Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
Робота присвячена вивченню механічних властивостей аморфних і нанокристалічних плівок Si та SiC, одержаних за різних режимів магнетронного розпилювання, і порівнянню цих характеристик з такими самими характеристиками їх монокристалічних аналогів. Установлено, що твердість і модуль пружності всіх амо...
Saved in:
| Date: | 2008 |
|---|---|
| Main Authors: | Куликовский, В.Ю., Ворличек, В., Богач, П., Страйнянек, М., Чтвертлик, Р., Курдюмов, А.В., Горбань, В.Ф. |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/12763 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния / В.Ю. Куликовский, В. Ворличек, П. Богач, М. Страйнянек, Р. Чтвертлик, А.В. Курдюмов, В.Ф. Горбань // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 42-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSimilar Items
Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
by: Порада, А.К., et al.
Published: (2010)
by: Порада, А.К., et al.
Published: (2010)
Особенности формирования структурно-фазового состояния медьсодержащих фуллеритовых пленок
by: Баран, Л.В.
Published: (2011)
by: Баран, Л.В.
Published: (2011)
Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
by: Андреева, А.Ф., et al.
Published: (2010)
by: Андреева, А.Ф., et al.
Published: (2010)
Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
by: Андреева, А.Ф., et al.
Published: (2009)
by: Андреева, А.Ф., et al.
Published: (2009)
Свойства наноструктуры Fe₃O₄/Y₂O₃/Fe₃O₄ при работе на переменном токе
by: Андреева, А.Ф., et al.
Published: (2010)
by: Андреева, А.Ф., et al.
Published: (2010)
Влияние микроструктуры вакуумных конденсатов никеля на их прочностные свойства
by: Устинов, А.И., et al.
Published: (2010)
by: Устинов, А.И., et al.
Published: (2010)
Магнітокеровані наноструктурні матеріали та їхня взаємодія з нуклеїновими кислотами
by: Семко, Л.С., et al.
Published: (2010)
by: Семко, Л.С., et al.
Published: (2010)
Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C
by: Куликовський, B.Ю., et al.
Published: (2009)
by: Куликовський, B.Ю., et al.
Published: (2009)
Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
by: Оноприенко, А.А., et al.
Published: (2008)
by: Оноприенко, А.А., et al.
Published: (2008)
Сенсори водню на основі нанорозмірного діоксиду олова
by: Бувайло, А.І., et al.
Published: (2010)
by: Бувайло, А.І., et al.
Published: (2010)
О примесях в нанокристаллических порошках графитоподобного нитрида бора и их роли в процессе фазовых превращений при ударном сжатии
by: Курдюмов, А.В., et al.
Published: (2009)
by: Курдюмов, А.В., et al.
Published: (2009)
Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
by: Марченков, В.В.
Published: (2011)
by: Марченков, В.В.
Published: (2011)
Влияние обжига аморфного сплава на структуру и механические свойства
by: Горбань, В.Ф., et al.
Published: (2010)
by: Горбань, В.Ф., et al.
Published: (2010)
Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
by: Ковалев, А.С., et al.
Published: (2011)
by: Ковалев, А.С., et al.
Published: (2011)
Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
by: Gasparov, V.A.
Published: (2011)
by: Gasparov, V.A.
Published: (2011)
Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
by: Maksimchuk, N. V., et al.
Published: (2010)
by: Maksimchuk, N. V., et al.
Published: (2010)
Формирование высокоплотной структуры самосвязанного карбида кремния
by: Майстренко, А.Л., et al.
Published: (2009)
by: Майстренко, А.Л., et al.
Published: (2009)
Получение и свойства пористого карбида кремния
by: Светличная, Л.А., et al.
Published: (2005)
by: Светличная, Л.А., et al.
Published: (2005)
Турбостратный нитрид бора: особенности структуры и фазовых превращений
by: Курдюмов, А.В., et al.
Published: (2010)
by: Курдюмов, А.В., et al.
Published: (2010)
Эволюция структуры и некоторых свойств сверхтвердой углеродной керамики при переходе от аморфного к нанокристаллическому состоянию
by: Бритун, В.Ф., et al.
Published: (2010)
by: Бритун, В.Ф., et al.
Published: (2010)
Газоанализаторы на основе пористого карбида кремния
by: Moskovchenko, N. N., et al.
Published: (2006)
by: Moskovchenko, N. N., et al.
Published: (2006)
Фазовые превращения в композитах на основе пирогенного оксида алюминия, смешанных оксидов алюминия и кремния и оксида меди
by: Оранская, Е.И.
Published: (2011)
by: Оранская, Е.И.
Published: (2011)
Физико-механические характаристики аморфных углеродных пленок, полученных из паров бензола
by: Грицкевич, Р.Н., et al.
Published: (2008)
by: Грицкевич, Р.Н., et al.
Published: (2008)
Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния
by: Филатов, Ю.Д., et al.
Published: (2013)
by: Филатов, Ю.Д., et al.
Published: (2013)
Использование карбида кремния при внепечной обработке чугуна порошковыми проволоками
by: Кисиленко, В.В., et al.
Published: (2009)
by: Кисиленко, В.В., et al.
Published: (2009)
Получение ультрадисперсного кристаллического карбида кремния методом плазмодинамического синтеза
by: Сивков, А.А., et al.
Published: (2013)
by: Сивков, А.А., et al.
Published: (2013)
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
by: Филатов, Ю.Д., et al.
Published: (2015)
by: Филатов, Ю.Д., et al.
Published: (2015)
Расширение Вселенной в послерекомбинационную эпоху
by: Проник, В.И.
Published: (2009)
by: Проник, В.И.
Published: (2009)
Оценка масс "темной" материи в галактиках по измерениям скоростей "светлой"
by: Засов, А.В.
Published: (2009)
by: Засов, А.В.
Published: (2009)
Гравитационное движение изображений удаленных источников, обусловленное полем звезд Галактики
by: Жданов, В.И., et al.
Published: (2004)
by: Жданов, В.И., et al.
Published: (2004)
Вязкохрупкий переход в аморфных и нанокристаллических сплавах Al₈₇₋₈₆(Ni,Co)₈(Y,Gd)₅₋₆ при непрерывном нагреве
by: Маслов, В.В., et al.
Published: (2011)
by: Маслов, В.В., et al.
Published: (2011)
Поведение магнитных свойств аморфных и нанокристаллических сплавов базовой системы Fe-Si-B, подвергнутых γ-облучению
by: Неймаш, В.Б., et al.
Published: (2002)
by: Неймаш, В.Б., et al.
Published: (2002)
UBVR-наблюдения сейфертовской галактики первого типа NGC 3516
by: Гусейнов, Н.А.
Published: (2009)
by: Гусейнов, Н.А.
Published: (2009)
Оптическая 3D-спектроскопия ультраярких рентгеновских источников в галактиках Антенны
by: Валеев, А.Ф., et al.
Published: (2009)
by: Валеев, А.Ф., et al.
Published: (2009)
Оценка автоэмиссионных свойств наноструктур на основе карбида кремния и графена
by: Охрименко, О.Б., et al.
Published: (2012)
by: Охрименко, О.Б., et al.
Published: (2012)
Сварка давлением дисперсно-упрочненных композиционных материалов, содержащих частицы карбида кремния (Обзор)
by: Черепивская, Е.В., et al.
Published: (2001)
by: Черепивская, Е.В., et al.
Published: (2001)
Исследование влияния пропитки кремнием на структуру и свойства горячепрессованного карбида кремния
by: Ивженко, В.В., et al.
Published: (2017)
by: Ивженко, В.В., et al.
Published: (2017)
Получение нанокристаллической керамики на основе порошков сверхтвердых фаз углерода и нитрида бора, синтезированных в ударных волнах
by: Курдюмов, А.В., et al.
Published: (2010)
by: Курдюмов, А.В., et al.
Published: (2010)
Влияние скорости нагружения на прочность керамических материалов на основе самосвязанного карбида кремния
by: Степанов, Г.В., et al.
Published: (2010)
by: Степанов, Г.В., et al.
Published: (2010)
Насыщение капиллярных пор брикетов карбида кремния жидкофазными углеродосодержащими растворами перед реакционным спеканием
by: Кулич, В.Г., et al.
Published: (2016)
by: Кулич, В.Г., et al.
Published: (2016)
Similar Items
-
Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
by: Порада, А.К., et al.
Published: (2010) -
Особенности формирования структурно-фазового состояния медьсодержащих фуллеритовых пленок
by: Баран, Л.В.
Published: (2011) -
Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
by: Андреева, А.Ф., et al.
Published: (2010) -
Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
by: Андреева, А.Ф., et al.
Published: (2009) -
Свойства наноструктуры Fe₃O₄/Y₂O₃/Fe₃O₄ при работе на переменном токе
by: Андреева, А.Ф., et al.
Published: (2010)