Зображення обкладинки

Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням

Тонкі плівки Si–C–N осаджено на кремнієві підкладки реактивним магнетронним розпиленням кремній-вуглецевої мішені на постійному струмі та при різних співвідношеннях потоків азоту FN2 і аргону FAr. Для дослідження структури, хімічних зв’язків, морфології поверхні та механічних властивостей отриманих...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Сверхтвердые материалы
Дата:2015
Автори: Козак, А.О., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Іващенко, Л.А., Синельниченко, О.К., Дуб, С.М., Литвин, О.С., Тимофєєва, І.І., Толмачева, Г.М.
Формат: Стаття
Мова:Українська
Опубліковано: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2015
Теми:
Получение, структура, свойства
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126209
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням / А.О. Козак, В.І. Іващенко, О.К. Порада, Л.А. Іващенко, О.К. Синельниченко, С.М. Дуб, О.С. Литвин, І.І. Тимофєєва, Г.М. Толмачева // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 5. — С. 12-24. — Бібліогр.: 40 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Схожі ресурси