ñ ÑÏÔ:
1 � äëÿ íåàíîäèðîâàííûõ ïîäëîæåê; 2 � äëÿ àíîäèðîâàí-
íûõ ïîäëîæåê; 3 � äëÿ äâîéíîãî ñëîÿ ÑÏÔ
Ra ÑÏÔ,
ìêì
0,25
0,20
0,15
0,10
0,05
0 0,1 0,2 0,3 Raîñí, ìêì
2
3
1
ìèí
120
90
60
30
0
100 150 200 °C
Ðèñ. 2. Òåìïåðàòóðíî-âðåìåííîé ðåæèì îáðàáîòêè ÑÏÔ
27
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 1999, ¹ 5�6
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ
Àëþìèíèåâûå ïîäëîæêè ñ ñóõèì ïëåíî÷íûì
ôîòîðåçèñòîì â êà÷åñòâå èçîëÿöèîííîãî ïîêðû-
òèÿ áûëè èñïîëüçîâàíû äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ðåçèñ-
òèâíî-êîììóòàöèîííûõ ïëàò. Øåðîõîâàòîñòü ïî-
âåðõíîñòè ïîäëîæåê ñîñòàâëÿëà 0,025 ìêì. Ôîð-
ìèðîâàíèå ýëåìåíòîâ ðåçèñòèâíî-êîììóòàöèîííîé
ïëàòû îñóùåñòâëÿëè âàêóóìíûì íàïûëåíèåì, ôîòî-
ëèòîãðàôèåé è òðàâëåíèåì. Ïîëó÷åííûå ðåçèñòîðû
(ρ=500 Îì/ ) èìåëè ðàçáðîñ çíà÷åíèé óäåëüíîãî
ñîïðîòèâëåíèÿ ïî ïîäëîæêå â ïðåäåëàõ 5%. Àäãå-
çèÿ òîíêîïëåíî÷íûõ ýëåìåíòîâ ñîñòàâëÿëà 90 ã ïðè
ðàçìåðàõ êîíòàêòíîé ïëîùàäêè 200×200 ìêì.
Òàêèì îáðàçîì, ðàçðàáîòàí òåõíîëîãè÷åñêèé ïðî-
öåññ èçãîòîâëåíèÿ àëþìèíèåâûõ ïîäëîæåê, êîòîðûé
â ïîëíîé ìåðå îòâå÷àåò òðåáîâàíèÿì òîíêîïëåíî÷-
íîé òåõíîëîãèè, õàðàêòåðèçóåòñÿ âûñîêîé òåõíîëî-
ãè÷íîñòüþ, íàäåæíîñòüþ è îáåñïå÷èâàåò âûñîêèå
ýëåêòðîèçîëÿöèîííûå ñâîéñòâà äèýëåêòðè÷åñêèõ
ïîêðûòèé.
Ïðèìåíåíèå ÑÏÔ â êà÷åñòâå èçîëÿöèîííîãî ïî-
êðûòèÿ àëþìèíèåâûõ ïîäëîæåê îáåñïå÷èâàåò èì ðÿä
ïðåèìóùåñòâ ïåðåä òðàäèöèîííî èçãîòàâëèâàåìûìè:
� ïðè ïðîâåäåíèè ôîòîëèòîãðàôèè íà ïîäëîæ-
êàõ ñëîæíîé ôîðìû ÑÏÔ çàêðûâàåò âñå îòâåðñòèÿ,
ïàçû è äðóãèå íåðîâíîñòè ïîâåðõíîñòè, òåì ñàìûì
îáåñïå÷èâàÿ ðàâíîìåðíîñòü íàíåñåíèÿ ôîòîðåçèñòà
íà íåñïëîøíóþ ïîâåðõíîñòü. Ïîñëå èçãîòîâëåíèÿ
ìèêðîñõåìû ÑÏÔ, íàõîäÿùèéñÿ íàä îòâåðñòèÿìè,
ïàçàìè è äðóãèìè ïóñòîòàìè, ëåãêî óäàëÿåòñÿ ìåõà-
íè÷åñêèì ïóòåì;
� ñ ïîìîùüþ îäíîé îïåðàöèè ôîòîëèòîãðàôèè
ïî ñëîþ ÑÏÔ îáåñïå÷èâàåòñÿ ôîðìèðîâàíèå âñòðî-
åííûõ â èçîëÿöèîííîå ïîêðûòèå çíàêîâ ñîâìåùå-
íèÿ è òîêîïðîâîäÿùèõ ïåðåõîäîâ ê àëþìèíèåâîé
ïîäëîæêå. Òåì ñàìûì óñòðàíÿþòñÿ ïðîáëåìû ñîâ-
Ýëåêòðîèçîëÿöèîííûå ñâîéñòâà àëþìèíèåâûõ ïîäëîæåê ñ ðàçëè÷íûìè òèïàìè äèýëåêòðè÷åñêîãî
ïîêðûòèÿ
Òèï
èçîëÿöèîííîãî
ïîêðûòèÿ
Íàïðÿæåíèå
ïðîáîÿ
Ñîïðîòèâëå-
íèå èçîëÿ-
öèè, Îì
Óäåëüíàÿ åìêîñòü
äèýëåêòðè÷åñêîãî
ïîêðûòèÿ, ïÔ/ìì2
tgδ
Øåðîõîâàòîñòü
ïîâåðõíîñòè (Ra),
ìêì
Àíîäíûé îêñèä
(50 ìêì) 200−300 Â 107−108 1,22−1,27 0,02−0,10 0,15
Àíîäíûé îêñèä
+ïîëèèìèä
+ïîëèðîâêà
äî 1 ê 1010 1,20−1,25 0,005−0,01 0,03
Àíîäíûé îêñèä
+ÑÏÔ 3 êâ >1012 0,75−0,80 0,002−0,005 0,03
Àíîäíûé îêñèä+
2 ñëîÿ ÑÏÔ 5 ê >1012 0,35−0,40 0,002−0,005 0,03
ìåùåíèÿ ñëîåâ ïðè èçãîòîâëåíèè ìíîãîóðîâíåâûõ
ñèñòåì ìåæñîåäèíåíèé, à òàêæå, áëàãîäàðÿ èñïîëüçî-
âàíèþ ïîäëîæêè â êà÷åñòâå øèíû �çåìëè�, óïðîùà-
åòñÿ òîïîëîãèÿ è óâåëè÷èâàåòñÿ ïîìåõîçàùèùåííîñòü
ìèêðîñõåì;
� îäíî- èëè äâóõñëîéíîå íàíåñåíèå ÑÏÔ ÿâëÿ-
åòñÿ âûñîêîòåõíîëîãè÷íûì ñïîñîáîì ïîëó÷åíèÿ òîë-
ñòûõ äèýëåêòðè÷åñêèõ ïîêðûòèé ñ âûñîêèìè ýëåêò-
ðîèçîëÿöèîííûìè ñâîéñòâàìè. Íàëè÷èå ïîäñëîÿ
àíîäíîãî îêñèäà îáåñïå÷èâàåò íå òîëüêî óâåëè÷å-
íèå àäãåçèè ÑÏÔ, íî è âîçìîæíîñòü òî÷íîãî ðåãó-
ëèðîâàíèÿ òîëùèíû ïîêðûòèÿ äëÿ äîñòèæåíèÿ òðå-
áóåìûõ ÷àñòîòíûõ ñâîéñòâ ïîäëîæåê;
� âîçìîæíî èñïîëüçîâàíèå â êà÷åñòâå îñíîâà-
íèÿ ïîäëîæåê íå òîëüêî àëþìèíèÿ, à è äðóãèõ ìå-
òàëëîâ � â çàâèñèìîñòè îò ïðåäúÿâëÿåìûõ òðåáî-
âàíèé ê òåïëîïðîâîäíîñòè ïîäëîæåê, èõ ìàññå, ìåõà-
íè÷åñêîé ïðî÷íîñòè, ìàãíèòíûì ñâîéñòâàì è ò. ï.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Baba N., Mizuki I. High thermal radiation hybrids
substrates and printed-circuit boards using aluminium //
Techno Japan.� 1985.� Vol. 18, N 10.� P. 9�19.
2. Êàíî Ò., Õèãóòè Ò., Òàñèðî X. Îñíîâàíèÿ ïå÷àò-
íûõ ïëàò íà ìåòàëëè÷åñêèõ ïëàñòèíêàõ // Äýíñè äçàé-
ðå.� 1984.� Ò. 23, ¹ 10.� Ñ. 53�60.
3. Êîðîòêåâè÷ À. Â., Êîöàðåíêî Â. À., Ïëåøêèí
Â. À. Ðàñøèðåíèå ôóíêöèîíàëüíûõ âîçìîæíîñòåé ïîä-
ëîæåê ÃÈÑ // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêò-
ðîííîé àïïàðàòóðå.� ¹ 4�92�1�93.� Ñ. 3�7.
4. À. ñ. 1825285 ÑÑÑÐ. Ñïîñîá èçãîòîâëåíèÿ òîíêî-
ïëåíî÷íîé ìèêðîñõåìû / À. Â. Êîðîòêåâè÷, Ñ. À. Êîñòþ-
÷åíêî, Â. À. Êîöàðåíêî è äð.� Á. È. ¹ 24, 1993.
5. ÒÓ 16-503.244�84. Ôîòîðåçèñò ñóõîé ïëåíî÷íûé
ÑÏÔ-ÂÙ-2.
4*
|