Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследования
В обзоре систематизированы результаты исследований последних 25 лет в области получения и применения Cr–N-покрытий, создаваемых с помощью вакуумно-дуговых, магнетронных и ионно-стимулированных технологий. Проанализирована взаимосвязь между базовыми параметрами процессов, такими как давление рабочего...
Saved in:
| Published in: | Успехи физики металлов |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2005
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125815 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследования / А.Г. Гугля, И.М. Неклюдов // Успехи физики металлов. — 2005. — Т. 6, № 3. — С. 197-232. — Бібліогр.: 102 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-125815 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Гугля, А.Г. Неклюдов, И.М. 2017-11-04T18:55:21Z 2017-11-04T18:55:21Z 2005 Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследования / А.Г. Гугля, И.М. Неклюдов // Успехи физики металлов. — 2005. — Т. 6, № 3. — С. 197-232. — Бібліогр.: 102 назв. — рос. 1608-1021 PACS: 62.20.Qp, 68.55.Ln, 68.60.Bs, 81.15.Cd, 81.15.Ef, 81.15.Jj, 81.65.Lp DOI: https://doi.org/10.15407/ufm.06.03.197 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125815 В обзоре систематизированы результаты исследований последних 25 лет в области получения и применения Cr–N-покрытий, создаваемых с помощью вакуумно-дуговых, магнетронных и ионно-стимулированных технологий. Проанализирована взаимосвязь между базовыми параметрами процессов, такими как давление рабочего газа, энергия ионов, степень ионизации, потенциал смещения и др., и структурно-фазовыми, механическими и трибологическими характеристиками покрытий. Выявлены характерные отличия в условиях получения покрытий CrN и Cr₂N. Проведено сравнение эксплуатационных свойств Ti–N- и Cr–N-покрытий. У даному огляді систематизовано результати досліджень за останні 25 років у галузі одержання та використання Cr–N-покриттів, які створюються за допомогою вакуумно-дугових, магнетронних та йонно-стимульованих технологій. Проаналізовано взаємозв’язок між базовими параметрами процесів, такими як тиск робочого газу, енергія йонів, ступінь йонізації, потенціял зміщення та ін., і структурно-фазовими, механічними та трибологічними характеристиками покриттів. Виявлено характерні відмінності в умовах створення покриттів CrN та Cr₂N. Виконано порівняння експлуатаційних властивостей Ti–N- та Cr–N-покриттів. The investigation results concerning fabrication and application of Cr–N coatings, which are produced by the vacuum-arc evaporation, magnetron sputtering, and ion-beam-assisted deposition, are systematized. The links between base parameters of these processes such as gas pressure, ion energy, ionization degree, bias potential and structure, mechanical, and tribological characteristics are analyzed. The characteristic differences of fabrication conditions for CrN and Cr₂N coatings are revealed. The comparison of performance attributes of Ti–N and Cr–N coatings is carried out. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Успехи физики металлов Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследования Покриття на базі нітриду хрому. Досвід створення та дослідження Coatings on the Basis of Chromium Nitride. Experience of Design and Investigation Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследования |
| spellingShingle |
Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследования Гугля, А.Г. Неклюдов, И.М. |
| title_short |
Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследования |
| title_full |
Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследования |
| title_fullStr |
Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследования |
| title_full_unstemmed |
Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследования |
| title_sort |
покрытия на базе нитрида хрома. опыт создания и исследования |
| author |
Гугля, А.Г. Неклюдов, И.М. |
| author_facet |
Гугля, А.Г. Неклюдов, И.М. |
| publishDate |
2005 |
| language |
Russian |
| container_title |
Успехи физики металлов |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Покриття на базі нітриду хрому. Досвід створення та дослідження Coatings on the Basis of Chromium Nitride. Experience of Design and Investigation |
| description |
В обзоре систематизированы результаты исследований последних 25 лет в области получения и применения Cr–N-покрытий, создаваемых с помощью вакуумно-дуговых, магнетронных и ионно-стимулированных технологий. Проанализирована взаимосвязь между базовыми параметрами процессов, такими как давление рабочего газа, энергия ионов, степень ионизации, потенциал смещения и др., и структурно-фазовыми, механическими и трибологическими характеристиками покрытий. Выявлены характерные отличия в условиях получения покрытий CrN и Cr₂N. Проведено сравнение эксплуатационных свойств Ti–N- и Cr–N-покрытий.
У даному огляді систематизовано результати досліджень за останні 25 років у галузі одержання та використання Cr–N-покриттів, які створюються за допомогою вакуумно-дугових, магнетронних та йонно-стимульованих технологій. Проаналізовано взаємозв’язок між базовими параметрами процесів, такими як тиск робочого газу, енергія йонів, ступінь йонізації, потенціял зміщення та ін., і структурно-фазовими, механічними та трибологічними характеристиками покриттів. Виявлено характерні відмінності в умовах створення покриттів CrN та Cr₂N. Виконано порівняння експлуатаційних властивостей Ti–N- та Cr–N-покриттів.
The investigation results concerning fabrication and application of Cr–N coatings, which are produced by the vacuum-arc evaporation, magnetron sputtering, and ion-beam-assisted deposition, are systematized. The links between base parameters of these processes such as gas pressure, ion energy, ionization degree, bias potential and structure, mechanical, and tribological characteristics are analyzed. The characteristic differences of fabrication conditions for CrN and Cr₂N coatings are revealed. The comparison of performance attributes of Ti–N and Cr–N coatings is carried out.
|
| issn |
1608-1021 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125815 |
| citation_txt |
Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследования / А.Г. Гугля, И.М. Неклюдов // Успехи физики металлов. — 2005. — Т. 6, № 3. — С. 197-232. — Бібліогр.: 102 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT guglâag pokrytiânabazenitridahromaopytsozdaniâiissledovaniâ AT neklûdovim pokrytiânabazenitridahromaopytsozdaniâiissledovaniâ AT guglâag pokrittânabazínítriduhromudosvídstvorennâtadoslídžennâ AT neklûdovim pokrittânabazínítriduhromudosvídstvorennâtadoslídžennâ AT guglâag coatingsonthebasisofchromiumnitrideexperienceofdesignandinvestigation AT neklûdovim coatingsonthebasisofchromiumnitrideexperienceofdesignandinvestigation |
| first_indexed |
2025-11-27T20:08:00Z |
| last_indexed |
2025-11-27T20:08:00Z |
| _version_ |
1850852743467499520 |