Сверхтвердые покрытия систем (Zr–Ti–Si)N и (Ti–Hf–Si)N, полученные методом вакуумно-дугового осаждения из сепарированного потока
Методом вакуумно-дугового осаждения с применением импульсной стимуляции на подложку и сепарации ионно-плазменного потока получены многокомпонентные твердые покрытия на основе нитридов металлов переходной группы, легированных кремнием. Изучены физико-механические и триботехнические характеристики пок...
Saved in:
| Published in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126092 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Сверхтвердые покрытия систем (Zr–Ti–Si)N и (Ti–Hf–Si)N, полученные методом вакуумно-дугового осаждения из сепарированного потока / В.М. Береснев, С.А. Клименко, И.Н. Торяник, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, П.В. Турбин, С.С. Гранкин // Сверхтвердые материалы. — 2014. — № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |