Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследования

• Published in: Успехи физики металлов
• Date: 2005
• Main Authors: Гугля, А.Г., Неклюдов, И.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2005
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125815
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Покрытия на базе нитрида хрома. Опыт создания и исследования / А.Г. Гугля, И.М. Неклюдов // Успехи физики металлов. — 2005. — Т. 6, № 3. — С. 197-232. — Бібліогр.: 102 назв. — рос.

В обзоре систематизированы результаты исследований последних 25 лет в области получения и применения Cr–N-покрытий, создаваемых с помощью вакуумно-дуговых, магнетронных и ионно-стимулированных технологий. Проанализирована взаимосвязь между базовыми параметрами процессов, такими как давление рабочего...