Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ

Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ

Виконано ретельні теоретичні й експериментальні дослідження та модернізацію окремих процесів лазерної та магнетронної метод осадження з метою створення YBa₂Cu₃O₇₋δ плівок та бар’єрних шарів CeО₂ з контрольованою кристалічною структурою і високими надпровідними властивостями плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ. У рез...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Успехи физики металлов
Дата:2006
Автори: Фліс, В.С., Пан, В.М., Комашко, В.А., Москалюк, В.О., Пешко, І.І.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2006
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125803
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ / В.С. Фліс, В.М. Пан, В.А. Комашко, В.О. Москалюк, І.І. Пешко // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 4. — С. 189-241. — Бібліогр.: 37 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-125803
record_format dspace
spelling Фліс, В.С.
Пан, В.М.
Комашко, В.А.
Москалюк, В.О.
Пешко, І.І.
2017-11-04T14:50:41Z
2017-11-04T14:50:41Z
2006
Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ / В.С. Фліс, В.М. Пан, В.А. Комашко, В.О. Москалюк, І.І. Пешко // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 4. — С. 189-241. — Бібліогр.: 37 назв. — укр.
1608-1021
PACS: 61.72.Lk, 74.72.Bk, 74.76.Bz, 81.15.Cd, 81.15.Fg, 81.40.Rs, 85.25.-j
DOI: https://doi.org/10.15407/ufm.07.04.189
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125803
Виконано ретельні теоретичні й експериментальні дослідження та модернізацію окремих процесів лазерної та магнетронної метод осадження з метою створення YBa₂Cu₃O₇₋δ плівок та бар’єрних шарів CeО₂ з контрольованою кристалічною структурою і високими надпровідними властивостями плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ. У результаті роботи розроблено фізико-технологічні основи процесу одержання надпровідних плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ на діелектричних (сапфірових) підложжях із використанням бар’єрного шару CeО₂, як методою двопроменевого лазерного осадження, так і магнетронного розпорошення.
Проведены тщательные теоретические и экспериментальные исследования и модернизация отдельных процессов лазерного и магнетронного методов осаждения с целью создания YBa₂Cu₃O₇₋δ пленок и барьерных слоев СеО₂ с контролируемой кристаллической структурой и высокими сверхпроводящими свойствами пленок YBa₂Cu₃O₇₋δ. В результате работы разработаны физико-технологические основы получения сверхпроводящих пленок YBa₂Cu₃O₇₋δ на диэлектрических (сапфировых) подложках с использованием барьерного слоя CeО₂, как методом двухлучевого лазерного осаждения, так и магнетронного распыления.
The careful experimental and theoretical studies followed by a subsequent improvement of high-Tc superconducting YBa₂Cu₃O₇₋δ films’ and buffer CeО₂ layers’ deposition technologies with a use of laser and magnetron deposition techniques are carried out in order to obtain СеО₂-buffered high-Tc superconducting YBa₂Cu₃O₇₋δ films with a controllable crystalline structure and high superconducting properties. As a result of this work, the physical and technological backgrounds of the deposition processes of perfect YBa₂Cu₃O₇₋δ films on dielectric (sapphire) substrates with a use of buffer CeО₂ layers are developed for both two-beam laser and magnetron deposition techniques.
Автори висловлюють подяку всім колегам, які зробили внесок в цю роботу. Автори також вдячні НАН України за підтримку цієї роботи за темою 037 Інституту металофізики, Українському науково-технологічному центру за підтримку по проекту УНТЦ № 3022 та МОН України за підтримку по договору № М/251-2004.
uk
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Успехи физики металлов
Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ
Физико-технологические основы осаждения тонких ВТСП-плёнок YBa₂Cu₃O₇₋δ
Physicotechnological Principles of Deposition of Thin High-Tc Superconducting Films of YBa₂Cu₃O₇₋δ
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ
spellingShingle Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ
Фліс, В.С.
Пан, В.М.
Комашко, В.А.
Москалюк, В.О.
Пешко, І.І.
title_short Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ
title_full Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ
title_fullStr Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ
title_full_unstemmed Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ
title_sort фізико-технологічні основи осадження тонких втнп-плівок yba₂cu₃o₇₋δ
author Фліс, В.С.
Пан, В.М.
Комашко, В.А.
Москалюк, В.О.
Пешко, І.І.
author_facet Фліс, В.С.
Пан, В.М.
Комашко, В.А.
Москалюк, В.О.
Пешко, І.І.
publishDate 2006
language Ukrainian
container_title Успехи физики металлов
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Физико-технологические основы осаждения тонких ВТСП-плёнок YBa₂Cu₃O₇₋δ
Physicotechnological Principles of Deposition of Thin High-Tc Superconducting Films of YBa₂Cu₃O₇₋δ
description Виконано ретельні теоретичні й експериментальні дослідження та модернізацію окремих процесів лазерної та магнетронної метод осадження з метою створення YBa₂Cu₃O₇₋δ плівок та бар’єрних шарів CeО₂ з контрольованою кристалічною структурою і високими надпровідними властивостями плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ. У результаті роботи розроблено фізико-технологічні основи процесу одержання надпровідних плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ на діелектричних (сапфірових) підложжях із використанням бар’єрного шару CeО₂, як методою двопроменевого лазерного осадження, так і магнетронного розпорошення. Проведены тщательные теоретические и экспериментальные исследования и модернизация отдельных процессов лазерного и магнетронного методов осаждения с целью создания YBa₂Cu₃O₇₋δ пленок и барьерных слоев СеО₂ с контролируемой кристаллической структурой и высокими сверхпроводящими свойствами пленок YBa₂Cu₃O₇₋δ. В результате работы разработаны физико-технологические основы получения сверхпроводящих пленок YBa₂Cu₃O₇₋δ на диэлектрических (сапфировых) подложках с использованием барьерного слоя CeО₂, как методом двухлучевого лазерного осаждения, так и магнетронного распыления. The careful experimental and theoretical studies followed by a subsequent improvement of high-Tc superconducting YBa₂Cu₃O₇₋δ films’ and buffer CeО₂ layers’ deposition technologies with a use of laser and magnetron deposition techniques are carried out in order to obtain СеО₂-buffered high-Tc superconducting YBa₂Cu₃O₇₋δ films with a controllable crystalline structure and high superconducting properties. As a result of this work, the physical and technological backgrounds of the deposition processes of perfect YBa₂Cu₃O₇₋δ films on dielectric (sapphire) substrates with a use of buffer CeО₂ layers are developed for both two-beam laser and magnetron deposition techniques.
issn 1608-1021
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125803
citation_txt Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ / В.С. Фліс, В.М. Пан, В.А. Комашко, В.О. Москалюк, І.І. Пешко // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 4. — С. 189-241. — Бібліогр.: 37 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT flísvs fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7δ
AT panvm fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7δ
AT komaškova fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7δ
AT moskalûkvo fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7δ
AT peškoíí fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7δ
AT flísvs fizikotehnologičeskieosnovyosaždeniâtonkihvtspplenokyba2cu3o7δ
AT panvm fizikotehnologičeskieosnovyosaždeniâtonkihvtspplenokyba2cu3o7δ
AT komaškova fizikotehnologičeskieosnovyosaždeniâtonkihvtspplenokyba2cu3o7δ
AT moskalûkvo fizikotehnologičeskieosnovyosaždeniâtonkihvtspplenokyba2cu3o7δ
AT peškoíí fizikotehnologičeskieosnovyosaždeniâtonkihvtspplenokyba2cu3o7δ
AT flísvs physicotechnologicalprinciplesofdepositionofthinhightcsuperconductingfilmsofyba2cu3o7δ
AT panvm physicotechnologicalprinciplesofdepositionofthinhightcsuperconductingfilmsofyba2cu3o7δ
AT komaškova physicotechnologicalprinciplesofdepositionofthinhightcsuperconductingfilmsofyba2cu3o7δ
AT moskalûkvo physicotechnologicalprinciplesofdepositionofthinhightcsuperconductingfilmsofyba2cu3o7δ
AT peškoíí physicotechnologicalprinciplesofdepositionofthinhightcsuperconductingfilmsofyba2cu3o7δ
first_indexed 2025-12-07T20:38:22Z
last_indexed 2025-12-07T20:38:22Z
_version_ 1850883338232922112

Схожі ресурси