Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги

• Published in: Сверхтвердые материалы
• Date: 2013
• Main Authors: Белоус, В.А., Куприн, А.С., Дуб, С.Н., Овчаренко, В.Д., Толмачева, Г.Н., Решетняк, Е.Н., Тимофеева, И.И., Литвин, П.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2013
• Subjects: Получение, структура, свойства
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126023
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Структура и механические свойства защитных покрытий Ti–Al–Si–N, осажденных из сепарированной плазмы вакуумной дуги / В.А. Белоус, А.С. Куприн, С.Н. Дуб, В.Д. Овчаренко, Г.Н. Толмачева, Е.Н. Решетняк, И.И. Тимофеева, П.М. Литвин // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 1. — С. 27-39. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Защитные покрытия системы Ti–Al–Si–N осаждали вакуумно-дуговым методом при распылении катода состава 78Ti–16Al–6Si в азоте. Фазовый состав и субструктура покрытий системы Ti–Al–Si–N были изучены методом рентгеноструктурного анализа, топография покрытий – методом атомно-силовой микроскопии, химически...