Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии
Рассмотрены особенности структуры и свойств наноструктурных пленок нитрида титана на кремниевой подложке и построена физико-математическая модель формирования рельефа их поверхности на основе деформационной теории. Получена зависимость длины волны поверхностной гофрировки от толщины пленки. Исследов...
Saved in:
| Published in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126025 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии / М.А. Цысарь // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 1. — С. 56-65. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-126025 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Цысарь, М.А. 2017-11-11T17:29:48Z 2017-11-11T17:29:48Z 2013 Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии / М.А. Цысарь // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 1. — С. 56-65. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126025 691.327:666.973.6 Рассмотрены особенности структуры и свойств наноструктурных пленок нитрида титана на кремниевой подложке и построена физико-математическая модель формирования рельефа их поверхности на основе деформационной теории. Получена зависимость длины волны поверхностной гофрировки от толщины пленки. Исследована топография рельефа поверхности, сформированного в результате диффузионного массопереноса и измененного при отжиге. Определена амплитуда образовавшихся гофр. Розглянуто особливості структури і властивостей наноструктурних плівок нітриду титану і побудовано фізико-математичну модель формування рельєфу поверхні на основі деформаційної теорії. Отримано залежність довжини хвилі поверхневого гофрування від товщини плівки при відпалі. Досліджено топографію рельєфу поверхні, сформованого в результаті дифузійного масопереносу і зміненого при відпалі. Визначено амплітуду гофр, що було утворено. The features of the structure and properties of nanostructured titanium nitride films, according to these data was constructed physical and mathematical model of the surface relief on the basis of deformation theory. Derived on the wavelength of the film thickness during thermal annealing. Studies of the surface topography of the films formed by diffusion mass transfer and thermal annealing at 400 °C showed an increase in wave length from 125 nm to 282 nm, respectively. ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Получение, структура, свойства Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии Studies of topological features of the surface relief formation of titanium nitride films on silicon substrates during the diffusion mass transfer and on annealing using scanning tunneling microscopy. Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии |
| spellingShingle |
Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии Цысарь, М.А. Получение, структура, свойства |
| title_short |
Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии |
| title_full |
Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии |
| title_fullStr |
Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии |
| title_full_unstemmed |
Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии |
| title_sort |
исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии |
| author |
Цысарь, М.А. |
| author_facet |
Цысарь, М.А. |
| topic |
Получение, структура, свойства |
| topic_facet |
Получение, структура, свойства |
| publishDate |
2013 |
| language |
Russian |
| container_title |
Сверхтвердые материалы |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Studies of topological features of the surface relief formation of titanium nitride films on silicon substrates during the diffusion mass transfer and on annealing using scanning tunneling microscopy. |
| description |
Рассмотрены особенности структуры и свойств наноструктурных пленок нитрида титана на кремниевой подложке и построена физико-математическая модель формирования рельефа их поверхности на основе деформационной теории. Получена зависимость длины волны поверхностной гофрировки от толщины пленки. Исследована топография рельефа поверхности, сформированного в результате диффузионного массопереноса и измененного при отжиге. Определена амплитуда образовавшихся гофр.
Розглянуто особливості структури і властивостей наноструктурних плівок нітриду титану і побудовано фізико-математичну модель формування рельєфу поверхні на основі деформаційної теорії. Отримано залежність довжини хвилі поверхневого гофрування від товщини плівки при відпалі. Досліджено топографію рельєфу поверхні, сформованого в результаті дифузійного масопереносу і зміненого при відпалі. Визначено амплітуду гофр, що було утворено.
The features of the structure and properties of nanostructured titanium nitride films, according to these data was constructed physical and mathematical model of the surface relief on the basis of deformation theory. Derived on the wavelength of the film thickness during thermal annealing. Studies of the surface topography of the films formed by diffusion mass transfer and thermal annealing at 400 °C showed an increase in wave length from 125 nm to 282 nm, respectively.
|
| issn |
0203-3119 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126025 |
| citation_txt |
Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии / М.А. Цысарь // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 1. — С. 56-65. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT cysarʹma issledovanietopologičeskihosobennosteiformirovaniârelʹefapoverhnostiplenoknitridatitananakremnievoipodložkepridiffuzionnommassoperenoseiotžigemetodomskaniruûŝeitunnelʹnoimikroskopii AT cysarʹma studiesoftopologicalfeaturesofthesurfacereliefformationoftitaniumnitridefilmsonsiliconsubstratesduringthediffusionmasstransferandonannealingusingscanningtunnelingmicroscopy |
| first_indexed |
2025-11-28T03:37:47Z |
| last_indexed |
2025-11-28T03:37:47Z |
| _version_ |
1850853292624576512 |