Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
В обзоре описаны основные результаты многочисленных прямых наблюдений образования микродефектов (преципитатов кислорода и дислокационных петель) в кристалле кремния при его выращивании и термообработках. Кратко изложены термодинамические представления об образовании частиц новой фазы в пересыщенном...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Успехи физики металлов |
|---|---|
| Datum: | 2006 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2006
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125801 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах / С.Й. Олиховский, М.М. Белова, Е.В. Кочелаб // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 3. — С. 135-171. — Бібліогр.: 81 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862722062636810240 |
|---|---|
| author | Олиховский, С.Й. Белова, М.М. Кочелаб, Е.В. |
| author_facet | Олиховский, С.Й. Белова, М.М. Кочелаб, Е.В. |
| citation_txt | Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах / С.Й. Олиховский, М.М. Белова, Е.В. Кочелаб // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 3. — С. 135-171. — Бібліогр.: 81 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Успехи физики металлов |
| description | В обзоре описаны основные результаты многочисленных прямых наблюдений образования микродефектов (преципитатов кислорода и дислокационных петель) в кристалле кремния при его выращивании и термообработках. Кратко изложены термодинамические представления об образовании частиц новой фазы в пересыщенном твердом растворе кислорода в кремнии. Представлены классические подходы к описанию кинетики преципитации кислорода. Описаны современные модели кинетики роста и распада преципитатов и дислокационных петель в кремнии.
В обзорі наведено основні результати численних прямих спостережень утворення мікродефектів (преципітатів кисню та дисльокаційних петель) у кристалі кремнію при його вирощуванні та термообробках. Коротко подано термодинамічні уявлення про утворення частинок нової фази у перенасиченому твердому розчині кисню у кремнії. Представлено клясичні підходи до опису кінетики преципітації кисню. Описано сучасні моделі кінетики росту і розпаду преципітатів та дисльокаційних петель у кремнії.
In the review, the main results of numerous direct observations of microdefects’ formation (oxygen precipitates and dislocation loops) in a silicon crystal during its growth and heat treatments are described. Thermodynamic conceptions concerning formation of new-phase particles in the supersaturated solid solution of oxygen in silicon are briefly presented. Classical approaches to the description of oxygen-precipitation kinetics are represented too. Modern models of kinetics of growth and decomposition of precipitates and dislocation loops in silicon are described.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:33:47Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-125801 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1608-1021 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:33:47Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Олиховский, С.Й. Белова, М.М. Кочелаб, Е.В. 2017-11-04T13:55:15Z 2017-11-04T13:55:15Z 2006 Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах / С.Й. Олиховский, М.М. Белова, Е.В. Кочелаб // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 3. — С. 135-171. — Бібліогр.: 81 назв. — рос. 1608-1021 PACS: 61.72. Bb, 61.72. Cc, 61.72.Jj, 61.72.Yx, 64.60.Qb, 82.60.Nh, 82.60.Qr DOI: https://doi.org/10.15407/ufm.07.03.135 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125801 В обзоре описаны основные результаты многочисленных прямых наблюдений образования микродефектов (преципитатов кислорода и дислокационных петель) в кристалле кремния при его выращивании и термообработках. Кратко изложены термодинамические представления об образовании частиц новой фазы в пересыщенном твердом растворе кислорода в кремнии. Представлены классические подходы к описанию кинетики преципитации кислорода. Описаны современные модели кинетики роста и распада преципитатов и дислокационных петель в кремнии. В обзорі наведено основні результати численних прямих спостережень утворення мікродефектів (преципітатів кисню та дисльокаційних петель) у кристалі кремнію при його вирощуванні та термообробках. Коротко подано термодинамічні уявлення про утворення частинок нової фази у перенасиченому твердому розчині кисню у кремнії. Представлено клясичні підходи до опису кінетики преципітації кисню. Описано сучасні моделі кінетики росту і розпаду преципітатів та дисльокаційних петель у кремнії. In the review, the main results of numerous direct observations of microdefects’ formation (oxygen precipitates and dislocation loops) in a silicon crystal during its growth and heat treatments are described. Thermodynamic conceptions concerning formation of new-phase particles in the supersaturated solid solution of oxygen in silicon are briefly presented. Classical approaches to the description of oxygen-precipitation kinetics are represented too. Modern models of kinetics of growth and decomposition of precipitates and dislocation loops in silicon are described. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Успехи физики металлов Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах Кінетика утворення і росту мікродефектів у кристалах Kinetics of Formation and Growth of Microdefects in Crystals Article published earlier |
| spellingShingle | Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах Олиховский, С.Й. Белова, М.М. Кочелаб, Е.В. |
| title | Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах |
| title_alt | Кінетика утворення і росту мікродефектів у кристалах Kinetics of Formation and Growth of Microdefects in Crystals |
| title_full | Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах |
| title_fullStr | Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах |
| title_full_unstemmed | Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах |
| title_short | Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах |
| title_sort | кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125801 |
| work_keys_str_mv | AT olihovskiisi kinetikaobrazovaniâirostamikrodefektovvkristallah AT belovamm kinetikaobrazovaniâirostamikrodefektovvkristallah AT kočelabev kinetikaobrazovaniâirostamikrodefektovvkristallah AT olihovskiisi kínetikautvorennâírostumíkrodefektívukristalah AT belovamm kínetikautvorennâírostumíkrodefektívukristalah AT kočelabev kínetikautvorennâírostumíkrodefektívukristalah AT olihovskiisi kineticsofformationandgrowthofmicrodefectsincrystals AT belovamm kineticsofformationandgrowthofmicrodefectsincrystals AT kočelabev kineticsofformationandgrowthofmicrodefectsincrystals |