Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий

На основе пористого анодного окисла алюминия создана технология тонкопленочных оптических сенсоров. Показана ее применимость в биосенсорике.

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2015
Автори:	Лебедева, Т.С., Минов, Ю.Д., Сутковой, П.И., Фролов, Ю.А., Шпилевой, П.Б.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України 2015
Назва видання:	Комп’ютерні засоби, мережі та системи
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122844
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий / Т.С. Лебедева, Ю.Д. Минов, П.И. Сутковой, Ю.А. Фролов, П.Б. Шпилевой // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2015. — № 14. — С. 60-67. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-122844
record_format	dspace
spelling	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1228442025-02-09T22:35:16Z Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий Development of waveguide sensors basing on the thin-film structures of nanoporous anodic alumina-alumina Лебедева, Т.С. Минов, Ю.Д. Сутковой, П.И. Фролов, Ю.А. Шпилевой, П.Б. На основе пористого анодного окисла алюминия создана технология тонкопленочных оптических сенсоров. Показана ее применимость в биосенсорике. Створено технологію тонкоплівкових оптичних сенсорів на основі поруватого анодного оксиду алюмінію. Показана можливість її застосування у біосенсориці. The developed thin-films technology of optical waveguide sensors basing on porous anodic alumina is presented. Their applicability for the biosensing is shown. Работа проведена в рамках Государственной целевой научно-технической программы «Нанотехнологии и наноматериалы» на 2010–2014 гг. 2015 Article Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий / Т.С. Лебедева, Ю.Д. Минов, П.И. Сутковой, Ю.А. Фролов, П.Б. Шпилевой // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2015. — № 14. — С. 60-67. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1817-9908 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122844 ru Комп’ютерні засоби, мережі та системи application/pdf Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
description	На основе пористого анодного окисла алюминия создана технология тонкопленочных оптических сенсоров. Показана ее применимость в биосенсорике.
format	Article
author	Лебедева, Т.С. Минов, Ю.Д. Сутковой, П.И. Фролов, Ю.А. Шпилевой, П.Б.
spellingShingle	Лебедева, Т.С. Минов, Ю.Д. Сутковой, П.И. Фролов, Ю.А. Шпилевой, П.Б. Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий Комп’ютерні засоби, мережі та системи
author_facet	Лебедева, Т.С. Минов, Ю.Д. Сутковой, П.И. Фролов, Ю.А. Шпилевой, П.Б.
author_sort	Лебедева, Т.С.
title	Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий
title_short	Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий
title_full	Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий
title_fullStr	Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий
title_full_unstemmed	Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий
title_sort	реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий
publisher	Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
publishDate	2015
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122844
citation_txt	Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий / Т.С. Лебедева, Ю.Д. Минов, П.И. Сутковой, Ю.А. Фролов, П.Б. Шпилевой // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2015. — № 14. — С. 60-67. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
series	Комп’ютерні засоби, мережі та системи
work_keys_str_mv	AT lebedevats realizaciâvolnovodnyhsensorovnatonkoplenočnyhstrukturahnanoporistyianodnyioksidalûminiâalûminii AT minovûd realizaciâvolnovodnyhsensorovnatonkoplenočnyhstrukturahnanoporistyianodnyioksidalûminiâalûminii AT sutkovoipi realizaciâvolnovodnyhsensorovnatonkoplenočnyhstrukturahnanoporistyianodnyioksidalûminiâalûminii AT frolovûa realizaciâvolnovodnyhsensorovnatonkoplenočnyhstrukturahnanoporistyianodnyioksidalûminiâalûminii AT špilevoipb realizaciâvolnovodnyhsensorovnatonkoplenočnyhstrukturahnanoporistyianodnyioksidalûminiâalûminii AT lebedevats developmentofwaveguidesensorsbasingonthethinfilmstructuresofnanoporousanodicaluminaalumina AT minovûd developmentofwaveguidesensorsbasingonthethinfilmstructuresofnanoporousanodicaluminaalumina AT sutkovoipi developmentofwaveguidesensorsbasingonthethinfilmstructuresofnanoporousanodicaluminaalumina AT frolovûa developmentofwaveguidesensorsbasingonthethinfilmstructuresofnanoporousanodicaluminaalumina AT špilevoipb developmentofwaveguidesensorsbasingonthethinfilmstructuresofnanoporousanodicaluminaalumina
first_indexed	2025-12-01T11:04:54Z
last_indexed	2025-12-01T11:04:54Z
_version_	1850303679880495104
fulltext	Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2015, № 14 60 T. Lebyedyeva, Yu. Minov, P. Sutkoviy, Yu. Frolov, P. Shpylovyy DEVELOPMENT OF WAVEGUIDE SENSORS BASING ON THE THIN-FILM STRUCTURES OF NANOPOROUS ANODIC ALUMINA – ALUMINA The developed thin-films technology of optical waveguide sensors basing on porous anodic alumina is pre- sented. Their applicability for the biosensing is shown. Key words: optical sensors, nano- structures, porous alumina. Створено технологію тонкоплів- кових оптичних сенсорів на основі поруватого анодного оксиду алю- мінію. Показана можливість її застосування у біосенсориці. Ключові слова: оптичні сенсори, наноструктури, поруватий оксид алюмінію. На основе пористого анодного окисла алюминия создана техно- логия тонкопленочных оптиче- ских сенсоров. Показана ее при- менимость в биосенсорике. Ключевые слова: оптические сесноры, нанострутуры, пори- стый окисел алюминия.  Т.С. Лебедева, Ю.Д. Минов, П.И. Сутковой, Ю.А. Фролов, П.Б. Шпилевой, 2015 УДК 535.016 Т.С. ЛЕБЕДЕВА, Ю.Д. МИНОВ, П.И. СУТКОВОЙ, Ю.А. ФРОЛОВ, П.Б. ШПИЛЕВОЙ РЕАЛИЗАЦИЯ ВОЛНОВОДНЫХ СЕНСОРОВ НА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУРАХ НАНОПОРИСТЫЙ АНОДНЫЙ ОКСИД АЛЮМИНИЯ – АЛЮМИНИЙ Введение. Разработка высокочувствитель- ных сенсоров с нанопористыми покрытиями в настоящее время – это важная задача для медицинской диагностики, мониторинга ок- ружающей среды, изучения биомолекуляр- ных взаимодействий и пр. Разрабатываются импедансные, емкостные, акустические, оп- тические и другие сенсоры и биосенсоры. Среди оптических сенсоров особый интерес вызывают устройства на поверхностном плазмонном резонансе (ППР), волноводные сенсоры, в том числе волноводные сенсоры на металлическом подслое (ВСМП) [1–4], которые могут быть реализованы на сдвиге минимума кривой отражения по углу паде- ния света или по длине волны, отражающем изменения в слое молекул на сенсорной по- верхности. Одним из путей увеличения чувствитель- ности сенсоров является применение нано- пористых материалов для покрытий, контак- тирующих с исследуемой средой, в частно- сти пористого анодного оксида алюминия (ПАОА). Высокоразвитая поверхность пор обеспечивает большую площадь взаимодей- ствия рецептора и аналита, что дает возмож- ность увеличения чувствительности сенсо- ров. Уникальная структура вертикальных упорядоченных наноразмерных пор и фор- мируемых в них нанопроволок и наноточек может также служить базой для развития но- вого поколения сенсоров. РЕАЛИЗАЦИЯ ВОЛНОВОДНЫХ СЕНСОРОВ НА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУРАХ … Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2015, № 14 61 Интенсивно разрабатываются сенсорные покрытия из пористых анодных оксидов, формируемых путем электрохимического окисления на поверхности металлов, в частности пористого анодного оксида алюминия [1]. Достоинства ПАОА – простота и дешевизна его получения, возможность формирования мас- сивов однородных пор в диапазоне диаметров от единиц до сотен нанометров. Кроме того, ПАОА имеет ряд химических, механических, электрических и оп- тических характеристик, важных для сенсорных применений, включая высокую твердость, термическую стабильность, химическую устойчивость в средах с биологической совместимостью, что особенно существенно для биосенсорики. Сенсорные устройства на ПАОА (рис. 1) могут быть использованы в качестве химических сенсоров и биосенсоров в широчайшем ряде анализов на наличие молекул газов, органических молекул, биомолекул (ДНК, протеинов, антител) и клеточном анализе (вирусов, бактерий, раковых клеток и маркеров) в газовых, водных и биологических средах. РИС. 1. ВСМП с нанопористым сенсорным покрытием в качестве волноводного слоя и схематическое представление сенсорного устройства Именно толщина и структура пленки анодного оксида определяют чувстви- тельность сенсоров, а также вид резонансных кривых и конструктивные особен- ности сенсорных устройств [1–4]. Проведенные нами ранее работы по компьютерному моделированию харак- теристик оптических сенсоров на основе многослойных тонкопленочных струк- тур показали безусловную перспективность биосенсорных применений ВСМП с нанопористым сенсорным слоем [4, 5]. Результаты моделирования хорошо сов- падают с экспериментальными данными, полученными при проведении тесто- вых иммунохимических реакций на наноструктурированных ВСМП [3]. Отработка технологии наноструктурированных покрытий алюминий- пористый анодный оксид алюминия. Нами разработана тонкопленочная технология ВСМП с наноструктуриро- ванным ПАОА для сенсорных применений. Она включает следующие этапы: Т.С. ЛЕБЕДЕВА, Ю.Д. МИНОВ, П.И. СУТКОВОЙ, Ю.А. ФРОЛОВ, П.Б. ШПИЛЕВОЙ Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2015, № 14 62 - вакуумное осаждение пленок алюминия на пластины из стекла оптиче- ской полировки; - частичное одностадийное анодное окисление пленки алюминия для формирования ПАОА для волноводного слоя и полупрозрачной пленки алюми- ния для металлического подслоя, заводящего свет в волноводную пленку; - химическое травление для расширения пор ПАОА; для получения по- крытий с нанопленками или наночастицами металла – термическое напыление золота нанометровой толщины. Формирование пленок алюминия производится путем магнетронного рас- пыления на постоянном токе мишени алюминия чистотой 99,999 %. В качестве адгезионного слоя на стекло осаждается тонкий (1–2 нм) слой ниобия. Анодное окисление и химическое травление проводится на специально раз- работанном компьютеризованном стенде, в состав которого входят источники питания, обеспечивающие режимы окисления, прибор для контроля угловых зависимостей кривых отражения R(φ) и двухэлектродная электрохимическая ячейка, которая может служить и измерительной ячейкой при выполнении реф- рактометрических и биосенсорных исследований на приборе «Плазмонотест». Программное обеспечение стенда дает возможность все процессы управле- ния и контроля осуществлять в едином окне (рис. 2). РИС. 2. Общее окно для одновременного контроля анодного окисления и регистрации оптических характеристик сенсорных подложек в процессе изготовления Это окно объединяет две независимые программы: 1. Программа «ПлазмонТ», предназначенная для получения данных от при- бора «Плазмонтест», проведения измерений интенсивности отраженного света в заданном диапазоне углов, расчета положения минимума интенсивности путем РЕАЛИЗАЦИЯ ВОЛНОВОДНЫХ СЕНСОРОВ НА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУРАХ … Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2015, № 14 63 интерполяции [6], а также для построения сенсограмм углового положения ми- нимума и значения интенсивности при заданном угле. 2. Программа «Анод», предназначенная для работы со стендом для анодного окисления, задания и отображения информации о текущем режиме работы – значениях тока I(t), напряжения U(t), их производных dU/dt(t) и dI/dt(t). Обе программы могут функционировать независимо друг от друга. Также предусмотрен режим их синхронной работы, при котором программа «Анод» запускается из программы «ПлазмонТ», после чего синхронизирует с ней запись данных, а также передает в нее в реальном времени информацию об изменении режима работы. Использование стенда в комплекте с универсальной электрохимической ячейкой дает возможность одновременного контроля процесса анодного окисле- ния при изготовлении сенсорных подложек и контроля кривых отражения при анодном окислении и химическом травлении; возможность оперативной оста- новки этих процессов при достижении заданных характеристик изготавливае- мых подложек, а также возможность проведения рефрактометрических и био- сенсорных исследований без удаления сенсорной подложки из ячейки. Данные по исследованию кинетики анодирования при сквозном анодирова- нии пленок алюминия толщиной 250 нм на стекле с формированием ПАОА при- ведены на рис. 3. На рисунке показаны стадии формирования тонкопленочной структуры ПАОА/Al. Формирование ПАОА производили в двухэлектродной электрохимической ячейке со стабилизацией температуры и перемешиванием электролита, в 0,3M растворе щавелевой кислоты. а б РИС. 3. Кинетические зависимости при формировании ПАОА; а – потенциостатический режим; б – гальваностатический режим Разработка и внедрение описанного выше контроля характеристик изготав- ливаемых сенсорных подложек in-situ – это важная особенность разработанной технологии, поскольку именно обеспечение нужной толщины алюминиевого подслоя толщиной 10 – 25 нм является ключевым моментом изготовления ВСМП. Методика контроля R(φ) осуществляется следующим образом: на обра- зец (пленка Al на стекле), размещенный на призме прибора «Плазмонтест», обеспечивающего контроль кривых отражения в диапазоне 55 ÷ 70 градусов, Т.С. ЛЕБЕДЕВА, Ю.Д. МИНОВ, П.И. СУТКОВОЙ, Ю.А. ФРОЛОВ, П.Б. ШПИЛЕВОЙ Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2015, № 14 64 устанавливается специально разработанная прижимная ячейка для проведения анодирования и травления. Анодное окисление (формирование ПАОА из части пленки Al) и травление контролируется с помощью компьютеризованного стен- да. После достижения фронтом окисления толщины алюминия, обеспечивающей прохождение света в волноводный слой можно контролировать кривую отраже- ния и по достижению ею нужного вида остановить процесс анодирования. Результаты исследований кривых отражения для анодного окисления при постоянном напряжении 40 В показаны на рис. 4, а. Кривая 1 соответствует по- явлению минимума на кривой полного внутреннего отражения, свидетельст- вующего о том, что пленка алюминия стала частично прозрачной, толщина уже сформированного ПАОА такова, что волноводный минимум проявляется при угле около 61 градуса, лежащем в рабочей области прибора «Плазмонтест». Растравливание пор проводили в 5 % водном растворе ортофосфорной ки- слоты при комнатной температуре. Изменение положения волноводного мини- мума при растравливании пор в течение 30 минут показано на рис. 4, б. а б в РИС. 4. а – изменение формы кривой отражения в процессе анодного окисления пленки алюминия на стекле при изготовлении структуры пористый Al2O3-Al; б – изменение кривой отражения в процессе травления; в – сенсограмма изготовления ВСМП Из рисунка видно, что по мере растравливания пористого анодного оксида (увеличения его пористости с одновременным уменьшением толщины пористо- го слоя и барьерного слоя) происходит сдвиг угла волноводного минимума в сторону меньших углов в силу уменьшения оптического пути света в волновод- ном слое. Сенсограмма формирования ВСМП показана на рис. 4, в. На рис. 5 показаны результаты исследования с помощью сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) образца, сформированного при напряжении 40 В (рис. 5, а) и того же образца, растравленного а течение 30 минут в 5 % водном растворе ортофосфорной кислоты при 18 о С и постоянном перемеши- вании (рис. 5, б). РЕАЛИЗАЦИЯ ВОЛНОВОДНЫХ СЕНСОРОВ НА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУРАХ … Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2015, № 14 65 а б РИС. 5. СЭМ снимки поверхности образца: а – после анодного окисления; б – после растрав- ливания пор СЭМ снимок поверхности ВСМП (рис. 5, б) показывает высокую порис- тость образца, наличие сквозных пор, канавок по границам зерен алюминия, а также присутствие некоторого число зерен алюминия, выступающих над по- верхностью. Эти результаты находятся в согласии с данными других исследова- телей [8, 9] и отражают влияние исходной структуры пленок алюминия на структуру ПАОА. Проведение биосенсорных исследований на ВСМП с наноструктуриро- ванными покрытиями из ПАОА. ВСМП Al–ПАОА–Au были использованы при исследовании новых реком- бинантных иммунореагентов, разработанных для биосенсорной иммунодиагно- стики в Институте молекулярной биологии и генетики НАНУ, в частности, ре- комбинантного аналога поверхностного белка Staphylococcus aureus (белок SPA) в составе гибридного белка SPA-Cys, полученного присоединением к С-концу последовательности SPA (His)6 афинной метки и дополнительного остатка ци- стамина. Для эффективной иммобилизации SPA наноструктурированная поверхность ПАОА покрывалась слоем золота толщиной около 10 нанометров путем терми- ческого напыления в вакуумной камере. ВСМП формировали анодным окисле- нием пленки алюминия толщиной 270 нм в 3 % щавелевой кислоте при напря- жении 30 В с расширением пор травлением в 5 % ортофосфорной кислоте и по- следующим вакуумным осаждением золота. Фотографии СЭМ образцов ПАОА- Au показаны на рис. 6 а, б. Представленные данные показывают, что поры ПА- ОА располагаются параллельно, перпендикулярно к поверхности, барьерный слой оксида алюминия при данных режимах изготовления сохраняется. Упоря- доченности в расположении пор, полученных на поликристаллической пленке алюминия, не наблюдается. Пленка золота, отслоившаяся от поверхности ПАОА при получении скола, является перфорированной в местах расположения пор. Т.С. ЛЕБЕДЕВА, Ю.Д. МИНОВ, П.И. СУТКОВОЙ, Ю.А. ФРОЛОВ, П.Б. ШПИЛЕВОЙ Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2015, № 14 66 а б РИС. 6. СЭМ снимки образца ПАОА со слоем золота 12 нм: а – поверхность образца; б – торец образца, полученный раскалыванием Проведение иммунохимических исследований показало, что SPA-Cys эф- фективно иммобилизуется на золотой сенсорной поверхности и на нанострукту- рированной поверхности ПАОА с тонким слоем золота, сохраняя при этом свя- зывательные свойства по отношению к иммуноглобулину человека (рис. 7) [10]. Полученные данные показывают, что чувствительность данного иммуно- сенсора на ВСМП не ниже получаемой методом ППР [7]. Для повышения чувствительности биосенсоров на ПАОА необходима оп- тимизация геометрии пористого слоя, которая может быть достигнута вариацией толщины и размера пор ПАОА, а также специальная разработка методик пред- варительной подготовки поверхности сенсорного покрытия и проведения для конкретных видов биосенсорных анализов [11]. РИС. 7. Сенсограмма иммунохимической реакции SPA – IgG на Al – ПАОА – Au; 1 – PBS, 2 – 1 мкM белка SPA-Cys, 3 – промывка PBS, 4 – 0,5 мг/мл белка Milk для заполнения свободной поверхности, 5 – промывка PBS, 6 – 20 мкг/мл IgG hum, 7 – промывка PBS Выводы. Представленная тонкопленочная технология, включающая про- цессы магнетронного осаждения пленок ниобия и алюминия, частичного одно- РЕАЛИЗАЦИЯ ВОЛНОВОДНЫХ СЕНСОРОВ НА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУРАХ … Комп’ютерні засоби, мережі та системи. 2015, № 14 67 стадийного анодного окисления пленки алюминия с последующим расширением пор путем химического травления позволяет реализовать волноводные сенсоры с металлическим подслоем нанопористый ПАОА – алюминий для практических применений в биосенсорике. Положительной особенностью технологии являет- ся контроль оптических характеристик изготавливаемых ВСМП непосредствен- но в процессе анодного окисления и травления. Реализация волноводных сенсоров с металлическим подслоем нанопори- стый ПАОА – алюминий показала, что они могут быть альтернативой ППР сен- сорам на пленках золота. Наноструктурированные покрытия из пористых анодных оксидов, изготов- ленные по данной технологии, могут быть использованы для повышения чувст- вительности уже существующих, а также создания совершенно новых видов сенсоров для функционирования в газовых, водных и биологических средах. Работа проведена в рамках Государственной целевой научно-технической программы «Нанотехнологии и наноматериалы» на 2010–2014 гг. 1. Yamaguchi A., Hotta K., Teramae N. Optical Waveguide Sensor Based on a Porous Anodic Alumina/Aluminum Multilayer Film // Anal. Chem.– 2009.– N 81.– P. 105–111. 2. Войтович И.Д., Лебедева Т.С., Шпилевой П.Б. и др. Оптические биосенсоры на много- слойных тонкопленочных структурах // Электроника и связь. – 2010. – № 2. – C. 174–179. 3. Войтович И.Д., Лебедева Т.С., Шпилевой П.Б. и др. Покрытия из нанопористого анодно- го оксида алюминия для сенсорных применений // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. – 2014. – Т. 12, № 1. – С. 169–180. 4. Бєднов М.В., Лебєдєва Т.С., Шпильовий П.Б. Моделювання оптичних сенсорів з нанострук- турованими покриттями // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. – 2014.– № 13. – С. 23–32. 5. Biednov M., Lebyedyeva T., Spylovyy P. Gold and Aluminum based surface Plasmon reso- nance biosensors: sensitivity enhancement // http://spie.org/optics-optoelectronics.xml 6. Lebyedyeva T.S., Shpylovyy P.B. et.al. Modelling and Data Processing for Thin-Film Optical Sensors // Proc. of 6-th IEEE Intern. Conf. on Intelligent Data Acquisition and Advance Com- puting System: Technology and Application. – Praga, 2011. – Vol. 1. – P. 119 – 124. 7. Огороднійчук Ю.О., Лебєдєва Т.С., Шпильовий П.Б. та ін. Оптичний імунний біосенсор «Plasmonotest» для визначення Salmonella typhimurium // Сенсорна електроніка і мікро- системні технології. – 2013. – № 1. – С. 106–113. 8. Es-Souni M., Habouti S. Ordered nanomaterial thin films via supported anodized alumina templates // Front. Mater. – 2014. – 1. – P. 1–9. 9. Feil A.F., da Costa M.V. et al. The influence of aluminum grain size on alumina nanoporous structure // Jour. Appl. Phys. – 2010. – N 107. – P. 026103-1 – 026103-3. 10. Voitovich I.D., Lebyedyeva T.S., Rachkov O.E. et al. Anodic Alumina-Based Nanoporous Coatings for Sensory Applications // Springer Proc. In Phys. 167. Nanoplasmonics, Nano- Optics, Nanocomposites, and Surface Studies. Selected Proc. Of the Second FP& Conf. And the Third Int. Summer School Nanotechnology: From Fundamential Research to Innovations, Aug. 23-30. – 2014. – Yaremche-Lviv, Ukraine. – P. 423–431. 11. Kumeria T., Santos A., Losic D. Nanoporous Anodic Alumina Platforms: Engineered Surface Chemistry and Structure for Optical Sensing Applications // Sensors. – 2014. – V. 14, N 7. – P. 11878–11918. Получено 17.09.2015 http://www.irbis-nbuv.gov.ua/cgi-bin/irbis_nbuv/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&I21DBN=UJRN&P21DBN=UJRN&S21STN=1&S21REF=10&S21FMT=JUU_all&C21COM=S&S21CNR=20&S21P01=0&S21P02=0&S21P03=IJ=&S21COLORTERMS=1&S21STR=%D0%9672542 http://spie.org/optics-optoelectronics.xml http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/?term=Kumeria%20T%5Bauth%5D http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/?term=Santos%20A%5Bauth%5D http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/?term=Losic%20D%5Bauth%5D удк 535.016

Реализация волноводных сенсоров на тонкопленочных структурах нанопористый анодный оксид алюминия – алюминий

Репозитарії

Схожі ресурси