Современные электронно-лучевые технологии получения новых материалов и покрытий (Обзор)

Современные электронно-лучевые технологии получения новых материалов и покрытий (Обзор)

Приведены сведения о современных электронно-лучевых технологиях получения новых материалов и покрытий, а также установлены основные направления развития этих технологий. Рассмотрены сведения о конструкциях перспективных установок, использующих электронно-лучевые технологии. Наведено дані про сучасні...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вісник Українського матеріалознавчого товариства
Дата:2010
Автор: Гречанюк, Н.И.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Українське матеріалознавче товариство 2010
Теми:
Результати впровадження наукових досліджень
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125329
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Современные электронно-лучевые технологии получения новых материалов и покрытий (Обзор) / Н.И. Гречанюк // Вісник Українського матеріалознавчого товариства. — 2010. — № 1(3). — С. 7-15. — Бібліогр.: 30 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-125329
record_format dspace
spelling Гречанюк, Н.И.
2017-10-23T19:02:32Z
2017-10-23T19:02:32Z
2010
Современные электронно-лучевые технологии получения новых материалов и покрытий (Обзор) / Н.И. Гречанюк // Вісник Українського матеріалознавчого товариства. — 2010. — № 1(3). — С. 7-15. — Бібліогр.: 30 назв. — рос.
2310-9688
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125329
621.762/621.793
Приведены сведения о современных электронно-лучевых технологиях получения новых материалов и покрытий, а также установлены основные направления развития этих технологий. Рассмотрены сведения о конструкциях перспективных установок, использующих электронно-лучевые технологии.
Наведено дані про сучасні електронно-променеві технології отримання нових матеріалів та покриттів, а також встановлено основні напрями розвитку цих технологій. Розглянуто дані про конструкції перспективних установок з використанням електронно-променевих технологій.
Modern electronic-beam technologies for obtaining the new perspective materials and coatings are informed. Main topics of development of these technologies are determined. Constructions of new devices for electronic beam technologies are informed.
ru
Українське матеріалознавче товариство
Вісник Українського матеріалознавчого товариства
Результати впровадження наукових досліджень
Современные электронно-лучевые технологии получения новых материалов и покрытий (Обзор)
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Современные электронно-лучевые технологии получения новых материалов и покрытий (Обзор)
spellingShingle Современные электронно-лучевые технологии получения новых материалов и покрытий (Обзор)
Гречанюк, Н.И.
Результати впровадження наукових досліджень
title_short Современные электронно-лучевые технологии получения новых материалов и покрытий (Обзор)
title_full Современные электронно-лучевые технологии получения новых материалов и покрытий (Обзор)
title_fullStr Современные электронно-лучевые технологии получения новых материалов и покрытий (Обзор)
title_full_unstemmed Современные электронно-лучевые технологии получения новых материалов и покрытий (Обзор)
title_sort современные электронно-лучевые технологии получения новых материалов и покрытий (обзор)
author Гречанюк, Н.И.
author_facet Гречанюк, Н.И.
topic Результати впровадження наукових досліджень
topic_facet Результати впровадження наукових досліджень
publishDate 2010
language Russian
container_title Вісник Українського матеріалознавчого товариства
publisher Українське матеріалознавче товариство
format Article
description Приведены сведения о современных электронно-лучевых технологиях получения новых материалов и покрытий, а также установлены основные направления развития этих технологий. Рассмотрены сведения о конструкциях перспективных установок, использующих электронно-лучевые технологии. Наведено дані про сучасні електронно-променеві технології отримання нових матеріалів та покриттів, а також встановлено основні напрями розвитку цих технологій. Розглянуто дані про конструкції перспективних установок з використанням електронно-променевих технологій. Modern electronic-beam technologies for obtaining the new perspective materials and coatings are informed. Main topics of development of these technologies are determined. Constructions of new devices for electronic beam technologies are informed.
issn 2310-9688
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125329
citation_txt Современные электронно-лучевые технологии получения новых материалов и покрытий (Обзор) / Н.И. Гречанюк // Вісник Українського матеріалознавчого товариства. — 2010. — № 1(3). — С. 7-15. — Бібліогр.: 30 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT grečanûkni sovremennyeélektronnolučevyetehnologiipolučeniânovyhmaterialovipokrytiiobzor
first_indexed 2025-11-25T20:43:32Z
last_indexed 2025-11-25T20:43:32Z
_version_ 1850530896187228160
fulltext ІІ. Результати наукових досліджень 7 І І . Результати наукових досл іджень УДК 621.762/621.793 Н. И. Гречанюк * СОВРЕМЕННЫЕ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ НОВЫХ МАТЕРИАЛОВ И ПОКРЫТИЙ (ОБЗОР) Наведено дані про сучасні електронно-променеві технології отримання нових матеріалів та покриттів, а також встановлено основні напрями розвитку цих технологій. Розглянуто дані про конструкції перспективних установок з використанням електронно- променевих технологій. Ключові слова: електронно-променеві технології, композитні матеріали, контакти, кремнієві матеріали. Электронно-лучевое воздействие на металлы, обеспечивающее их нагрев, плавление и испарение, как новое технологическое направление в области об- работки материалов, интенсивно развивается с середины двадцатого столетия [1, 2]. В настоящее время во всем мире ни одна отрасль промышленности свя- занная с получением соединением и обработкой материалов, не обходится без электронно-лучевого нагрева. Связано это с характерными преимуществами этого метода, главное из которых ⎯ возможность концентрации энергии от 103 до 5 ⋅ 108 Вт/см2, то есть во всем диапазоне термического воздействия, ве- дение процесса в вакууме, что обеспечивает чистоту обрабатываемого мате- риала и полную автоматизацию процесса. Развитие электронно-лучевой технологии идет по трем основным направ- лениям: – плавка и испарение в вакууме: получены слитки чистых металлов, сложно легированных сплавов, покрытий, конденсированных из паровой фазы компо- зиционных материалов [3, 4, 5]; с этой целью используют мощные (до 1 МВТ и более) электронно-лучевые установки при ускоряющем напряжении 20– 30 кв; онцентрация мощности относительно невелика (не более 105 Вт/см2); – сварка металлов: создано оборудование трех классов: низко-, средне- и вы- соковольтное, охватывающее диапазон ускоряющих напряжений от 20 до 150 кВ; мощность установок составляет 1–120 кВт и более при максимальной кон- центрации энергии 105–106 Вт/см2; – прецизионная обработка материалов (сверление, фрезерование, резка): ис- пользуют высоковольтные установки (80–150 кВ) небольшой мощности (не более 1 кВт), обеспечивающие удельную мощность до 5 ⋅ 108 Вт/см2. Одновременно ведется совершенствование оборудование [6, 7], источни- ков нагрева [8, 9], источников паров металлов [10] и разработка аппаратуры © Гречанюк Микола Іванович, докт. техн. наук, провідний науковий співробітник Інституту проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України, директор НВП “Елтехмаш”. "Вісник" УМТ № 1 (3) 2010 8 для наблюдения, контроля и регулирования процесса электронно-лучевого воздействия. В НПП “Элтехмаш” интенсивно развивается первое из вышеперечислен- ных направлений. При этом особое внимание уделяется разработке и изготов- лению лабораторного и промышленного электронно-лучевого оборудования для реализации целого ряда таких новых технологических процессов: – осаждение теплозащитных покрытий на лопатки газовых турбин; – получение конденсированных из паровой фазы композиционных материалов дисперсно-упрочненного микрослойного и микропористого типов; – получение чистых металлов, специальных сплавов, ферросплавов, поликри- сталлического кремния высокой чистоты для нужд машиностроения, авиа- строения, энергетики, космической техники. Защитные покрытия на лопатках газовых турбин и оборудование для их осаждения в НПП “Элтехмаш” защитные покрытия на лопатках турбин полу- чают путем электронно-лучевого испарения и последующей конденсации в вакууме сплавов MeCrAlY (где Me–Ni,Co, Fe) MeCrAlYHƒSiZr и керамики ZrO2–Y2O3. Наряду с традиционными однослойными металлическим, двух- слойными металл-керамика разработаны три варианта трехслойных теплоза- щитных покрытий, схемы которых приведены на рис. 1. Внешний керамиче- ский слой со столбча- той структурой Внешний керамический слойтипа “зиг-заг” Внешний керамиче- ский слой типа “зиг- заг” с элементами “са- морегулирования” Промежуточный жа- ростойкий слой дис- персно-упрочненного или микрослойного типов Промежуточный жаро- стойкий слой дисперс- но-упрочненного или микрослойного типов Промежуточный жаро- стойкий слой дисперс- но-упрочненного или микрослойного типов Внутренний металли- ческий демпфирую- щий слой Внутренний металли- ческий демпфирующий слой Внутренний металли- ческий демпфирующий слой Основа Основа Основа а б в Рис. 1. Схема теплозащитных покрытий Простым является трехслойное покрытие с внутренним металлическим (демпфирующим) MeCrAlY, MeCrAlYHƒSiZr, промежуточным композицион- ным MeCrAlY–MeО; MeCrAlYHƒSiZr–MeО (где MeО Al2O3, ZrO2–Y2O3) дис- персно-упрочненного или микрослойного типа и внешним керамическим (ZrO2–Y2O3) слоями (рис. 1, а) [11]. Второй вариант (рис. 1, б) отличается от первого тем, что внешний керамический слой выполнен в виде типа “зиг-заг”. Наиболее интересным является третий вариант покрытия (рис. 1, в), где во внешний керамический слой (ZrO2–Y2O3), который также выполнен в виде “зиг-заг”, введены частицы тугоплавких соединений. В процессе эксплуатации изделий с таким покрытием, при возникновении микротрещин во внешнем керамическом слое, частицы тугоплавких соединений, окисляясь, образуют соответствующие оксиды, которые залечивают возникшие микротрещины. Таким образом, подобное покрытие обладает эффектом “самозалечивания” или “самовосстановления”. ІІ. Результати наукових досліджень 9 Для реализации технологических процессов осаждения теплозащитных покрытий создано три типа промышленного электронно-лучевого оборудова- ния [5, 6], среди них: универсальная промышленная электронно-лучевая уста- новка для нанесения защитных металлических, теплозащитных композицион- ных, износостойких покрытий на изделия. Схема установки приведена на рис. 2. Установка представляет собой блок вакуумных камер с механизмами, уст- ройствами и системами, обеспечивающими проведение технологического процесса нанесения покрытий. Снизу рабочей камеры пристыкован блок для испарения, в состав которого входят четыре медных водоохлаждаемых тигля и четыре механизма подачи испаряемых слитков. Четыре электронно-лучевых нагревателя с холодным катодом [9] для ис- парения исходных материалов установлены таким образом, что каждый нагре- ватель может испарять материал из соседнего тигля. Такая необходимость мо- жет возникнуть при изменении расположения или количества тиглей, а также требований технологического процесса. Использование электронно-лучевых нагревателей с холодным катодом, способных стабильно работать, начиная с вакуума 10Па втечение 250 ч, обеспечивает впуск кислорода в паровое облако из ZrO2–Y2O3 и получение внешнего керамического слоя теплозащитного по- крытия стехиометрического состава. Для нагрева покрываемых изделий слу- жат две электронные пушки, установленные сверху технологической камеры. Две шлюзовые камеры предназначены для перегрузки покрываемых изделий. Разобщение объемов камер проводится двумя вакуумными затворами. В шлю- зовых камерах предусмотрены устройства ионной очистки изделий перед на- несением покрытий. Наличие двух вспомогательных камер обеспечивает не- прерывный цикл нанесения покрытия так как нанесение покрытий на изделия, подаваемые поочередно из шлюзовых камер происходит без развакуумирова- ния рабочей камеры. Рис. 2. Камера технологическая ⎯ 1, камера шлюзовая ⎯ 2, электронная пушка ⎯ 3, кассе- та ⎯ 4, механизм подачи кассеты (изделия) ⎯ 5, механизм подачи слитка ⎯ 6, тигель ⎯ 7, смотровая система ⎯ 8, заслонка ⎯ 9, вакуумная система ⎯ 10, площадка обслуживания ⎯ 11, пульт управления ⎯ 12 "Вісник" УМТ № 1 (3) 2010 10 Применение промышленного электронно-лучевого оборудования для осаждения покрытий определяется конкретными технологическими задачами. Для их решения создан замкнутый цикл осаждения покрытий, включающий выплавку всех типов слитков на никелевой, кобальтовой и железной основах в соответствии с ТУ У 27.4-20113410-001–2001, использование штабиков кера- мики ТУ У 13.2-20113410-004–2003. Композиционные материалы для электрических контактов и оборудова- ние для их получения. Разработка конденсированных из паровой фазы компо- зиционных материалов для электрических контактов не содержащих благо- родных металлов, осуществляется в трех направлениях: композиционные материалы для разрывных контактов; материалы для скользящих контактов; материалы для контактов вакуумных выключателей. Разработаны научные основы формирования микрослойных материалов, в том числе для электрических контактов с толщиной чередующихся слоев меньше 0,5 мкм при температуре более 0,3 температуры плавления наиболее легкоплавкого из испаряемых материалов. Как известно [13], до последнего времени подобные материалы получали методом электронно-лучевого испаре- ния и последующей конденсации металлов и неметаллов в вакууме при темпе- ратуре подложки не выше 300 °С. Нами впервые в мировой практике разрабо- тана промышленная электронно-лучевая технология получения толстых (до 5мм) микрослойных материалов (Cu–Zr–Y) Mo для разрывных контактов [14– 16]. Новые композиты, получившие название “Материалы дисперсно- упрочненные для электрических контактов” (МДК) сертифицированы и вы- пускаются согласно техническим условиям ТУУ 20113410.001–98. Основное достоинство материалов ⎯ отсуствие в их составе серебра, поэтому они в 2,5– 3 раза дешевле по сравнению с порошковыми электроконтактами, а по экс- плуатационной надежности превосходят существующие материалы для элек- трических контактов в 1,5–2 раза. Одновременно с промышленным внедрением материалов для разрывных контактов ИПМ НАН Украины совместно с Вроцлавским политехническим институтом (Польша) ведутся работы по созданию материалов на основе меди, хрома, вольфрама, углерода для скользящих контактов [17] и контактов дуго- гасительных камер [18–20]. Промышленные технологии электронно-лучевого переплава металлов, сплавов и оборудования для их осуществления. Освоены промышленные тех- нологии: – электронно-лучевого переплава отходов быстрорежущих сталей и по- лучения товарных слитков для последующего изготовления из них инст- румента [21–22]; – получения сплавов на кобальтовой, никелевой основах для последую- щего нанесения защитных покрытий; – получения высокочистой меди для использования в атомной энергети- ке, формирования сложнолегированных титановых сплавов; – получения высокочистых благородных металлов и сплавов на их осно- ве [23–24]. В последнее время создан ряд специализированных промышленных элек- тронно-лучевых установок для получения товарных слитков и слябов разме- рами: круг от 60 до 400мм; квадрат 60×60 до 400 мм и длиной до 3 м. ІІ. Результати наукових досліджень 11 В данных установках впервые использованы новые высоковольтные источники питания, разработанные совместно НПП “Элтехмаш” и ПО “Электроаппарат” (Украина) и электронно-лучевые газорязрядные нагрева- тели, разработанные под руководством В.И.Мельника [9]. Ниже остановимся на наиболее перспективных направлениях работ. Электронно-лучевая технология получения поликристаллического кремния солнечной чистоты. Глобальное ухудшение климата, резкое уменьшение мировых запасов нефти и газа заставляет интенсивно развивать исследова- ния в области развития нетрадиционных видов энергии. Наиболее перспек- тивным направлением является использование систем прямого преобразо- вания световой энергии солнечного излучения в электричество. Преимущества фотоэлектрических систем (ФЭС) прямого преобразования состоят в том, что не имеют движущихся механических частей, не нужда- ются в воде или другом теплоносителе и поэтому требуют минимального обслуживания [25]. Основной материал для массового производства ФЭС ⎯ кремний [26]. Характеристики эффективности солнечных элементов на основе кремния сравнительно высоки, сырье для получения кремния (диоксид кремния SiO2: кварц, кварцевые руды, кварцевые пески) достаточно распространено и доступно. Имеются мощные производства кремния “металлургического” качества. Из-за низкой экологичности, ввиду высокой и чрезвычайной дорого- визны сырья, весьма мала вероятность организации масштабного производ- ства ФЭС на базе других веществ, таких как CaAs, CdS, CdТe, CuInSe и другие [27]. Имеющиеся данные показывают, что для производства солнечных эле- ментов может быть использован технический (металлургический) кремний, как с дополнительной очисткой, так и без нее [25]. Весьма перспективным, альтернативным химическим методом получения высокочистого поликри- сталического кремния является электронно-лучевое рафинирование техни- ческого кремния [30]. Схема промышленной электронно-лучевой установки для рафинирования технического кремния приведена на рис. 3. Установка снабжена соответствующими механизмами и устройствами, обеспечивающими получение до 800 кг рафинированного кремния за 8 ч. Установка снабжена тремя промежуточными емкостями (позиция 8), в ко- торых осуществляется расплавление, перегрев и рафинирование кремния. Рафинированный кремний сливается в специальный тигель где осуществ- ляется направленная кристаллизация жидкого расплава. Проведение рафинирования кремния последовательно в каждой из трех промежуточных емкостей осуществляется отдельной электронно-лучевой пушкой мощностью 100 кВт. Подача модификаторов для рафинирования кремния выподняется с помощью дозаторов 12. Установка снабжена двумя механизмами подачи исходной шихты в зо- ну плавки (позиция 6, 7). Механизм 6 предназначен для подачи крупной кусковой шихты. Механизм снабжен затвором для дозагрузки шихты без развакуумирования рабочей камеры. Механизм 7 оснащен вибропитателем для подачи в зону плавки мелкой (5–20 мм) шихты. "Вісник" УМТ № 1 (3) 2010 12 Ри с. 3 . Э ле кт ро нн о- лу че ва я ус та но вк а дл я пе ре пл ав а кр ем ни я с ис по ль зо ва ни ем э ле кт ро нн ы х пу ш ек с х ол од ны м от ка то м ІІ. Результати наукових досліджень 13 Электронно-лучевая технология получения мишеней для магнетронного распыления. Освоена технология получения путем испарения и последующей конденсации в вакууме мишеней из хрома для магнетронного распыления. Рис. 4. Внешний вид мишеней для магнетронного распыления Электронно-лучевая технология получения композиционных порошков. Получены металлические, керамические и композиционные порошки. Процес- сы испарения и конденсации в вакууме позволяют получать практически лю- бые типы порошков размером от 0,05 до 1,2 мкм с производительностью до 15 кг порошка в час. Схема установки для получения порошков приведена на рис. 5. Рис. 5. Установка для получения порошков "Вісник" УМТ № 1 (3) 2010 14 Конденсация парового потока осуществляется на охлаждаемую вращающую подложку. С помощью специального скребка порошок снимают с подложки и по специальному лотку перемещают во вспомогательную камеру, где размещена специальная емкость для приемки порошка. После заполнения емкости осуществ- ляется ее вакуумирование. Порошок в емкости извлекается с вспомогательной камеры и передается для дальнейшего использования. Приведены сведения о современных электронно-лучевых технологиях получения новых материалов и покрытий, а также установлены основные направления развития этих техноло- гий. Рассмотрены сведения о конструкциях перспективных установок, использующих элек- тронно-лучевые технологии. Ключевые слова: электронно-лучевые технологии, композиционные материалы, контак- ты, кремниевые материалы. Modern electronic-beam technologies for obtaining the new perspective materials and coatings are informed. Main topics of development of these technologies are determined. Constructions of new devices for electronic beam technologies are informed. Keywords: electronic-beam technologies, composite materials, contacts, silicon materials. 1. Мовчан Б. А. Жаростойкие покрытия осаждаемые в вакууме / Б. А. Мовчан, И. С. Малашен- ко. – К.: Наук. думка, 1983 – 230с. 2. Зуев И. В. Обработка материалов концентрированными потоками энергии. – М.: МЭИ, 1998 – 162 с. 3. Мовчан Б. А. Электронно-лучевая плавка металлов и сплавов / Б. А. Мовчан, А. Л. Тихонов- ский, Ю. А. Крапов. – К.: Наук. думка, 1973 – 230 с. 4. Гречанюк Н. И. Современное состояние и перспективы состояния теплозащитных покры- тий для лопаток газотурбинных установок и оборудование для их нанесения / Гречанюк Н. И., Кучеренко П. П., Осокин В. А., Шпак П. А. // Новини енергетики. 5. Гречанюк Н. И. Новые композиционные материалы для електрических контактов и способ их получения / Н. И. Гречанюк, В. А. Осокин, И. Н. Гречанюк // Рынок металлов. – № 4. – 1999. – С. 58–60. 6. Pat. US 6, 923, 868 BZ. Installation for elektron ⎯ ray coatication of coatings I. M. Grechanyk. P. P. Kucherenko. – Publ. 02.08.2005. 7. Пат. 2265078 РФ. Установка для электронно-лучевого нанесения покрытий / Н. И. Греча- нюк, П. П. Кучеренко. – Опубл. 12.27.2005. 8. Патент 40664 Украина. Електронна гармата з лінійним термокатодом для електронно- променевого нагрівання / Гречанюк М.І., Кучеренко П.П., Піюк Є.Л. – Опубл. – № 7. – 2001. 9. Denbnovetskiy S. V. Application jf Glon Discharge Electron Guns for Plasma Activated Deposition of Coatings / S. V. Denbnovetskiy, V. G. Melnik, I. V. Melnik et al. // Электротехника и элек- троника. – 2006. – No. 5-6. – С. 115–118. 10. Залкин А. С. Источники паров металлов для научных исследований и технологий. – Ново- сибирск: Институт теплофизики РАН, 1992. – 75 с. 11. Патент 42052 Украина. Защитное покрытие для лопаток газовых турбин. / Н. И. Гречанюк, П. П. Кучеренко, В. А. Осокин, И. Б. Афанасьев, С. С. Белик, В. А. Акрымов, И. Н. Греча- нюк. – Опул. в Бюл. № 9 – 2001 г. 12. Патент 2271404 РФ. Способ получения микрослойных термостабильных материалов. / Н. И. Гречанок. – Опубл. 03.10.2006 г. ІІ. Результати наукових досліджень 15 13. Иявинский А. И. Структура и прочность слоистых и дисперсно-упрочненных пленок. – М: Металлургия. – 1986. – 140 с. 14. Патент 34875 Украина. Композиционный материал для электрических контактов / Н. И. Гречанюк, В. А. Осокин, И. Б. Афанасьев. – Опубл. в Бюл. изобр. № 2. – 2001 г. 15. Grechanyk N. I. Composite materials jn base jf copper an molybdenum, condensed from vapor phnse, for electric contacts. Structure, properties, technology. Part 1. State – of – the art and pros- pects of application of technology of electron beat high-rate evaporation-condensation for produc- ing materials of electric contacts / N. I. Grechanyk, V. A. Osokin, I. N. Grechanyk, R. V. Mi- nakova // Advances in electrometallurgy. – No. 2. – 2005. – Р. 24–29. 16. Grechanyk N. I. Covposite materials on base of copper fnd molybdenum, condensed from vapor phase, for electric contacts / N. I. Grechanyk, V. A. Osokin, I. N. Grechanyk et al. // Structure, properties, technology. Part 2. Fundamentals of electron beam technology for producing materials for eltctric contacts. 17. Miedzinski B. Performance jf sliding contacts with Cu–Mo layers for transportation in mining industry / B. Miedzinski, Z. Okraszcwsky, N. Grechanyk, J. Wandzio // Электричкские контакты и электроды: cб. трудов Ин-т пробл. материаловедения НАН Украины. – 2008. – С. 150–155. 18. Патент № 32368А Украина. Контактный материал для дугогасительных камер и способ его получения / Н. И. Гречанюк, Н. И. Плащенко, В. А. Осокин, И. Б. Афанасьев, И. Н. Гре- чанюк. – Опубл. в бюл. избр. – № 7. – 11. – 15.12.2000. 19. Патент № 76737 Украина. Контактная система вакуумной дугогасительной камеры / Н. И. Гречанюк, Н. Н. Плащенко, А. В. Зварич, В. А. Осокин. – Опуб. в Бюл. избр. № 9. – 2006. 20. Решение № а 200703343 о выдачи Патента Украины от 29.11.2008. Композиционный мате- риал для электрических контактов и электродов / Н. И. Гречанюк, И. Н.Гречанюк, В. А. Де- нисенко, В. Г. Гречанюк. 21. Шпак П. А. Влияние электронно-лучевого переплава на структуру и свойства быстрорежу- щей стали Р6М5 / П. А. Шпак, В. Г. Гречанюк, В. А. Осокин // Пробл. спец. электрометал- лургии. – 2002. – № 3. – С. 14–17. 22. Патент 37658 Украина. Способ изготовления заготовок для инструмента из быстрорежу- щей стали / Н. И. Гречанюк, И. Б. Афанасьев, П. А. Шпак. – Опубл. в Бюл. избр. № 7. – 2003. 23. Савенко В. А. Электронно-лучевое рафинирование в производстве платины и сплавов на ее основе. Сообщение 1. Электронно-лучевое рафинирование платины / В. А. Савенко, Н. И. Гречанюк, О. В. Чураков // Современная электрометаллургия. – 2008. – № 1. – С. 16–18. 24. Савенко В. А. Электронно-лучевое рафинирование платины и сплавов на ее основе. Сооб- щение 2. Электронно-лучевое рафинирование сплавов на основе платины / В. А. Савенко, Н. И. Гречанюк, О. В. Чураков // Современная электрометаллургия. – 2008. – № 3. – С. 38– 41. 25. Басин А. С. Получение кремниевых пластин для солнечной энергетики / А. С. Басин, А. В. Шишкин. – Новосибирск: РАН – 2000. – 390 с. 26. Rohatgi A. Opportunities in Silicon photovoltaics and defect control in photovoltaic materials / A. Rohatgi, E. R. Weber, L. C. Kimerling // J. Electron. Mater. – 1993. – Vol. 22, No. 1. – P. 65–72. 27. Shan A. Photo-Voltaic power generation / A. Shan, T. Meier, R. Tsharner, N. Wyrsch // Plasma phys and Controlled Fusion. – 1992 – Vol 34, No. 13. – P. 1837–1844. 28. Eyer A. Silicon sheet materials for solar cells / A. Eyer, A. Kauber, A. Goetzberger // Optoel. De- vices Techol. – 1990. – Vol. 5, No. 2. – P. 239–257. 29. Surek T. NREL PV prodram overview / Naticnal Renewable Energy laboratory. – Golden, Colo- rado, USA, 1955 – 15 p. 30. Grechanyk N. I. New electron beam eguipment and technologies of producing advanced materials and coatings / N. I. Grechanyk, P. P. Kucherenko, I. N. Grechanyk // Haton Welding Jornal – may. – 2007 – P. 25–29.

Схожі ресурси