Микроэлектромеханические системы в медицине

• Published in: Электрические контакты и электроды
• Date: 2016
• Main Authors: Шоффа, В.Н., Бандорина, Е.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2016
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125929
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Микроэлектромеханические системы в медицине / В.Н. Шоффа, Е.Г. Бандорина // Электрические контакты и электроды. — К.: ИПМ НАН України, 2016. — С. 13-22. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Представлен обзор МЭМС и биоМЭМС, областей их применения, конструкций, разработок микрозеркал, а также результаты аналитического расчета и расчета в программе Comsol Multiphysics микрозеркала с тепловым приводом. Представлено огляд МЕМС і біоМЕМС, областей їх застосування, конструкцій, розробок мікр...