Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
Робота присвячена вивченню механічних властивостей аморфних і нанокристалічних плівок Si та SiC, одержаних за різних режимів магнетронного розпилювання, і порівнянню цих характеристик з такими самими характеристиками їх монокристалічних аналогів. Установлено, що твердість і модуль пружності всіх амо...
Saved in:
| Date: | 2008 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/12763 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния / В.Ю. Куликовский, В. Ворличек, П. Богач, М. Страйнянек, Р. Чтвертлик, А.В. Курдюмов, В.Ф. Горбань // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 42-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862633277804773376 |
|---|---|
| author | Куликовский, В.Ю. Ворличек, В. Богач, П. Страйнянек, М. Чтвертлик, Р. Курдюмов, А.В. Горбань, В.Ф. |
| author_facet | Куликовский, В.Ю. Ворличек, В. Богач, П. Страйнянек, М. Чтвертлик, Р. Курдюмов, А.В. Горбань, В.Ф. |
| citation_txt | Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния / В.Ю. Куликовский, В. Ворличек, П. Богач, М. Страйнянек, Р. Чтвертлик, А.В. Курдюмов, В.Ф. Горбань // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 42-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| description | Робота присвячена вивченню механічних властивостей аморфних і нанокристалічних плівок Si та SiC, одержаних за різних режимів магнетронного розпилювання, і порівнянню цих характеристик з такими самими характеристиками їх монокристалічних аналогів. Установлено, що твердість і модуль пружності всіх аморфних а-SiC плівок завжди нижче, ніж у масивного α-SiC монокристала, в той час як твердість нанокристалічних SiC плівок вище, а модуль пружності нижче, ніж у монокристала. На відміну від SiC, твердість і модуль Юнга всіх аморфних Si плівок завжди менший, ніж у полікристалічної плівки і монокристала Si(111), для яких значення цих характеристик практично однакові.
|
| first_indexed | 2025-11-30T14:43:22Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-12763 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1996-9988 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-30T14:43:22Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Куликовский, В.Ю. Ворличек, В. Богач, П. Страйнянек, М. Чтвертлик, Р. Курдюмов, А.В. Горбань, В.Ф. 2010-10-21T14:18:13Z 2010-10-21T14:18:13Z 2008 Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния / В.Ю. Куликовский, В. Ворличек, П. Богач, М. Страйнянек, Р. Чтвертлик, А.В. Курдюмов, В.Ф. Горбань // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 42-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. 1996-9988 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/12763 548.736.15 Робота присвячена вивченню механічних властивостей аморфних і нанокристалічних плівок Si та SiC, одержаних за різних режимів магнетронного розпилювання, і порівнянню цих характеристик з такими самими характеристиками їх монокристалічних аналогів. Установлено, що твердість і модуль пружності всіх аморфних а-SiC плівок завжди нижче, ніж у масивного α-SiC монокристала, в той час як твердість нанокристалічних SiC плівок вище, а модуль пружності нижче, ніж у монокристала. На відміну від SiC, твердість і модуль Юнга всіх аморфних Si плівок завжди менший, ніж у полікристалічної плівки і монокристала Si(111), для яких значення цих характеристик практично однакові. Авторы признательны сотруднику ИПМ НАН Украины Н. Гадзыре, предоставившему карбид кремния для изготовления мишени. ru Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України Тонкие пленки и другие двумерные объекты Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния Article published earlier |
| spellingShingle | Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния Куликовский, В.Ю. Ворличек, В. Богач, П. Страйнянек, М. Чтвертлик, Р. Курдюмов, А.В. Горбань, В.Ф. Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| title | Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния |
| title_full | Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния |
| title_fullStr | Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния |
| title_full_unstemmed | Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния |
| title_short | Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния |
| title_sort | механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния |
| topic | Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| topic_facet | Тонкие пленки и другие двумерные объекты |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/12763 |
| work_keys_str_mv | AT kulikovskiivû mehaničeskiesvoistvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ AT vorličekv mehaničeskiesvoistvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ AT bogačp mehaničeskiesvoistvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ AT strainânekm mehaničeskiesvoistvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ AT čtvertlikr mehaničeskiesvoistvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ AT kurdûmovav mehaničeskiesvoistvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ AT gorbanʹvf mehaničeskiesvoistvaamorfnyhinanokristalličeskihplenokkremniâikarbidakermniâ |