Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов
Изучено влияние температуры подложки и среды отжига (вакуум или атмосфера азота) на формирования фазового состава и структуры наноразмерных плёнок CoSbх (30 нм) (1,8 ≤ х ≤ 4,2) с концентрацией Sb от 65 ат.% до 81 ат.%. Вивчено вплив температури підкладинки та середовища відпалу (вакуум або атмосфе...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Datum: | 2017 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2017
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125497 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов / Ю.Н. Макогон, С.И. Сидоренко, Р.А. Шкарбань // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 5. — С. 677-691. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |