Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов

• Veröffentlicht in: Металлофизика и новейшие технологии
• Datum: 2017
• Hauptverfasser: Макогон, Ю.Н., Сидоренко, С.И., Шкарбань, Р.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2017
• Schlagworte: Металлические поверхности и плёнки
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125497
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов / Ю.Н. Макогон, С.И. Сидоренко, Р.А. Шкарбань // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 5. — С. 677-691. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Изучено влияние температуры подложки и среды отжига (вакуум или атмосфера азота) на формирования фазового состава и структуры наноразмерных плёнок CoSbх (30 нм) (1,8 ≤ х ≤ 4,2) с концентрацией Sb от 65 ат.% до 81 ат.%. Вивчено вплив температури підкладинки та середовища відпалу (вакуум або атмосфе...