Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення
Досліджено особливості масоперенесення компонентів у системі Ni–Cu–Cr із шарами нанорозмірної товщини внаслідок йонно-плазмового оброблення різної тривалости. Виявлену поверхневу сеґреґацію атомів Cu та Cr пов’язано із ґенерацією радіяційних дефектів і проявом зворотнього Кіркендаллового ефекту. Обг...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Datum: | 2017 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2017
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/123469 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення / А.К. Орлов, І.О. Круглов, І.Є. Котенко, С.І. Сидоренко, С.М. Волошко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 3. — С. 349-361. — Бібліогр.: 29 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862752317028171776 |
|---|---|
| author | Орлов, А.К. Круглов, І.О. Котенко, І.Є. Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. |
| author_facet | Орлов, А.К. Круглов, І.О. Котенко, І.Є. Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. |
| citation_txt | Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення / А.К. Орлов, І.О. Круглов, І.Є. Котенко, С.І. Сидоренко, С.М. Волошко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 3. — С. 349-361. — Бібліогр.: 29 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | Досліджено особливості масоперенесення компонентів у системі Ni–Cu–Cr із шарами нанорозмірної товщини внаслідок йонно-плазмового оброблення різної тривалости. Виявлену поверхневу сеґреґацію атомів Cu та Cr пов’язано із ґенерацією радіяційних дефектів і проявом зворотнього Кіркендаллового ефекту. Обговорюється можливість розробки нового ефективного способу йонно-плазмового керування хемічною активністю нанорозмірних шарів перехідних металів, що використовуються для формування топології мікро- та наноелектронних пристроїв і захисту їх від корозії.
Исследованы особенности массопереноса компонентов в системе Ni–Cu–Cr со слоями наноразмерной толщины вследствие ионно-плазменной обработки различной продолжительности. Обнаруженная поверхностная сегрегация атомов Cu и Cr связывается с генерацией радиационных дефектов и проявлением обратного эффекта Киркендалла. Обсуждается возможность разработки нового эффективного способа ионно-плазменно¬го управления химической активностью наноразмерных слоёв переходных металлов, используемых для формирования топологии микро- и наноэлектронных устройств и защиты их от коррозии.
The features of mass transfer of components in the Ni–Cu–Cr system with layers of nanometre thickness because of ion–plasma processing of different duration are investigated. The observed surface segregation of Cu and Cr atoms is associated with the generation of radiation defects and manifestation of the inverse Kirkendall effect. The possibilities of developing a new effective method of ion–plasma control of the reactivity of nanoscale layers of transition metals used to form the topology of micro- and nanoelectronic devices and protect them from corrosion are discussed.
|
| first_indexed | 2025-12-07T21:16:24Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-123469 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T21:16:24Z |
| publishDate | 2017 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Орлов, А.К. Круглов, І.О. Котенко, І.Є. Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. 2017-09-05T16:59:15Z 2017-09-05T16:59:15Z 2017 Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення / А.К. Орлов, І.О. Круглов, І.Є. Котенко, С.І. Сидоренко, С.М. Волошко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 3. — С. 349-361. — Бібліогр.: 29 назв. — укр. 1024-1809 DOI: 10.15407/mfint.39.03.0349 PACS: 61.72.up, 61.80.Jh, 68.37.Hk, 81.15.Jj, 81.40.Wx, 81.65.-b, 81.70.Jb https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/123469 Досліджено особливості масоперенесення компонентів у системі Ni–Cu–Cr із шарами нанорозмірної товщини внаслідок йонно-плазмового оброблення різної тривалости. Виявлену поверхневу сеґреґацію атомів Cu та Cr пов’язано із ґенерацією радіяційних дефектів і проявом зворотнього Кіркендаллового ефекту. Обговорюється можливість розробки нового ефективного способу йонно-плазмового керування хемічною активністю нанорозмірних шарів перехідних металів, що використовуються для формування топології мікро- та наноелектронних пристроїв і захисту їх від корозії. Исследованы особенности массопереноса компонентов в системе Ni–Cu–Cr со слоями наноразмерной толщины вследствие ионно-плазменной обработки различной продолжительности. Обнаруженная поверхностная сегрегация атомов Cu и Cr связывается с генерацией радиационных дефектов и проявлением обратного эффекта Киркендалла. Обсуждается возможность разработки нового эффективного способа ионно-плазменно¬го управления химической активностью наноразмерных слоёв переходных металлов, используемых для формирования топологии микро- и наноэлектронных устройств и защиты их от коррозии. The features of mass transfer of components in the Ni–Cu–Cr system with layers of nanometre thickness because of ion–plasma processing of different duration are investigated. The observed surface segregation of Cu and Cr atoms is associated with the generation of radiation defects and manifestation of the inverse Kirkendall effect. The possibilities of developing a new effective method of ion–plasma control of the reactivity of nanoscale layers of transition metals used to form the topology of micro- and nanoelectronic devices and protect them from corrosion are discussed. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Металлические поверхности и плёнки Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення Массоперенос в наноразмерных слоях переходных металлов под воздействием ионно-плазменной обработки Mass Transfer in Nanosize Layers of Transition Metals Under the Influence of Ion–Plasma Processing Article published earlier |
| spellingShingle | Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення Орлов, А.К. Круглов, І.О. Котенко, І.Є. Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. Металлические поверхности и плёнки |
| title | Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення |
| title_alt | Массоперенос в наноразмерных слоях переходных металлов под воздействием ионно-плазменной обработки Mass Transfer in Nanosize Layers of Transition Metals Under the Influence of Ion–Plasma Processing |
| title_full | Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення |
| title_fullStr | Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення |
| title_full_unstemmed | Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення |
| title_short | Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення |
| title_sort | масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення |
| topic | Металлические поверхности и плёнки |
| topic_facet | Металлические поверхности и плёнки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/123469 |
| work_keys_str_mv | AT orlovak masoperenesennâunanorozmírnihšarahperehídnihmetalívpíddíêûionnoplazmovogoobroblennâ AT kruglovío masoperenesennâunanorozmírnihšarahperehídnihmetalívpíddíêûionnoplazmovogoobroblennâ AT kotenkoíê masoperenesennâunanorozmírnihšarahperehídnihmetalívpíddíêûionnoplazmovogoobroblennâ AT sidorenkosí masoperenesennâunanorozmírnihšarahperehídnihmetalívpíddíêûionnoplazmovogoobroblennâ AT vološkosm masoperenesennâunanorozmírnihšarahperehídnihmetalívpíddíêûionnoplazmovogoobroblennâ AT orlovak massoperenosvnanorazmernyhsloâhperehodnyhmetallovpodvozdeistviemionnoplazmennoiobrabotki AT kruglovío massoperenosvnanorazmernyhsloâhperehodnyhmetallovpodvozdeistviemionnoplazmennoiobrabotki AT kotenkoíê massoperenosvnanorazmernyhsloâhperehodnyhmetallovpodvozdeistviemionnoplazmennoiobrabotki AT sidorenkosí massoperenosvnanorazmernyhsloâhperehodnyhmetallovpodvozdeistviemionnoplazmennoiobrabotki AT vološkosm massoperenosvnanorazmernyhsloâhperehodnyhmetallovpodvozdeistviemionnoplazmennoiobrabotki AT orlovak masstransferinnanosizelayersoftransitionmetalsundertheinfluenceofionplasmaprocessing AT kruglovío masstransferinnanosizelayersoftransitionmetalsundertheinfluenceofionplasmaprocessing AT kotenkoíê masstransferinnanosizelayersoftransitionmetalsundertheinfluenceofionplasmaprocessing AT sidorenkosí masstransferinnanosizelayersoftransitionmetalsundertheinfluenceofionplasmaprocessing AT vološkosm masstransferinnanosizelayersoftransitionmetalsundertheinfluenceofionplasmaprocessing |