Buchumschlag

Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии

Рассмотрены особенности структуры и свойств наноструктурных пленок нитрида титана на кремниевой подложке и построена физико-математическая модель формирования рельефа их поверхности на основе деформационной теории. Получена зависимость длины волны поверхностной гофрировки от толщины пленки. Исследов...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Сверхтвердые материалы
Datum:	2013
1. Verfasser:	Цысарь, М.А.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2013
Schlagworte:	Получение, структура, свойства
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126025
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии / М.А. Цысарь // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 1. — С. 56-65. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Исследование стекла системы Ag₂O—B₂O₃ методом сканирующей туннельной микроскопии с полупроводниковым алмазным остриём
von: Цысарь, М.А.
Veröffentlicht: (2012)

Исследование процессов структурной релаксации поверхности аморфного сплава Fe₇₇Si₈B₁₅ методом сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии
von: Карбовский, В.Л., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
von: Belousov, I. V.
Veröffentlicht: (2007)

Принципы физической расшифровки изображений в сканирующей микроволновой микроскопии
von: Гордиенко, Ю.Е., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Легированные бором монокристаллы алмаза для зондов высоковакуумной туннельной микроскопии
von: Чепугов, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Исследование топологических особенностей поверхности HFCVD нанокристаллической алмазной пленки сканирующим туннельным микроскопом с алмазным острием
von: Цысарь, М.А.
Veröffentlicht: (2012)

Возможности конфокальной сканирующей лазерной микроскопии применительно к оценке процессов апоптоза в яйцеклетках
von: Грищенко, Н.Г.
Veröffentlicht: (2010)

Подготовка образцов для просвечивающей и сканирующей электронной микроскопии: новые установки от Leica Microsystems для нанесения покрытий
von: Немова, С.В.
Veröffentlicht: (2014)

О диффузионном отражении сейсмических колебаний от тектонического нарушения
von: Глухов, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

К теории эффекта Джозефсона в диффузионном туннельном контакте
von: Безуглый, Е.В., et al.
Veröffentlicht: (1999)

О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd
von: Крышталь, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Разложимость топологических групп
von: Зеленюк, Е.Г.
Veröffentlicht: (1999)

Влияние параметров гидролокатора бокового обзора и особенностей рельефа дна на корреляцию рассеянных акустических сигналов
von: Голод, О.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Нитридгаллиевый диод с туннельной инжекцией
von: Гончарук, Н.М., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2013)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
von: Спирин, В.Г.
Veröffentlicht: (2013)

Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге
von: Венгер, Е.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Исследование анизотропии поверхности поликристаллического покрытия нитрида галлия на туннельном микроскопе, оснащенном острием из алмаза, легированного бором
von: Цысарь, М.А.
Veröffentlicht: (2016)

Информационно-измерительная система для туннельной спектроскопии
von: Жарков, И.П., et al.
Veröffentlicht: (2010)

О некоторых примерах топологических групп
von: Панасюк, С.П., et al.
Veröffentlicht: (1983)

Высокочастотный ВТСП сквид для магнитной микроскопии
von: Хвостов, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке
von: Сокол, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Оценка качества спермы методами интерференционной микроскопии
von: Васильев, В.С.
Veröffentlicht: (2013)

Термостабильность сильно деформированных неметаллических кристаллов при статическом отжиге
von: Олейник, Г.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
von: Гасанов, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Определение температур превращений в модельных составах методом дифференциальной сканирующей калориметрии
von: Репях, С.И.
Veröffentlicht: (2011)

К проблеме полноты максимальных топологических групп
von: Арнаутов, В.И., et al.
Veröffentlicht: (1991)

К проблеме полноты максимальных топологических групп
von: Зубков, А.И., et al.
Veröffentlicht: (1991)

О некотором классе матричных топологических *-алгебр
von: Тищенко, С.В.
Veröffentlicht: (2001)

Реконструкция заряженной пленки гелия на металлической подложке
von: Шикин, В., et al.
Veröffentlicht: (1997)

Применение интерференционно-поляризационной микроскопии при исследовании микроспоридий
von: Овчаренко, Д.А.
Veröffentlicht: (1983)

Исследование допустимой импульсной мощности кремниевой p+–p–n+-структуры
von: Karimov, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Изменение структуры при отжиге быстрозакаленного сплава плазменно-дуговой выплавки
von: Кожемякин, Г.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Исследование допустимой импульсной мощности кремниевой p+–p–n+-структуры
von: Каримов, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Механизмы рассеяния поверхностных электронов в топологических изоляторах
von: Топоров, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Об одном условии конечности в топологических группах
von: Пилипенко, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (1984)

Особенности магнитострикции металлов при электронных топологических переходах
von: Микитик, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Исследование аминомодифицированных зондов для атомно-силовой микроскопии биомолекул
von: Лиманский, А.П.
Veröffentlicht: (2002)

Переохлаждение при кристаллизации пленок висмута на германиевой подложке
von: Колендовский, М.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Образование квазикристаллических структур при отжиге микрослойных покрытий (Ti, Cr)-Si
von: Мовчан, Б.А., et al.
Veröffentlicht: (2003)