Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния

• Date: 2008
• Main Authors: Куликовский, В.Ю., Ворличек, В., Богач, П., Страйнянек, М., Чтвертлик, Р., Курдюмов, А.В., Горбань, В.Ф.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2008
• Subjects: Тонкие пленки и другие двумерные объекты
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/12763
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния / В.Ю. Куликовский, В. Ворличек, П. Богач, М. Страйнянек, Р. Чтвертлик, А.В. Курдюмов, В.Ф. Горбань // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 42-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.

Робота присвячена вивченню механічних властивостей аморфних і нанокристалічних плівок Si та SiC, одержаних за різних режимів магнетронного розпилювання, і порівнянню цих характеристик з такими самими характеристиками їх монокристалічних аналогів. Установлено, що твердість і модуль пружності всіх аморфних а-SiC плівок завжди нижче, ніж у масивного α-SiC монокристала, в той час як твердість нанокристалічних SiC плівок вище, а модуль пружності нижче, ніж у монокристала. На відміну від SiC, твердість і модуль Юнга всіх аморфних Si плівок завжди менший, ніж у полікристалічної плівки і монокристала Si(111), для яких значення цих характеристик практично однакові.