Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь

• Datum: 2008
• Hauptverfasser: Оноприенко, А.А., Даниленко, Н.И., Косско, И.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2008
• Schlagworte: Тонкие пленки и другие двумерные объекты
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/12764
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь / А.А. Оноприенко, Н.И. Даниленко, И.А. Косско // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 52-58. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Тонкая легированная медью (8 %, атомная доля Cu) углеродная пленка нанесена магнетронным распылением на постоянном токе в аргоновой плазме составной (графит+медь) мишени на подложку из монокристаллического (100) NaCl при комнатной температуре. Эволюция микроструктуры пленки при отжиге в вакууме при...