Зображення обкладинки

Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии

Рассмотрены особенности структуры и свойств наноструктурных пленок нитрида титана на кремниевой подложке и построена физико-математическая модель формирования рельефа их поверхности на основе деформационной теории. Получена зависимость длины волны поверхностной гофрировки от толщины пленки. Исследов...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Сверхтвердые материалы
Дата:	2013
Автор:	Цысарь, М.А.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2013
Теми:	Получение, структура, свойства
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126025
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии / М.А. Цысарь // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 1. — С. 56-65. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Исследование стекла системы Ag₂O—B₂O₃ методом сканирующей туннельной микроскопии с полупроводниковым алмазным остриём
за авторством: Цысарь, М.А.
Опубліковано: (2012)

Исследование процессов структурной релаксации поверхности аморфного сплава Fe₇₇Si₈B₁₅ методом сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии
за авторством: Карбовский, В.Л., та інші
Опубліковано: (2012)

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
за авторством: Belousov, I. V.
Опубліковано: (2007)

Принципы физической расшифровки изображений в сканирующей микроволновой микроскопии
за авторством: Гордиенко, Ю.Е., та інші
Опубліковано: (2018)

Легированные бором монокристаллы алмаза для зондов высоковакуумной туннельной микроскопии
за авторством: Чепугов, А.П., та інші
Опубліковано: (2013)

Исследование топологических особенностей поверхности HFCVD нанокристаллической алмазной пленки сканирующим туннельным микроскопом с алмазным острием
за авторством: Цысарь, М.А.
Опубліковано: (2012)

Возможности конфокальной сканирующей лазерной микроскопии применительно к оценке процессов апоптоза в яйцеклетках
за авторством: Грищенко, Н.Г.
Опубліковано: (2010)

Подготовка образцов для просвечивающей и сканирующей электронной микроскопии: новые установки от Leica Microsystems для нанесения покрытий
за авторством: Немова, С.В.
Опубліковано: (2014)

О диффузионном отражении сейсмических колебаний от тектонического нарушения
за авторством: Глухов, И.А., та інші
Опубліковано: (2013)

К теории эффекта Джозефсона в диффузионном туннельном контакте
за авторством: Безуглый, Е.В., та інші
Опубліковано: (1999)

О диффузионном перемешивании в слоистой пленочной системе Ag-Pd
за авторством: Крышталь, А.П., та інші
Опубліковано: (2013)

Разложимость топологических групп
за авторством: Зеленюк, Е.Г.
Опубліковано: (1999)

Влияние параметров гидролокатора бокового обзора и особенностей рельефа дна на корреляцию рассеянных акустических сигналов
за авторством: Голод, О.С., та інші
Опубліковано: (2007)

Нитридгаллиевый диод с туннельной инжекцией
за авторством: Гончарук, Н.М., та інші
Опубліковано: (2013)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2013)

Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2013)

Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2012)

Исследование анизотропии поверхности поликристаллического покрытия нитрида галлия на туннельном микроскопе, оснащенном острием из алмаза, легированного бором
за авторством: Цысарь, М.А.
Опубліковано: (2016)

Информационно-измерительная система для туннельной спектроскопии
за авторством: Жарков, И.П., та інші
Опубліковано: (2010)

О некоторых примерах топологических групп
за авторством: Панасюк, С.П., та інші
Опубліковано: (1983)

Высокочастотный ВТСП сквид для магнитной микроскопии
за авторством: Хвостов, С.С., та інші
Опубліковано: (2003)

Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)

Оценка качества спермы методами интерференционной микроскопии
за авторством: Васильев, В.С.
Опубліковано: (2013)

Термостабильность сильно деформированных неметаллических кристаллов при статическом отжиге
за авторством: Олейник, Г.С., та інші
Опубліковано: (2016)

Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
за авторством: Гасанов, А.М., та інші
Опубліковано: (2004)

Определение температур превращений в модельных составах методом дифференциальной сканирующей калориметрии
за авторством: Репях, С.И.
Опубліковано: (2011)

К проблеме полноты максимальных топологических групп
за авторством: Арнаутов, В.И., та інші
Опубліковано: (1991)

К проблеме полноты максимальных топологических групп
за авторством: Зубков, А.И., та інші
Опубліковано: (1991)

О некотором классе матричных топологических *-алгебр
за авторством: Тищенко, С.В.
Опубліковано: (2001)

Реконструкция заряженной пленки гелия на металлической подложке
за авторством: Шикин, В., та інші
Опубліковано: (1997)

Применение интерференционно-поляризационной микроскопии при исследовании микроспоридий
за авторством: Овчаренко, Д.А.
Опубліковано: (1983)

Исследование допустимой импульсной мощности кремниевой p+–p–n+-структуры
за авторством: Karimov, A. V., та інші
Опубліковано: (2011)

Изменение структуры при отжиге быстрозакаленного сплава плазменно-дуговой выплавки
за авторством: Кожемякин, Г.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Исследование допустимой импульсной мощности кремниевой p+–p–n+-структуры
за авторством: Каримов, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Механизмы рассеяния поверхностных электронов в топологических изоляторах
за авторством: Топоров, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2019)

Об одном условии конечности в топологических группах
за авторством: Пилипенко, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (1984)

Особенности магнитострикции металлов при электронных топологических переходах
за авторством: Микитик, Г.П., та інші
Опубліковано: (2017)

Исследование аминомодифицированных зондов для атомно-силовой микроскопии биомолекул
за авторством: Лиманский, А.П.
Опубліковано: (2002)

Переохлаждение при кристаллизации пленок висмута на германиевой подложке
за авторством: Колендовский, М.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Образование квазикристаллических структур при отжиге микрослойных покрытий (Ti, Cr)-Si
за авторством: Мовчан, Б.А., та інші
Опубліковано: (2003)