Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов
Исследовано влияние условий осаждения на структуру, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления. Показано, что в зависимости от приложенного потенциала смещения и температуры подложки происходит формирование покрытий разл...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Дата: | 2015 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2015
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/129921 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов / А.А. Гончаров, С.Н. Дуб, А.В. Агулов, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 6. — С. 76-85. — Бібліогр.: 33 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-129921 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Гончаров, А.А. Дуб, С.Н. Агулов, А.В. Петухов, В.В. 2018-02-02T08:19:46Z 2018-02-02T08:19:46Z 2015 Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов / А.А. Гончаров, С.Н. Дуб, А.В. Агулов, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 6. — С. 76-85. — Бібліогр.: 33 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/129921 669.294:539.216.2 Исследовано влияние условий осаждения на структуру, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления. Показано, что в зависимости от приложенного потенциала смещения и температуры подложки происходит формирование покрытий различной структуры – от аморфноподобной до нанокристаллической. При оптимальных энергетических условиях – потенциале смещения 50 В и температуре подложки ~ 500 °С – получены сверхстехиометрические тонкие пленки диборидов переходных металлов с размером зерна ~ 20– 40 нм, твердостью ~ 44 ГПа и аномально высоким (~ 90 %) упругим восстанов- лением глубины отпечатка. Досліджено вплив умов осадження на структуру, склад і механічні характеристики тонких плівок диборидів перехідних металів, отриманих методом ВЧ-магнетронного розпилення. Показано, що залежно від прикладеного потенціалу зміщення і температури підкладки відбувається формування покриттів різної структури – від аморфноподобної до нанокристалічною. За оптимальних енергетичних умов – потенціалі зміщення 50 В і температурі підкладки ~ 500 °С – отримано надстехіометричні тонкі плівки диборидів перехідних металів з розміром зерна ~ 20–40 нм, твердістю ~ 44 ГПа і аномально високим (~ 90 %) пружним відновленням глибини відбитка. The effect of the deposition conditions on the structure, composition, and mechanical properties of thin films of diborides of transition metals that have been produced by high frequency magnetron sputtering. It has been shown that depending on the applied bias voltage and substrate temperature coatings of various structures are formed: from amorphouslike to nanocrystalline. Under the optimal energy conditions (bias voltage 50 V and substrate temperature 500°C) superstoichiometric thin films of transition metals diborides of grain sizes 20–30 nm, hardness 44 GPa, and anomalously high recovering of the imprint depth have been produced. ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Получение, структура, свойства Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов Structure, composition, and mechanical properties of thin films of transition metals diborides Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов |
| spellingShingle |
Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов Гончаров, А.А. Дуб, С.Н. Агулов, А.В. Петухов, В.В. Получение, структура, свойства |
| title_short |
Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов |
| title_full |
Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов |
| title_fullStr |
Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов |
| title_full_unstemmed |
Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов |
| title_sort |
структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов |
| author |
Гончаров, А.А. Дуб, С.Н. Агулов, А.В. Петухов, В.В. |
| author_facet |
Гончаров, А.А. Дуб, С.Н. Агулов, А.В. Петухов, В.В. |
| topic |
Получение, структура, свойства |
| topic_facet |
Получение, структура, свойства |
| publishDate |
2015 |
| language |
Russian |
| container_title |
Сверхтвердые материалы |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Structure, composition, and mechanical properties of thin films of transition metals diborides |
| description |
Исследовано влияние условий осаждения на структуру, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления. Показано, что в зависимости от приложенного потенциала смещения и температуры подложки происходит формирование покрытий различной структуры – от аморфноподобной до нанокристаллической. При оптимальных энергетических условиях – потенциале смещения 50 В и температуре подложки ~ 500 °С – получены сверхстехиометрические тонкие пленки диборидов переходных металлов с размером зерна ~ 20– 40 нм, твердостью ~ 44 ГПа и аномально высоким (~ 90 %) упругим восстанов- лением глубины отпечатка.
Досліджено вплив умов осадження на структуру, склад і механічні характеристики тонких плівок диборидів перехідних металів, отриманих методом ВЧ-магнетронного розпилення. Показано, що залежно від прикладеного потенціалу зміщення і температури підкладки відбувається формування покриттів різної структури – від аморфноподобної до нанокристалічною. За оптимальних енергетичних умов – потенціалі зміщення 50 В і температурі підкладки ~ 500 °С – отримано надстехіометричні тонкі плівки диборидів перехідних металів з розміром зерна ~ 20–40 нм, твердістю ~ 44 ГПа і аномально високим (~ 90 %) пружним відновленням глибини відбитка.
The effect of the deposition conditions on the structure, composition, and mechanical properties of thin films of diborides of transition metals that have been produced by high frequency magnetron sputtering. It has been shown that depending on the applied bias voltage and substrate temperature coatings of various structures are formed: from amorphouslike to nanocrystalline. Under the optimal energy conditions (bias voltage 50 V and substrate temperature 500°C) superstoichiometric thin films of transition metals diborides of grain sizes 20–30 nm, hardness 44 GPa, and anomalously high recovering of the imprint depth have been produced.
|
| issn |
0203-3119 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/129921 |
| citation_txt |
Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов / А.А. Гончаров, С.Н. Дуб, А.В. Агулов, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 6. — С. 76-85. — Бібліогр.: 33 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT gončarovaa strukturasostavimehaničeskiesvoistvatonkihplenokdiboridovperehodnyhmetallov AT dubsn strukturasostavimehaničeskiesvoistvatonkihplenokdiboridovperehodnyhmetallov AT agulovav strukturasostavimehaničeskiesvoistvatonkihplenokdiboridovperehodnyhmetallov AT petuhovvv strukturasostavimehaničeskiesvoistvatonkihplenokdiboridovperehodnyhmetallov AT gončarovaa structurecompositionandmechanicalpropertiesofthinfilmsoftransitionmetalsdiborides AT dubsn structurecompositionandmechanicalpropertiesofthinfilmsoftransitionmetalsdiborides AT agulovav structurecompositionandmechanicalpropertiesofthinfilmsoftransitionmetalsdiborides AT petuhovvv structurecompositionandmechanicalpropertiesofthinfilmsoftransitionmetalsdiborides |
| first_indexed |
2025-12-07T18:37:57Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:37:57Z |
| _version_ |
1850875762919342080 |