Структурные особенности и физико-механические свойства аморфоподобных покрытий AlN–TiB₂–TiSi₂
Методом магнетронного распыления мишени получено покрытие системы AlN–TiB₂–TiSi₂. При высокотемпературном (900 и 1300 °C) воздействии на покрытие наблюдается его кристаллизация с образованием кристаллитов размером 11−25 нм. Аморфоподобная структура является перспективной при использовании таких покр...
Saved in:
| Published in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Date: | 2015 |
| Main Authors: | , , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2015
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126210 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Структурные особенности и физико-механические свойства аморфоподобных покрытий AlN–TiB₂–TiSi₂ / А.Д. Погребняк, А.А. Демьяненко, А.В. Пшик, Ю.А. Кравченко, О.В. Соболь, В.М. Береснев, H. Amekura, K. Kоnо, K. Oyoshi, Y. Takeda, И.А. Подчерняева // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 5. — С. 25-38. — Бібліогр.: 21 назв. — рос. |