Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги

Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги

Защитные покрытия системы Ti–Al–Si–N осаждали вакуумно-дуговым методом при распылении катода состава 78Ti–16Al–6Si в азоте. Фазовый состав и субструктура покрытий системы Ti–Al–Si–N были изучены методом рентгеноструктурного анализа, топография покрытий – методом атомно-силовой микроскопии, химически...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Сверхтвердые материалы
Дата:2013
Автори: Белоус, В.А., Куприн, А.С., Дуб, С.Н., Овчаренко, В.Д., Толмачева, Г.Н., Решетняк, Е.Н., Тимофеева, И.И., Литвин, П.М.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2013
Теми:
Получение, структура, свойства
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126023
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги / В.А. Белоус, А.С. Куприн, С.Н. Дуб, В.Д. Овчаренко, Г.Н. Толмачева, Е.Н. Решетняк, И.И. Тимофеева, П.М. Литвин // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 1. — С. 27-39. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-126023
record_format dspace
spelling Белоус, В.А.
Куприн, А.С.
Дуб, С.Н.
Овчаренко, В.Д.
Толмачева, Г.Н.
Решетняк, Е.Н.
Тимофеева, И.И.
Литвин, П.М.
2017-11-11T17:25:46Z
2017-11-11T17:25:46Z
2013
Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги / В.А. Белоус, А.С. Куприн, С.Н. Дуб, В.Д. Овчаренко, Г.Н. Толмачева, Е.Н. Решетняк, И.И. Тимофеева, П.М. Литвин // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 1. — С. 27-39. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
0203-3119
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126023
549.2: 539.1
Защитные покрытия системы Ti–Al–Si–N осаждали вакуумно-дуговым методом при распылении катода состава 78Ti–16Al–6Si в азоте. Фазовый состав и субструктура покрытий системы Ti–Al–Si–N были изучены методом рентгеноструктурного анализа, топография покрытий – методом атомно-силовой микроскопии, химический состав определяли рентгенофлюоресцентным методом, твердость и модуль упругости покрытий – методом наноиндентирования. Установлено, что в системе Ti–Al–Si–N при росте давления азота в камере осаждения происходит переход от нанокристаллических (до 0,04 Па) к нанокомпозитным (0,04–0,66 Па) и рентгеноаморфным (0,66–1,1 Па) покрытиям, а при давлении 2,7 Па количество кристаллической фазы опять резко возрастает. Оптимальные механические свойства и максимальную термостабильность имеют покрытия с нанокристаллической структурой и нанокомпозитные с низким содержанием аморфной фазы, твердость которых достигает 47 ГПа.
Захисні покриття системи Ti–Al–Si–N осаджували вакуумно-дуговим методом при розпиленні катода складу 78Ti–16Al–6Si в азоті. Фазовий склад та субструктура покриттів Ti–Al–Si–N були досліджені методом рентгеноструктурного аналізу, топографія покриттів – методом атомно-силової мікроскопії, хімічний склад визначали рентгенофлюоресцентним методом, твердість та модуль пружності покриттів – методом наноіндентування. Встановлено, що в системі Ti–Al–Si–N при зростанні тиску азоту у камері осадження має місце перехід від осадження нанокристалічних (0,01 Па) до нанокомпозитних (0,04–0,66 Па) та рентгеноаморфних (0,66–1 Па) покриттів. При тиску 2,7 Па кількість кристалічної фази в покриттях знову зростає. Оптимальні механічні властивості та максимальну термостійкість мають покриття з нанокристалічною структурою та нанокомпозитні з низьким змістом аморфної фази, твердість яких досягає 47 ГПа.
Protective coatings of Ti–Al–Si–N system have been deposited from vacuum arc by sputtering of 78Ti–16Al–6Si target in nitrogen. Phase composition and substructure of the coatings were studied by X-ray Diffraction (XRD), topography of the coatings – by atomic-force microscopy. Hardness and elastic modulus of coatings were measured by nanoindentation. It was found that transition from deposition of nanocrystalline (up to 0.04 Pa) to nanocomposite (from 0.04 to 0.66 Pa) and amorphous (from 0.66 to 1 Pa) coatings occurs in the Ti–Al–Si–N system with increase of nitrogen pressure in deposition chamber. At pressure of 2.7 Pa the content of crystalline phase increase again. The highest mechanical properties and thermostability have the nanocrystalline coatings and nanocomposites with low content of amorphous phase with hardness up to 47 GPa
ru
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
Сверхтвердые материалы
Получение, структура, свойства
Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
Structure and mechanical properties of Ti–Al–Si–N protective coatings deposited from separated plasma of a vacuum arc
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
spellingShingle Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
Белоус, В.А.
Куприн, А.С.
Дуб, С.Н.
Овчаренко, В.Д.
Толмачева, Г.Н.
Решетняк, Е.Н.
Тимофеева, И.И.
Литвин, П.М.
Получение, структура, свойства
title_short Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
title_full Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
title_fullStr Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
title_full_unstemmed Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
title_sort структура и механические свойства защитных покрытий ti–al–si–n, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
author Белоус, В.А.
Куприн, А.С.
Дуб, С.Н.
Овчаренко, В.Д.
Толмачева, Г.Н.
Решетняк, Е.Н.
Тимофеева, И.И.
Литвин, П.М.
author_facet Белоус, В.А.
Куприн, А.С.
Дуб, С.Н.
Овчаренко, В.Д.
Толмачева, Г.Н.
Решетняк, Е.Н.
Тимофеева, И.И.
Литвин, П.М.
topic Получение, структура, свойства
topic_facet Получение, структура, свойства
publishDate 2013
language Russian
container_title Сверхтвердые материалы
publisher Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
format Article
title_alt Structure and mechanical properties of Ti–Al–Si–N protective coatings deposited from separated plasma of a vacuum arc
description Защитные покрытия системы Ti–Al–Si–N осаждали вакуумно-дуговым методом при распылении катода состава 78Ti–16Al–6Si в азоте. Фазовый состав и субструктура покрытий системы Ti–Al–Si–N были изучены методом рентгеноструктурного анализа, топография покрытий – методом атомно-силовой микроскопии, химический состав определяли рентгенофлюоресцентным методом, твердость и модуль упругости покрытий – методом наноиндентирования. Установлено, что в системе Ti–Al–Si–N при росте давления азота в камере осаждения происходит переход от нанокристаллических (до 0,04 Па) к нанокомпозитным (0,04–0,66 Па) и рентгеноаморфным (0,66–1,1 Па) покрытиям, а при давлении 2,7 Па количество кристаллической фазы опять резко возрастает. Оптимальные механические свойства и максимальную термостабильность имеют покрытия с нанокристаллической структурой и нанокомпозитные с низким содержанием аморфной фазы, твердость которых достигает 47 ГПа. Захисні покриття системи Ti–Al–Si–N осаджували вакуумно-дуговим методом при розпиленні катода складу 78Ti–16Al–6Si в азоті. Фазовий склад та субструктура покриттів Ti–Al–Si–N були досліджені методом рентгеноструктурного аналізу, топографія покриттів – методом атомно-силової мікроскопії, хімічний склад визначали рентгенофлюоресцентним методом, твердість та модуль пружності покриттів – методом наноіндентування. Встановлено, що в системі Ti–Al–Si–N при зростанні тиску азоту у камері осадження має місце перехід від осадження нанокристалічних (0,01 Па) до нанокомпозитних (0,04–0,66 Па) та рентгеноаморфних (0,66–1 Па) покриттів. При тиску 2,7 Па кількість кристалічної фази в покриттях знову зростає. Оптимальні механічні властивості та максимальну термостійкість мають покриття з нанокристалічною структурою та нанокомпозитні з низьким змістом аморфної фази, твердість яких досягає 47 ГПа. Protective coatings of Ti–Al–Si–N system have been deposited from vacuum arc by sputtering of 78Ti–16Al–6Si target in nitrogen. Phase composition and substructure of the coatings were studied by X-ray Diffraction (XRD), topography of the coatings – by atomic-force microscopy. Hardness and elastic modulus of coatings were measured by nanoindentation. It was found that transition from deposition of nanocrystalline (up to 0.04 Pa) to nanocomposite (from 0.04 to 0.66 Pa) and amorphous (from 0.66 to 1 Pa) coatings occurs in the Ti–Al–Si–N system with increase of nitrogen pressure in deposition chamber. At pressure of 2.7 Pa the content of crystalline phase increase again. The highest mechanical properties and thermostability have the nanocrystalline coatings and nanocomposites with low content of amorphous phase with hardness up to 47 GPa
issn 0203-3119
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126023
citation_txt Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги / В.А. Белоус, А.С. Куприн, С.Н. Дуб, В.Д. Овчаренко, Г.Н. Толмачева, Е.Н. Решетняк, И.И. Тимофеева, П.М. Литвин // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 1. — С. 27-39. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT belousva strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi
AT kuprinas strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi
AT dubsn strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi
AT ovčarenkovd strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi
AT tolmačevagn strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi
AT rešetnâken strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi
AT timofeevaii strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi
AT litvinpm strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi
AT belousva structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc
AT kuprinas structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc
AT dubsn structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc
AT ovčarenkovd structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc
AT tolmačevagn structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc
AT rešetnâken structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc
AT timofeevaii structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc
AT litvinpm structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc
first_indexed 2025-12-07T13:25:12Z
last_indexed 2025-12-07T13:25:12Z
_version_ 1850856086386507776

Схожі ресурси