Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ
Виконано ретельні теоретичні й експериментальні дослідження та модернізацію окремих процесів лазерної та магнетронної метод осадження з метою створення YBa₂Cu₃O₇₋δ плівок та бар’єрних шарів CeО₂ з контрольованою кристалічною структурою і високими надпровідними властивостями плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ. У рез...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Успехи физики металлов |
|---|---|
| Datum: | 2006 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2006
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125803 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ / В.С. Фліс, В.М. Пан, В.А. Комашко, В.О. Москалюк, І.І. Пешко // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 4. — С. 189-241. — Бібліогр.: 37 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862745029009735680 |
|---|---|
| author | Фліс, В.С. Пан, В.М. Комашко, В.А. Москалюк, В.О. Пешко, І.І. |
| author_facet | Фліс, В.С. Пан, В.М. Комашко, В.А. Москалюк, В.О. Пешко, І.І. |
| citation_txt | Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ / В.С. Фліс, В.М. Пан, В.А. Комашко, В.О. Москалюк, І.І. Пешко // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 4. — С. 189-241. — Бібліогр.: 37 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Успехи физики металлов |
| description | Виконано ретельні теоретичні й експериментальні дослідження та модернізацію окремих процесів лазерної та магнетронної метод осадження з метою створення YBa₂Cu₃O₇₋δ плівок та бар’єрних шарів CeО₂ з контрольованою кристалічною структурою і високими надпровідними властивостями плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ. У результаті роботи розроблено фізико-технологічні основи процесу одержання надпровідних плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ на діелектричних (сапфірових) підложжях із використанням бар’єрного шару CeО₂, як методою двопроменевого лазерного осадження, так і магнетронного розпорошення.
Проведены тщательные теоретические и экспериментальные исследования и модернизация отдельных процессов лазерного и магнетронного методов осаждения с целью создания YBa₂Cu₃O₇₋δ пленок и барьерных слоев СеО₂ с контролируемой кристаллической структурой и высокими сверхпроводящими свойствами пленок YBa₂Cu₃O₇₋δ. В результате работы разработаны физико-технологические основы получения сверхпроводящих пленок YBa₂Cu₃O₇₋δ на диэлектрических (сапфировых) подложках с использованием барьерного слоя CeО₂, как методом двухлучевого лазерного осаждения, так и магнетронного распыления.
The careful experimental and theoretical studies followed by a subsequent improvement of high-Tc superconducting YBa₂Cu₃O₇₋δ films’ and buffer CeО₂ layers’ deposition technologies with a use of laser and magnetron deposition techniques are carried out in order to obtain СеО₂-buffered high-Tc superconducting YBa₂Cu₃O₇₋δ films with a controllable crystalline structure and high superconducting properties. As a result of this work, the physical and technological backgrounds of the deposition processes of perfect YBa₂Cu₃O₇₋δ films on dielectric (sapphire) substrates with a use of buffer CeО₂ layers are developed for both two-beam laser and magnetron deposition techniques.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:38:22Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-125803 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1608-1021 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:38:22Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Фліс, В.С. Пан, В.М. Комашко, В.А. Москалюк, В.О. Пешко, І.І. 2017-11-04T14:50:41Z 2017-11-04T14:50:41Z 2006 Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ / В.С. Фліс, В.М. Пан, В.А. Комашко, В.О. Москалюк, І.І. Пешко // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 4. — С. 189-241. — Бібліогр.: 37 назв. — укр. 1608-1021 PACS: 61.72.Lk, 74.72.Bk, 74.76.Bz, 81.15.Cd, 81.15.Fg, 81.40.Rs, 85.25.-j DOI: https://doi.org/10.15407/ufm.07.04.189 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125803 Виконано ретельні теоретичні й експериментальні дослідження та модернізацію окремих процесів лазерної та магнетронної метод осадження з метою створення YBa₂Cu₃O₇₋δ плівок та бар’єрних шарів CeО₂ з контрольованою кристалічною структурою і високими надпровідними властивостями плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ. У результаті роботи розроблено фізико-технологічні основи процесу одержання надпровідних плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ на діелектричних (сапфірових) підложжях із використанням бар’єрного шару CeО₂, як методою двопроменевого лазерного осадження, так і магнетронного розпорошення. Проведены тщательные теоретические и экспериментальные исследования и модернизация отдельных процессов лазерного и магнетронного методов осаждения с целью создания YBa₂Cu₃O₇₋δ пленок и барьерных слоев СеО₂ с контролируемой кристаллической структурой и высокими сверхпроводящими свойствами пленок YBa₂Cu₃O₇₋δ. В результате работы разработаны физико-технологические основы получения сверхпроводящих пленок YBa₂Cu₃O₇₋δ на диэлектрических (сапфировых) подложках с использованием барьерного слоя CeО₂, как методом двухлучевого лазерного осаждения, так и магнетронного распыления. The careful experimental and theoretical studies followed by a subsequent improvement of high-Tc superconducting YBa₂Cu₃O₇₋δ films’ and buffer CeО₂ layers’ deposition technologies with a use of laser and magnetron deposition techniques are carried out in order to obtain СеО₂-buffered high-Tc superconducting YBa₂Cu₃O₇₋δ films with a controllable crystalline structure and high superconducting properties. As a result of this work, the physical and technological backgrounds of the deposition processes of perfect YBa₂Cu₃O₇₋δ films on dielectric (sapphire) substrates with a use of buffer CeО₂ layers are developed for both two-beam laser and magnetron deposition techniques. Автори висловлюють подяку всім колегам, які зробили внесок в цю роботу. Автори також вдячні НАН України за підтримку цієї роботи за темою 037 Інституту металофізики, Українському науково-технологічному центру за підтримку по проекту УНТЦ № 3022 та МОН України за підтримку по договору № М/251-2004. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Успехи физики металлов Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ Физико-технологические основы осаждения тонких ВТСП-плёнок YBa₂Cu₃O₇₋δ Physicotechnological Principles of Deposition of Thin High-Tc Superconducting Films of YBa₂Cu₃O₇₋δ Article published earlier |
| spellingShingle | Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ Фліс, В.С. Пан, В.М. Комашко, В.А. Москалюк, В.О. Пешко, І.І. |
| title | Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ |
| title_alt | Физико-технологические основы осаждения тонких ВТСП-плёнок YBa₂Cu₃O₇₋δ Physicotechnological Principles of Deposition of Thin High-Tc Superconducting Films of YBa₂Cu₃O₇₋δ |
| title_full | Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ |
| title_fullStr | Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ |
| title_full_unstemmed | Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ |
| title_short | Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ |
| title_sort | фізико-технологічні основи осадження тонких втнп-плівок yba₂cu₃o₇₋δ |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125803 |
| work_keys_str_mv | AT flísvs fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7δ AT panvm fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7δ AT komaškova fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7δ AT moskalûkvo fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7δ AT peškoíí fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7δ AT flísvs fizikotehnologičeskieosnovyosaždeniâtonkihvtspplenokyba2cu3o7δ AT panvm fizikotehnologičeskieosnovyosaždeniâtonkihvtspplenokyba2cu3o7δ AT komaškova fizikotehnologičeskieosnovyosaždeniâtonkihvtspplenokyba2cu3o7δ AT moskalûkvo fizikotehnologičeskieosnovyosaždeniâtonkihvtspplenokyba2cu3o7δ AT peškoíí fizikotehnologičeskieosnovyosaždeniâtonkihvtspplenokyba2cu3o7δ AT flísvs physicotechnologicalprinciplesofdepositionofthinhightcsuperconductingfilmsofyba2cu3o7δ AT panvm physicotechnologicalprinciplesofdepositionofthinhightcsuperconductingfilmsofyba2cu3o7δ AT komaškova physicotechnologicalprinciplesofdepositionofthinhightcsuperconductingfilmsofyba2cu3o7δ AT moskalûkvo physicotechnologicalprinciplesofdepositionofthinhightcsuperconductingfilmsofyba2cu3o7δ AT peškoíí physicotechnologicalprinciplesofdepositionofthinhightcsuperconductingfilmsofyba2cu3o7δ |