Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов

• Veröffentlicht in: Металлофизика и новейшие технологии
• Datum: 2017
• Hauptverfasser: Макогон, Ю.Н., Сидоренко, С.И., Шкарбань, Р.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2017
• Schlagworte: Металлические поверхности и плёнки
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125497
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов / Ю.Н. Макогон, С.И. Сидоренко, Р.А. Шкарбань // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 5. — С. 677-691. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Изучено влияние температуры подложки и среды отжига (вакуум или атмосфера азота) на формирования фазового состава и структуры наноразмерных плёнок CoSbх (30 нм) (1,8 ≤ х ≤ 4,2) с концентрацией Sb от 65 ат.% до 81 ат.%. Вивчено вплив температури підкладинки та середовища відпалу (вакуум або атмосфера азоту) на формування фазового складу та структури нанорозмірних плівок CoSbх (30 нм) (1,8 ≤ х ≤ 4,2) з концентрацією Sb від 65 ат.% до 81 ат.%. Effect of both the substrate temperature and the annealing atmosphere (vacuum or nitrogen atmosphere) on the formation of the phase composition and structures in nanoscale CoSbх films (30 nm) (1.8 ≤ х ≤ 4.2) with concentration of Sb from 65 at.% to 81 at.% is investigated.