Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах

В обзоре описаны основные результаты многочисленных прямых наблюдений образования микродефектов (преципитатов кислорода и дислокационных петель) в кристалле кремния при его выращивании и термообработках. Кратко изложены термодинамические представления об образовании частиц новой фазы в пересыщенном...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Успехи физики металлов
Дата:2006
Автори: Олиховский, С.Й., Белова, М.М., Кочелаб, Е.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2006
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125801
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах / С.Й. Олиховский, М.М. Белова, Е.В. Кочелаб // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 3. — С. 135-171. — Бібліогр.: 81 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-125801
record_format dspace
spelling Олиховский, С.Й.
Белова, М.М.
Кочелаб, Е.В.
2017-11-04T13:55:15Z
2017-11-04T13:55:15Z
2006
Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах / С.Й. Олиховский, М.М. Белова, Е.В. Кочелаб // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 3. — С. 135-171. — Бібліогр.: 81 назв. — рос.
1608-1021
PACS: 61.72. Bb, 61.72. Cc, 61.72.Jj, 61.72.Yx, 64.60.Qb, 82.60.Nh, 82.60.Qr
DOI: https://doi.org/10.15407/ufm.07.03.135
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125801
В обзоре описаны основные результаты многочисленных прямых наблюдений образования микродефектов (преципитатов кислорода и дислокационных петель) в кристалле кремния при его выращивании и термообработках. Кратко изложены термодинамические представления об образовании частиц новой фазы в пересыщенном твердом растворе кислорода в кремнии. Представлены классические подходы к описанию кинетики преципитации кислорода. Описаны современные модели кинетики роста и распада преципитатов и дислокационных петель в кремнии.
В обзорі наведено основні результати численних прямих спостережень утворення мікродефектів (преципітатів кисню та дисльокаційних петель) у кристалі кремнію при його вирощуванні та термообробках. Коротко подано термодинамічні уявлення про утворення частинок нової фази у перенасиченому твердому розчині кисню у кремнії. Представлено клясичні підходи до опису кінетики преципітації кисню. Описано сучасні моделі кінетики росту і розпаду преципітатів та дисльокаційних петель у кремнії.
In the review, the main results of numerous direct observations of microdefects’ formation (oxygen precipitates and dislocation loops) in a silicon crystal during its growth and heat treatments are described. Thermodynamic conceptions concerning formation of new-phase particles in the supersaturated solid solution of oxygen in silicon are briefly presented. Classical approaches to the description of oxygen-precipitation kinetics are represented too. Modern models of kinetics of growth and decomposition of precipitates and dislocation loops in silicon are described.
ru
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Успехи физики металлов
Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
Кінетика утворення і росту мікродефектів у кристалах
Kinetics of Formation and Growth of Microdefects in Crystals
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
spellingShingle Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
Олиховский, С.Й.
Белова, М.М.
Кочелаб, Е.В.
title_short Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
title_full Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
title_fullStr Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
title_full_unstemmed Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
title_sort кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
author Олиховский, С.Й.
Белова, М.М.
Кочелаб, Е.В.
author_facet Олиховский, С.Й.
Белова, М.М.
Кочелаб, Е.В.
publishDate 2006
language Russian
container_title Успехи физики металлов
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Кінетика утворення і росту мікродефектів у кристалах
Kinetics of Formation and Growth of Microdefects in Crystals
description В обзоре описаны основные результаты многочисленных прямых наблюдений образования микродефектов (преципитатов кислорода и дислокационных петель) в кристалле кремния при его выращивании и термообработках. Кратко изложены термодинамические представления об образовании частиц новой фазы в пересыщенном твердом растворе кислорода в кремнии. Представлены классические подходы к описанию кинетики преципитации кислорода. Описаны современные модели кинетики роста и распада преципитатов и дислокационных петель в кремнии. В обзорі наведено основні результати численних прямих спостережень утворення мікродефектів (преципітатів кисню та дисльокаційних петель) у кристалі кремнію при його вирощуванні та термообробках. Коротко подано термодинамічні уявлення про утворення частинок нової фази у перенасиченому твердому розчині кисню у кремнії. Представлено клясичні підходи до опису кінетики преципітації кисню. Описано сучасні моделі кінетики росту і розпаду преципітатів та дисльокаційних петель у кремнії. In the review, the main results of numerous direct observations of microdefects’ formation (oxygen precipitates and dislocation loops) in a silicon crystal during its growth and heat treatments are described. Thermodynamic conceptions concerning formation of new-phase particles in the supersaturated solid solution of oxygen in silicon are briefly presented. Classical approaches to the description of oxygen-precipitation kinetics are represented too. Modern models of kinetics of growth and decomposition of precipitates and dislocation loops in silicon are described.
issn 1608-1021
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125801
citation_txt Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах / С.Й. Олиховский, М.М. Белова, Е.В. Кочелаб // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 3. — С. 135-171. — Бібліогр.: 81 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT olihovskiisi kinetikaobrazovaniâirostamikrodefektovvkristallah
AT belovamm kinetikaobrazovaniâirostamikrodefektovvkristallah
AT kočelabev kinetikaobrazovaniâirostamikrodefektovvkristallah
AT olihovskiisi kínetikautvorennâírostumíkrodefektívukristalah
AT belovamm kínetikautvorennâírostumíkrodefektívukristalah
AT kočelabev kínetikautvorennâírostumíkrodefektívukristalah
AT olihovskiisi kineticsofformationandgrowthofmicrodefectsincrystals
AT belovamm kineticsofformationandgrowthofmicrodefectsincrystals
AT kočelabev kineticsofformationandgrowthofmicrodefectsincrystals
first_indexed 2025-12-07T18:33:47Z
last_indexed 2025-12-07T18:33:47Z
_version_ 1850875500587646977