Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням

• Veröffentlicht in: Сверхтвердые материалы
• Datum: 2015
• Hauptverfasser: Козак, А.О., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Іващенко, Л.А., Синельниченко, О.К., Дуб, С.М., Литвин, О.С., Тимофєєва, І.І., Толмачева, Г.М.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian
• Veröffentlicht: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2015
• Schlagworte: Получение, структура, свойства
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126209
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням / А.О. Козак, В.І. Іващенко, О.К. Порада, Л.А. Іващенко, О.К. Синельниченко, С.М. Дуб, О.С. Литвин, І.І. Тимофєєва, Г.М. Толмачева // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 5. — С. 12-24. — Бібліогр.: 40 назв. — укр.

Тонкі плівки Si–C–N осаджено на кремнієві підкладки реактивним магнетронним розпиленням кремній-вуглецевої мішені на постійному струмі та при різних співвідношеннях потоків азоту FN2 і аргону FAr. Для дослідження структури, хімічних зв’язків, морфології поверхні та механічних властивостей отриманих...