Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги
Защитные покрытия системы Ti–Al–Si–N осаждали вакуумно-дуговым методом при распылении катода состава 78Ti–16Al–6Si в азоте. Фазовый состав и субструктура покрытий системы Ti–Al–Si–N были изучены методом рентгеноструктурного анализа, топография покрытий – методом атомно-силовой микроскопии, химически...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автори: | , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2013
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126023 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги / В.А. Белоус, А.С. Куприн, С.Н. Дуб, В.Д. Овчаренко, Г.Н. Толмачева, Е.Н. Решетняк, И.И. Тимофеева, П.М. Литвин // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 1. — С. 27-39. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862622019916398592 |
|---|---|
| author | Белоус, В.А. Куприн, А.С. Дуб, С.Н. Овчаренко, В.Д. Толмачева, Г.Н. Решетняк, Е.Н. Тимофеева, И.И. Литвин, П.М. |
| author_facet | Белоус, В.А. Куприн, А.С. Дуб, С.Н. Овчаренко, В.Д. Толмачева, Г.Н. Решетняк, Е.Н. Тимофеева, И.И. Литвин, П.М. |
| citation_txt | Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги / В.А. Белоус, А.С. Куприн, С.Н. Дуб, В.Д. Овчаренко, Г.Н. Толмачева, Е.Н. Решетняк, И.И. Тимофеева, П.М. Литвин // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 1. — С. 27-39. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Сверхтвердые материалы |
| description | Защитные покрытия системы Ti–Al–Si–N осаждали вакуумно-дуговым методом при распылении катода состава 78Ti–16Al–6Si в азоте. Фазовый состав и субструктура покрытий системы Ti–Al–Si–N были изучены методом рентгеноструктурного анализа, топография покрытий – методом атомно-силовой микроскопии, химический состав определяли рентгенофлюоресцентным методом, твердость и модуль упругости покрытий – методом наноиндентирования. Установлено, что в системе Ti–Al–Si–N при росте давления азота в камере осаждения происходит переход от нанокристаллических (до 0,04 Па) к нанокомпозитным (0,04–0,66 Па) и рентгеноаморфным (0,66–1,1 Па) покрытиям, а при давлении 2,7 Па количество кристаллической фазы опять резко возрастает. Оптимальные механические свойства и максимальную термостабильность имеют покрытия с нанокристаллической структурой и нанокомпозитные с низким содержанием аморфной фазы, твердость которых достигает 47 ГПа.
Захисні покриття системи Ti–Al–Si–N осаджували вакуумно-дуговим методом при розпиленні катода складу 78Ti–16Al–6Si в азоті. Фазовий склад та субструктура покриттів Ti–Al–Si–N були досліджені методом рентгеноструктурного аналізу, топографія покриттів – методом атомно-силової мікроскопії, хімічний склад визначали рентгенофлюоресцентним методом, твердість та модуль пружності покриттів – методом наноіндентування. Встановлено, що в системі Ti–Al–Si–N при зростанні тиску азоту у камері осадження має місце перехід від осадження нанокристалічних (0,01 Па) до нанокомпозитних (0,04–0,66 Па) та рентгеноаморфних (0,66–1 Па) покриттів. При тиску 2,7 Па кількість кристалічної фази в покриттях знову зростає. Оптимальні механічні властивості та максимальну термостійкість мають покриття з нанокристалічною структурою та нанокомпозитні з низьким змістом аморфної фази, твердість яких досягає 47 ГПа.
Protective coatings of Ti–Al–Si–N system have been deposited from vacuum arc by sputtering of 78Ti–16Al–6Si target in nitrogen. Phase composition and substructure of the coatings were studied by X-ray Diffraction (XRD), topography of the coatings – by atomic-force microscopy. Hardness and elastic modulus of coatings were measured by nanoindentation. It was found that transition from deposition of nanocrystalline (up to 0.04 Pa) to nanocomposite (from 0.04 to 0.66 Pa) and amorphous (from 0.66 to 1 Pa) coatings occurs in the Ti–Al–Si–N system with increase of nitrogen pressure in deposition chamber. At pressure of 2.7 Pa the content of crystalline phase increase again. The highest mechanical properties and thermostability have the nanocrystalline coatings and nanocomposites with low content of amorphous phase with hardness up to 47 GPa
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:25:12Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-126023 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0203-3119 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T13:25:12Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Белоус, В.А. Куприн, А.С. Дуб, С.Н. Овчаренко, В.Д. Толмачева, Г.Н. Решетняк, Е.Н. Тимофеева, И.И. Литвин, П.М. 2017-11-11T17:25:46Z 2017-11-11T17:25:46Z 2013 Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги / В.А. Белоус, А.С. Куприн, С.Н. Дуб, В.Д. Овчаренко, Г.Н. Толмачева, Е.Н. Решетняк, И.И. Тимофеева, П.М. Литвин // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 1. — С. 27-39. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126023 549.2: 539.1 Защитные покрытия системы Ti–Al–Si–N осаждали вакуумно-дуговым методом при распылении катода состава 78Ti–16Al–6Si в азоте. Фазовый состав и субструктура покрытий системы Ti–Al–Si–N были изучены методом рентгеноструктурного анализа, топография покрытий – методом атомно-силовой микроскопии, химический состав определяли рентгенофлюоресцентным методом, твердость и модуль упругости покрытий – методом наноиндентирования. Установлено, что в системе Ti–Al–Si–N при росте давления азота в камере осаждения происходит переход от нанокристаллических (до 0,04 Па) к нанокомпозитным (0,04–0,66 Па) и рентгеноаморфным (0,66–1,1 Па) покрытиям, а при давлении 2,7 Па количество кристаллической фазы опять резко возрастает. Оптимальные механические свойства и максимальную термостабильность имеют покрытия с нанокристаллической структурой и нанокомпозитные с низким содержанием аморфной фазы, твердость которых достигает 47 ГПа. Захисні покриття системи Ti–Al–Si–N осаджували вакуумно-дуговим методом при розпиленні катода складу 78Ti–16Al–6Si в азоті. Фазовий склад та субструктура покриттів Ti–Al–Si–N були досліджені методом рентгеноструктурного аналізу, топографія покриттів – методом атомно-силової мікроскопії, хімічний склад визначали рентгенофлюоресцентним методом, твердість та модуль пружності покриттів – методом наноіндентування. Встановлено, що в системі Ti–Al–Si–N при зростанні тиску азоту у камері осадження має місце перехід від осадження нанокристалічних (0,01 Па) до нанокомпозитних (0,04–0,66 Па) та рентгеноаморфних (0,66–1 Па) покриттів. При тиску 2,7 Па кількість кристалічної фази в покриттях знову зростає. Оптимальні механічні властивості та максимальну термостійкість мають покриття з нанокристалічною структурою та нанокомпозитні з низьким змістом аморфної фази, твердість яких досягає 47 ГПа. Protective coatings of Ti–Al–Si–N system have been deposited from vacuum arc by sputtering of 78Ti–16Al–6Si target in nitrogen. Phase composition and substructure of the coatings were studied by X-ray Diffraction (XRD), topography of the coatings – by atomic-force microscopy. Hardness and elastic modulus of coatings were measured by nanoindentation. It was found that transition from deposition of nanocrystalline (up to 0.04 Pa) to nanocomposite (from 0.04 to 0.66 Pa) and amorphous (from 0.66 to 1 Pa) coatings occurs in the Ti–Al–Si–N system with increase of nitrogen pressure in deposition chamber. At pressure of 2.7 Pa the content of crystalline phase increase again. The highest mechanical properties and thermostability have the nanocrystalline coatings and nanocomposites with low content of amorphous phase with hardness up to 47 GPa ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Получение, структура, свойства Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги Structure and mechanical properties of Ti–Al–Si–N protective coatings deposited from separated plasma of a vacuum arc Article published earlier |
| spellingShingle | Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги Белоус, В.А. Куприн, А.С. Дуб, С.Н. Овчаренко, В.Д. Толмачева, Г.Н. Решетняк, Е.Н. Тимофеева, И.И. Литвин, П.М. Получение, структура, свойства |
| title | Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги |
| title_alt | Structure and mechanical properties of Ti–Al–Si–N protective coatings deposited from separated plasma of a vacuum arc |
| title_full | Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги |
| title_fullStr | Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги |
| title_full_unstemmed | Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги |
| title_short | Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги |
| title_sort | структура и механические свойства защитных покрытий ti–al–si–n, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги |
| topic | Получение, структура, свойства |
| topic_facet | Получение, структура, свойства |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126023 |
| work_keys_str_mv | AT belousva strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi AT kuprinas strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi AT dubsn strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi AT ovčarenkovd strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi AT tolmačevagn strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi AT rešetnâken strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi AT timofeevaii strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi AT litvinpm strukturaimehaničeskiesvoistvazaŝitnyhpokrytiitialsinosaždennyhizseparirovannoiplazmyvakuumnoidugi AT belousva structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc AT kuprinas structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc AT dubsn structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc AT ovčarenkovd structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc AT tolmačevagn structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc AT rešetnâken structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc AT timofeevaii structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc AT litvinpm structureandmechanicalpropertiesoftialsinprotectivecoatingsdepositedfromseparatedplasmaofavacuumarc |